【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉结构及其使用方法
本专利技术涉及单晶炉
,尤其是涉及一种单晶炉结构及其使用方法。
技术介绍
世界能源危机促进了光伏市场的发展,晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视,特别是发达国家制定了一系列的扶持政策,鼓励开发利用太阳能,另外,随着硅太阳能电池应用面的不断扩大,太阳能电池的需求量越来越大,硅单晶材料的需求量也就越来越大。现有技术可参考授权公告号为CN205099782U的中国技术专利,其公开了一种单晶炉,包括上炉膛、下炉膛,所述上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构,下炉膛内设置有保温筒,保温筒内设置有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,石墨坩埚外侧设置有加热器,石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构,所述石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板,石墨托板的外表面设置有环形挡板,环形挡板的上表面设置有溢流毯,溢流毯的上表面安装有溢流丝,溢流丝与报警装置相连。上述中的现有技术方案存在以下缺陷:上述设备不便对下炉膛进行冷却,而单晶炉的炉体材料一般是不锈钢材料,如果炉体长期在高温环境下工作,会由于不锈钢材料的氧化导致炉体表面发黄并生锈腐蚀,大大缩短炉体寿命,影响企业经济效益。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本专利技术的一目的是提供一种单晶炉结构,便于对下炉膛进行降温,从而能够延长下炉膛的使用寿命。本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种单晶炉结构,包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉结构,包括上炉膛(1)、下炉膛(2)、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器,其特征在于:还包括冷却装置(3),所述冷却装置(3)包括开设于下炉膛(2)侧壁内的冷却水腔(31)、连通于冷却水腔(31)的进水管(32)以及连通于冷却水腔(31)的出水管(33);所述进水管(32)远离冷却水腔(31)的一端安装有冷却水泵(34),所述冷却水泵(34)的进水口连通有冷却水箱(35),所述冷却水箱(35)的一侧连通有补水管(36);所述出水管(33)远离冷却水腔(31)的一端连通有降温箱(37),所述降温箱(37)安装于冷却水箱(35)的顶部,所述降温箱(37)的底部通过排水管(38)与冷却水箱(35)连通,所述排水管(38)上安装有电动阀(39);所述降温箱(37)内安装有降温机构(4)。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉结构,包括上炉膛(1)、下炉膛(2)、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器,其特征在于:还包括冷却装置(3),所述冷却装置(3)包括开设于下炉膛(2)侧壁内的冷却水腔(31)、连通于冷却水腔(31)的进水管(32)以及连通于冷却水腔(31)的出水管(33);所述进水管(32)远离冷却水腔(31)的一端安装有冷却水泵(34),所述冷却水泵(34)的进水口连通有冷却水箱(35),所述冷却水箱(35)的一侧连通有补水管(36);所述出水管(33)远离冷却水腔(31)的一端连通有降温箱(37),所述降温箱(37)安装于冷却水箱(35)的顶部,所述降温箱(37)的底部通过排水管(38)与冷却水箱(35)连通,所述排水管(38)上安装有电动阀(39);所述降温箱(37)内安装有降温机构(4)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述降温机构(4)包括沿竖向滑移连接于降温箱(37)内的移动杆(41)、安装于降温箱(37)的顶部用于驱动移动杆(41)往复移动的驱动组件(46)、固接于降温箱(37)内壁的支撑板(42)以及竖直转动连接于支撑板(42)上的转动管(43);所述移动杆(41)和转动管(43)之间设置有用于驱动转动管(43)转动的配合组件(44);所述转动管(43)的外侧壁沿竖向依次套设固定有多个搅拌桨(45)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述驱动组件(46)包括竖直安装于降温箱(37)顶部的驱动电机(461)以及竖直转动连接于降温箱(37)顶部的往复丝杠(462);所述驱动电机(461)的输出轴竖直向下与往复丝杠(462)的顶部固定连接;所述移动杆(41)的顶部固接有连接块(463),所述连接块(463)螺纹连接于往复丝杠(462),所述移动杆(41)的顶部固接有竖杆(464),所述竖杆(464)贯穿降温箱(37)的顶壁设置,所述竖杆(464)沿竖向滑移连接于降温箱(37)的顶壁。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述配合组件(44)包括固接于移动杆(41)外侧壁的多个螺旋块(441)以及开设于转动管(43)内周面的多个螺旋槽(442);所述螺旋块(441)与所述螺旋槽(442)一一对应配合。
5.根据权利要求2所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述支撑板(42)的两端分别转动连接有第一竖轴(421),每个所述第一竖轴(421)的外侧壁沿竖向依次套设固定有多个第一扇叶(422),所述支撑板(42)上安装有用于驱动两个第一竖轴(421)转动的传动组件(5)。
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉结构,其特征在于:所述传动组件(5)包括分别转动连接于支撑板(42)顶部的两个第一水平轴(51)以及套设固定于转动管(43)外侧壁的第一锥齿轮(52);每个所述第一水平轴(51)靠近转动管(43)的一端固接有第二锥齿轮(53),两个所述第二锥齿轮(53)均与第一锥齿轮(52)相啮合;每个所述第一水平轴(51)远离转动管(43)的一端设置有蜗杆(54),每个所述第一竖轴(421)上套...
【专利技术属性】
技术研发人员:李朝红,李茂欣,沈伟华,
申请(专利权)人:上海磐盟电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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