一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器制造技术

本实用新型专利技术公开的属于晶体硅太阳能电池清洗设备技术领域的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，包括装置箱、氧气发生器、双灯管臭氧发生器、射频臭氧发生器和氮气发生器，装置箱的内底壁螺接有氧气发生器，氧气发生器的出气口与输氧管管组的进气侧连接，输氧管管组的出气侧分别与双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器的进气口固定连接，双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器底部的臭氧输出口均与臭氧管管组的进气侧固定连接，臭氧管管组的出气侧与臭氧喷淋板连接，装置箱的顶壁螺接有氮气发生器，氮气发生器的出气口与氮气管的进气侧连接，氮气管的另一端与臭氧管管组连接，本装置结构设计科学合理，确保硅片表面能形成一层均匀致密的氧化层(SiO2层)。

A single RF and double lamp ozone concentration generator

【技术实现步骤摘要】
一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器
本技术涉及晶体硅太阳能电池清洗设备
，具体为一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器。
技术介绍
太阳能电池材料一般要求半导体材料的禁带不能太宽、要有较高的光电转换效率、材料本身对环境不造成污染、材料便于工业化生产且材料性能稳定，基于以上几个方面考虑，硅是最理想的太阳能电池材料，这也是太阳能电池以硅材料为主的主要原因。为保证晶体硅太阳能电池能够正常工作，需要对电池板进行定期的维护，其中清洗是维护项目中的重要内容，清洗后需要对硅片表面进行氧化处理，使其表面形成氧化层(SiO2层)，提升其稳定性、耐高温、防火及绝缘性能，现有的氧化处理，现有的清洗处理设备大多采用双灯管臭氧发生器来对硅片的表面进行氧化处理，但这种设备的使用效果不佳，无法均匀的对硅片表面进行氧化处理，增大了后续使用中PID失效的风险。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：包括装置箱(100)、氧气发生器(200)、双灯管臭氧发生器(400)、射频臭氧发生器(500)和氮气发生器(800)，所述装置箱(100)的内底壁螺接有氧气发生器(200)，所述氧气发生器(200)的出气口与输氧管管组(300)的进气侧连接，所述输氧管管组(300)的出气侧分别与双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)的进气口固定连接，所述双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)底部的臭氧输出口均与臭氧管管组(600)的进气侧固定连接，所述臭氧管管组(600)的出气侧与臭氧喷淋板(700)连接，所述装置箱(100)的顶...

【技术特征摘要】
1.一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：包括装置箱(100)、氧气发生器(200)、双灯管臭氧发生器(400)、射频臭氧发生器(500)和氮气发生器(800)，所述装置箱(100)的内底壁螺接有氧气发生器(200)，所述氧气发生器(200)的出气口与输氧管管组(300)的进气侧连接，所述输氧管管组(300)的出气侧分别与双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)的进气口固定连接，所述双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)底部的臭氧输出口均与臭氧管管组(600)的进气侧固定连接，所述臭氧管管组(600)的出气侧与臭氧喷淋板(700)连接，所述装置箱(100)的顶壁螺接有氮气发生器(800)，所述氮气发生器(800)的出气口与氮气管(900)的进气侧连接，所述氮气管(900)的另一端与臭氧管管组(600)连接。


2.根据权利要求1所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：所述装置箱(100)的内后壁固定设有电路控制箱(110)。


3.根据权利要求1所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：所述输氧管管组(300)包括第一输氧管(310)，所述第一输氧管(310)的进气侧与氧气发生器...

【专利技术属性】
技术研发人员：周智波，
申请(专利权)人：湖北天合光能有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42