一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器制造技术

本实用新型专利技术公开的属于晶体硅太阳能电池清洗设备技术领域的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，包括装置箱、氧气发生器、双灯管臭氧发生器、射频臭氧发生器和氮气发生器，装置箱的内底壁螺接有氧气发生器，氧气发生器的出气口与输氧管管组的进气侧连接，输氧管管组的出气侧分别与双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器的进气口固定连接，双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器底部的臭氧输出口均与臭氧管管组的进气侧固定连接，臭氧管管组的出气侧与臭氧喷淋板连接，装置箱的顶壁螺接有氮气发生器，氮气发生器的出气口与氮气管的进气侧连接，氮气管的另一端与臭氧管管组连接，本装置结构设计科学合理，确保硅片表面能形成一层均匀致密的氧化层(SiO2层)。

A single RF and double lamp ozone concentration generator

【技术实现步骤摘要】
一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器
本技术涉及晶体硅太阳能电池清洗设备
，具体为一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器。
技术介绍
太阳能电池材料一般要求半导体材料的禁带不能太宽、要有较高的光电转换效率、材料本身对环境不造成污染、材料便于工业化生产且材料性能稳定，基于以上几个方面考虑，硅是最理想的太阳能电池材料，这也是太阳能电池以硅材料为主的主要原因。为保证晶体硅太阳能电池能够正常工作，需要对电池板进行定期的维护，其中清洗是维护项目中的重要内容，清洗后需要对硅片表面进行氧化处理，使其表面形成氧化层(SiO2层)，提升其稳定性、耐高温、防火及绝缘性能，现有的氧化处理，现有的清洗处理设备大多采用双灯管臭氧发生器来对硅片的表面进行氧化处理，但这种设备的使用效果不佳，无法均匀的对硅片表面进行氧化处理，增大了后续使用中PID失效的风险。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。鉴于上述和/或现有一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器中存在的问题，提出了本技术。因此，本技术的目的是提供一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，能够解决上述提出的有的清洗处理设备大多采用双灯管臭氧发生器来对硅片的表面进行氧化处理，但这种设备的使用效果不佳，无法均匀的对硅片表面进行氧化处理，增大了后续使用中PID失效的风险的问题。为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其包括：装置箱、氧气发生器、双灯管臭氧发生器、射频臭氧发生器和氮气发生器，所述装置箱的内底壁螺接有氧气发生器，所述氧气发生器的出气口与输氧管管组的进气侧连接，所述输氧管管组的出气侧分别与双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器的进气口固定连接，所述双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器底部的臭氧输出口均与臭氧管管组的进气侧固定连接，所述臭氧管管组的出气侧与臭氧喷淋板连接，所述装置箱的顶壁螺接有氮气发生器，所述氮气发生器的出气口与氮气管的进气侧连接，所述氮气管的另一端与臭氧管管组连接。作为本技术所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器的一种优选方案，其中：所述装置箱的内后壁固定设有电路控制箱。作为本技术所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器的一种优选方案，其中：所述输氧管管组包括第一输氧管，所述第一输氧管的进气侧与氧气发生器的出气口固定连接，所述第一输氧管的左端通过L型接头与第二输氧管的底端连接，所述第二输氧管的顶端通过L型接头与第三输氧管的左端连接，所述第三输氧管的右端管口设有堵头，所述第三输氧管的底部开有左右两个开口，且两个开口各与一条第四输氧管固定连接，所述左侧第四输氧管的底端与射频臭氧发生器的进气口固定连接，所述右侧第四输氧管的底端与双灯管臭氧发生器的进气口固定连接。作为本技术所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器的一种优选方案，其中：所述输氧管管组包括第一输氧管，所述第一输氧管的进气侧与氧气发生器的出气口固定连接，所述第一输氧管的左端通过L型接头与第二输氧管的底端连接，所述第二输氧管的顶端通过L型接头与第三输氧管的左端连接，所述第三输氧管的底部开有左右两个开口，且两个开口各与一条第四输氧管固定连接，所述左侧第四输氧管的底端与射频臭氧发生器的进气口固定连接，所述右侧第四输氧管的底端与双灯管臭氧发生器的进气口固定连接。与现有技术相比：该种单射频加双灯管臭氧浓度发生器设有双灯管臭氧发生器和射频臭氧发生器，在原有双灯管臭氧发生器基础上，并联一台射频臭氧发生器，在生产过程中，跟踪对比使用双灯管臭氧发生器和使用单射频加双灯管臭氧发生器的效果，从大量的接触角测试数据来看，单射频加双灯管臭氧发生器接触角可做到＜15°，双灯管臭氧发生器只能做到＜25°，单射频加双灯管臭氧发生器在亲水性效果上明显优于现有的双灯管臭氧发生器，使输出到臭氧喷淋板的臭氧浓度更高，也更稳定，确保硅片表面能形成一层均匀致密的氧化层(SiO2层)。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本技术进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：图1为本技术正视示意图；图2为本技术专利流程图；图中:100装置箱、110电路控制箱、200氧气发生器、300输氧管管组、310第一输氧管、320第二输氧管、330第三输氧管、331堵头、340第四输氧管、400双灯管臭氧发生器、500射频臭氧发生器、600臭氧管管组、610第一臭氧管、620第二臭氧管、630第三臭氧管、700臭氧喷淋板、800氮气发生器、900氮气管。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施方式的限制。其次，本技术结合示意图进行详细描述，在详述本技术实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。本技术提供一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，请参阅图1，包括装置箱100、氧气发生器200、双灯管臭氧发生器400、射频臭氧发生器500和氮气发生器800；请参阅图1和图2，装置箱100的内底壁螺接有氧气发生器200，氧气发生器200用于产生氧气，氧气发生器200的出气口与输氧管管组300的进气侧连接，输氧管管组300的出气侧分别与双灯管臭氧发生器400和射频臭氧发生器500的进气口固定连接，双灯管臭氧发生器400和射频臭氧发生器500用于产生臭氧，双灯管臭氧发生器400和射频臭氧发生器500底部的臭氧输出口均与臭氧管管组600的进气侧固定连接，臭氧管管组600的出气侧与臭氧喷淋板700连接，臭氧喷淋板700用于对硅片进行臭氧喷淋；请参阅图1，装置箱100的顶壁螺接有氮气发生器800，氮气发生器800用于产生氮气，氮气发生器800的出气口与氮气管900的进气侧连接，氮气管900的另一端与臭氧管管组600连接；请再次参阅图1，装置箱100的内后壁固定设有电路控制箱110，电路控制箱110用于接通电路和控制开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：包括装置箱(100)、氧气发生器(200)、双灯管臭氧发生器(400)、射频臭氧发生器(500)和氮气发生器(800)，所述装置箱(100)的内底壁螺接有氧气发生器(200)，所述氧气发生器(200)的出气口与输氧管管组(300)的进气侧连接，所述输氧管管组(300)的出气侧分别与双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)的进气口固定连接，所述双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)底部的臭氧输出口均与臭氧管管组(600)的进气侧固定连接，所述臭氧管管组(600)的出气侧与臭氧喷淋板(700)连接，所述装置箱(100)的顶壁螺接有氮气发生器(800)，所述氮气发生器(800)的出气口与氮气管(900)的进气侧连接，所述氮气管(900)的另一端与臭氧管管组(600)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：包括装置箱(100)、氧气发生器(200)、双灯管臭氧发生器(400)、射频臭氧发生器(500)和氮气发生器(800)，所述装置箱(100)的内底壁螺接有氧气发生器(200)，所述氧气发生器(200)的出气口与输氧管管组(300)的进气侧连接，所述输氧管管组(300)的出气侧分别与双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)的进气口固定连接，所述双灯管臭氧发生器(400)和射频臭氧发生器(500)底部的臭氧输出口均与臭氧管管组(600)的进气侧固定连接，所述臭氧管管组(600)的出气侧与臭氧喷淋板(700)连接，所述装置箱(100)的顶壁螺接有氮气发生器(800)，所述氮气发生器(800)的出气口与氮气管(900)的进气侧连接，所述氮气管(900)的另一端与臭氧管管组(600)连接。


2.根据权利要求1所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：所述装置箱(100)的内后壁固定设有电路控制箱(110)。


3.根据权利要求1所述的一种单射频加双灯管臭氧浓度发生器，其特征在于：所述输氧管管组(300)包括第一输氧管(310)，所述第一输氧管(310)的进气侧与氧气发生器...

【专利技术属性】
技术研发人员：周智波，
申请(专利权)人：湖北天合光能有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42