下载一种多晶硅热场坩埚装置的技术资料

文档序号:24558233

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本实用新型涉及多晶硅加热附属装置的技术领域,特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置,其工作釜内部可以方便进行观察,从而提高其实用性;包括工作釜,工作釜内部设置有工作腔,工作釜顶端连通设置有取放口,并在取放口处螺栓螺装有挡盖;挡盖顶端连通设置有观察...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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