一种多晶硅热场坩埚装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及多晶硅加热附属装置的技术领域，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置，其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性；包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。

A polysilicon hot field crucible device

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅热场坩埚装置
本技术涉及多晶硅加热附属装置的
，特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置。
技术介绍
众所周知，多晶硅热场坩埚装置是一种用于多晶硅生产加工过程中，对半成品进行加热，使其更好进行后续处理的辅助装置，其在多晶硅加热的领域中得到了广泛的使用；现有的多晶硅热场坩埚装置包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；现有的多晶硅热场坩埚装置使用时，通过取放口取放半成品，并将工作釜置于热源上方进行加热使其内部半成品进行反应即可；现有的多晶硅热场坩埚装置使用中发现，其工作釜内部不能方便进行观察，从而导致其实用性较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种其工作釜内部可以方便进行观察，从而提高其实用性的多晶硅热场坩埚装置。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜，工作釜内部设置有工作腔，工作釜顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖；挡盖顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板，挡盖顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦，带动柱顶端与滑块连接，带动柱底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜内部与带动板顶端左方连接，海绵擦安装在安装板顶端，海绵擦贴紧透明观察板底侧壁，还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠，后固定板和前固定板分别安装在挡盖顶端左侧后方和前方，前固定板后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片，把手可转动固定在连接架后端，丝杠后端与连接架前部连接，丝杠前端穿过后固定板后侧壁并伸出至后固定板前方，丝杠前端穿过第一挡片插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块螺装套在丝杠外侧，还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管，多组第一套簧的一端均与安装板连接，多组第一套簧的另一端均与带动板连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板连接，多组第一套簧分别套装在多组第一可伸缩管外侧。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括转把、转动架、插柱、插管、带动轴和搅拌叶组，转把和转动架均位于工作釜的外侧，转把安装在转动架上，搅拌叶组位于工作腔内，插柱的顶端与转动架连接，带动轴安装在插管底端，搅拌叶组安装在带动轴上。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，插柱底端插入至插管顶端内部，还包括限位柱、两组限位弹簧和两组定位块，插柱内部下方设置有限位腔，插柱左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱左侧和右侧连接，两组定位块的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块的另一端分别穿过左通孔和右通孔，并且两组定位块的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括还包括滑轮组、限位环和限位杆组，限位环套设在带动轴外侧，限位杆组一端与限位环连接，限位杆组另一端与挡盖底侧壁连接，滑轮组一端与限位环内侧连接，滑轮组另一端与带动轴外侧贴紧接触。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括连接杆、安装片、挂板、固定板、第二套簧和第二可伸缩管，连接杆安装在工作釜后侧上方，安装片前端与连接杆后侧上方连接，挂板安装在安装片后端，第二套簧后侧与挂板前侧连接，固定板安装在第二套簧前侧，第二可伸缩管后侧与挂板前侧连接，固定板安装在第二可伸缩管前侧，第二套簧套装在第二可伸缩管外侧。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，还包括四组支撑台、四组起吊柱和四组起吊环，四组支撑台分别安装在工作釜左侧、前侧、右侧和后侧，四组支撑台顶端均设置有第二轴承座，并在四组第二轴承座内均设置有第二滚珠轴承和第二限位片，四组第二轴承座顶端均设置有第二挡片，四组起吊柱的底端分别穿过四组第二挡片并分别插入至四组第二滚珠轴承内部与四组第二限位片连接，四组起吊环分别安装在四组起吊柱的顶端。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，四组起吊环上均设置有缺口，还包括四组挤压板、四组第三可伸缩管和四组第三套簧，四组第三可伸缩管一端分别与四组缺口一端连接，四组第三可伸缩管另一端分别与四组挤压板连接，四组第三套簧一端分别与四组缺口一端连接，四组第三套簧另一端分别与四组挤压板连接，四组第三套簧套装在四组第三可伸缩管外侧，且四组挤压板分别与四组缺口另一端贴紧。本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，挡盖上纵向设置有通槽，并在通槽内侧壁可转动固定有滚珠组，插柱底端穿过滚珠组并伸入至工作釜内部，插柱外侧固定套设有两组固定环，两组固定环内侧均设置有移动轮组，两组移动轮组分别与挡盖顶底两侧贴紧接触。与现有技术相比本技术的有益效果为：能够通过透明观察板3使工作釜1内部可以方便进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板3脏污时，可以通过滑动滑块4，使其安装板7上的海绵擦8进行前后向移动，对透明观察板3进行擦拭，更加实用，手动转动把手11，使其带动连接架12上的丝杠13进行转动，从而带动滑块4进行前后向移动，又因为带动柱5穿过前后向连通口，方便滑块4在前后向移动时不随丝杠13转动而转动，把手11可自转的设计使丝杠13转动更加省力，第一限位片对丝杠13进行限位，防止其蹿出第一轴承座，且第一限位片与丝杠13硬性连接，丝杠13转动时，第一限位片随其一起转动，并且第一滚珠轴承卡装在第一挡片14与第一限位片之间，从而不会蹿出第一轴承座，第一限位片与第一轴承座之间可以机械锁紧，从而方便第一限位片进一步进行固定，多组第一套簧15挤压安装板7使其挤压海绵擦8，使得海绵擦8始终贴紧透明观察板3。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是挡盖的俯视图；图3是连接杆、安装片和挂板连接的右视图；图4是图1的A部局部放大图；图5是图1的B部局部放大图；图6是图1的C部局部放大图；附图中标记：1、工作釜；2、挡盖；3、透明观察板；4、滑块；5、带动柱；6、带动板；7、安装板；8、海绵擦；9、后固定板；10、前固定板；11、把手；12、连接架；13、丝杠；14、第一挡片；15、第一套簧；16、转把；17、转动架；18、插柱；19、插管；20、带动轴；21、搅拌叶组；22、限位柱；23、定位块；24、滑轮组；25、限位环；26、限位杆组；27、连接杆；28、安装片；29、挂板；30、固定板；31、第二套簧；32、支撑台；33、起吊柱；34、起吊环；35、第二挡片；36、挤压板；37、第三套簧；38、固定环；39、移动轮组。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。如图1至图6所示，本技术的一种多晶硅热场坩埚装置，其在工作时，能够通过透明观察板3使工作釜1内部可以方便进行观察，从而提高其实用性，当透明观察板3脏污时，可以通过滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜（1），工作釜（1）内部设置有工作腔，工作釜（1）顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖（2）；其特征在于，挡盖（2）顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板（3），挡盖（2）顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块（4）、带动柱（5）、带动板（6）、安装板（7）和海绵擦（8），带动柱（5）顶端与滑块（4）连接，带动柱（5）底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜（1）内部与带动板（6）顶端左方连接，海绵擦（8）安装在安装板（7）顶端，海绵擦（8）贴紧透明观察板（3）底侧壁，还包括后固定板（9）、前固定板（10）、把手（11）、连接架（12）和丝杠（13），后固定板（9）和前固定板（10）分别安装在挡盖（2）顶端左侧后方和前方，前固定板（10）后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片（14），把手（11）可转动固定在连接架（12）后端，丝杠（13）后端与连接架（12）前部连接，丝杠（13）前端穿过后固定板（9）后侧壁并伸出至后固定板（9）前方，丝杠（13）前端穿过第一挡片（14）插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块（4）螺装套在丝杠（13）外侧，还包括多组第一套簧（15）和多组第一可伸缩管，多组第一套簧（15）的一端均与安装板（7）连接，多组第一套簧（15）的另一端均与带动板（6）连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板（7）连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板（6）连接，多组第一套簧（15）分别套装在多组第一可伸缩管外侧。/n...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅热场坩埚装置，包括工作釜（1），工作釜（1）内部设置有工作腔，工作釜（1）顶端连通设置有取放口，并在取放口处螺栓螺装有挡盖（2）；其特征在于，挡盖（2）顶端连通设置有观察孔，并在观察孔处设置有透明观察板（3），挡盖（2）顶端左侧设置有前后向连通口，还包括滑块（4）、带动柱（5）、带动板（6）、安装板（7）和海绵擦（8），带动柱（5）顶端与滑块（4）连接，带动柱（5）底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜（1）内部与带动板（6）顶端左方连接，海绵擦（8）安装在安装板（7）顶端，海绵擦（8）贴紧透明观察板（3）底侧壁，还包括后固定板（9）、前固定板（10）、把手（11）、连接架（12）和丝杠（13），后固定板（9）和前固定板（10）分别安装在挡盖（2）顶端左侧后方和前方，前固定板（10）后端设置有第一轴承座，并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片，第一轴承座后端设置有第一挡片（14），把手（11）可转动固定在连接架（12）后端，丝杠（13）后端与连接架（12）前部连接，丝杠（13）前端穿过后固定板（9）后侧壁并伸出至后固定板（9）前方，丝杠（13）前端穿过第一挡片（14）插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接，滑块（4）螺装套在丝杠（13）外侧，还包括多组第一套簧（15）和多组第一可伸缩管，多组第一套簧（15）的一端均与安装板（7）连接，多组第一套簧（15）的另一端均与带动板（6）连接，多组第一可伸缩管的一端均与安装板（7）连接，多组第一可伸缩管的另一端均与带动板（6）连接，多组第一套簧（15）分别套装在多组第一可伸缩管外侧。


2.如权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，还包括转把（16）、转动架（17）、插柱（18）、插管（19）、带动轴（20）和搅拌叶组（21），转把（16）和转动架（17）均位于工作釜（1）的外侧，转把（16）安装在转动架（17）上，搅拌叶组（21）位于工作腔内，插柱（18）的顶端与转动架（17）连接，带动轴（20）安装在插管（19）底端，搅拌叶组（21）安装在带动轴（20）上。


3.如权利要求2所述的一种多晶硅热场坩埚装置，其特征在于，插柱（18）底端插入至插管（19）顶端内部，还包括限位柱（22）、两组限位弹簧和两组定位块（23），插柱（18）内部下方设置有限位腔，插柱（18）左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔，插管（19）左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔，限位柱（22）安装在限位腔内底侧壁，两组限位弹簧位于限位腔内，两组限位弹簧的一端分别与限位柱（22）左侧和右侧连接，两组定位块（23）的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端，两组定位块（23）的另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱建峰，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14