【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种臭氧喷淋系统,特别是涉及一种封闭式臭氧喷淋系统。
技术介绍
目前,刻蚀后氧化采用的传统臭氧方式是一个常规工艺,但传统的臭氧方式稳定性较差,受环境影响较大。由于臭氧喷淋板是半封闭状态,设备抽风和环境负压都会对臭氧效果造成影响。针对传统臭氧方式的不足,提出设计一种新的封闭式臭氧喷淋系统,以减小环境对氧化层的影响,充分发挥氧化层的最大化优势。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种封闭式臭氧喷淋系统,不但可以有效解决臭氧外泄问题,也可以使氧化层更加均匀稳定,减少氧气用量,提高生产效率。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。优选地,所述喷淋管贴有胶带。优选地,所述清洗机贴有胶带。优选地,所述甩干机的形状为长方体。本专利技术的积极进步效果在于:本专利技术不但可以有效解决臭氧外泄问题,也可以使氧化层更加均匀稳定,减少氧气用量,提高生 ...
【技术保护点】
一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
【技术特征摘要】
1.一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别...
【专利技术属性】
技术研发人员:常宇峰,王亚豪,庞国峰,张亦平,
申请(专利权)人:江苏永能光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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