一种真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备，包括真空腔、冷却机构和驱动机构；所述冷却机构包括依次连接的冷却部、中间部和连接部；所述冷却部位于所述真空腔内；所述中间部穿过所述真空腔，并与所述真空腔密封配合；所述驱动机构与所述连接部相连接，并带动所述冷却机构直线运动。根据本实用新型专利技术提供的真空镀膜设备，通过驱动机构带动冷却机构直线运动，不仅可以通过冷却部直接对基片进行降温，而且可以调整冷却部与基片之间的距离，选择最优的冷却位置，提升了冷却效率，进而提升了太阳能电池的生产效率。

A vacuum coating equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备
本技术涉及光伏生产设备
，具体涉及一种真空镀膜设备。
技术介绍
在太阳能电池制造过程中，需要对基片进行真空镀膜，真空镀膜工艺需要保持一定的高温温度。在镀膜完成将基片返回大气环境前，需要将基片降温后再取出，以免因高温使电池薄膜在大气环境下发生氧化等反应，并且防止因过高温度产生的设备和人员的烫伤。现有的一些镀膜设备中，有些设备虽然带有冷却结构，但是冷却结构一般为设置在真空腔外或真空腔内壁上的固定式结构，无法调整冷却结构与基片的距离，需要先将真空腔内整体冷却后再对基片进行降温，不能够对基片直接进行冷却，冷却效率低，冷却过程需要占用大量时间，影响生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜设备，以解决现有的真空镀膜设备不能够对基片直接进行冷却，冷却效率低的问题。为实现上述目的，本技术提出的技术方案如下：一种真空镀膜设备，包括真空腔、冷却机构和驱动机构；所述冷却机构包括依次连接的冷却部、中间部和连接部；所述冷却部位于所述真空腔内；所述中间部穿过所述真空腔，并与所述真空腔密封配合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括:/n真空腔(100)；/n冷却机构(200):所述冷却机构(200)包括依次连接的冷却部(210)、中间部(220)和连接部(230)；所述冷却部(210)位于所述真空腔(100)内；所述中间部(220)穿过所述真空腔(100)，并与所述真空腔(100)密封配合；/n驱动机构(300):所述驱动机构(300)与所述连接部(230)相连接，并带动所述冷却机构(200)直线运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括:
真空腔(100)；
冷却机构(200):所述冷却机构(200)包括依次连接的冷却部(210)、中间部(220)和连接部(230)；所述冷却部(210)位于所述真空腔(100)内；所述中间部(220)穿过所述真空腔(100)，并与所述真空腔(100)密封配合；
驱动机构(300):所述驱动机构(300)与所述连接部(230)相连接，并带动所述冷却机构(200)直线运动。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述冷却部(210)为水冷结构。


3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述水冷结构包括水冷板(211)。


4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述中间部(220)内部安装有进水管(215)和出水管(216)；所述进水管(215)一端与所述水冷板(211)的进水端(213)相连接，另一端穿过所述连接部(230)并位于所述冷却机构(200)外；所述出水管(216)一端与所述水冷板(211)的出水端(214)相连接，另一端穿过所述连接部(230)并位于所述冷却机构(200)外。


5.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，还包括温度检测装置和水温调节装置；所述温度检测装置用于检测待降温物体的温度信息；所述水温调节装置与所述温度检测装置相连接，所述水温调节装置用于调整所述水冷板(211)内的水体温度。

【专利技术属性】
技术研发人员：曹京星，杨娜，朱建华，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11