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本实用新型公开了一种真空镀膜设备，包括真空腔、冷却机构和驱动机构；所述冷却机构包括依次连接的冷却部、中间部和连接部；所述冷却部位于所述真空腔内；所述中间部穿过所述真空腔，并与所述真空腔密封配合；所述驱动机构与所述连接部相连接，并带动所述冷却...
该专利属于君泰创新(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君泰创新(北京)科技有限公司授权不得商用。

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