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本发明涉及一种单晶炉结构及其使用方法，其包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器，还包括冷却装置，所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管；所述进水管远离冷却水腔的一端安...
该专利属于上海磐盟电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海磐盟电子材料有限公司授权不得商用。

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