一种载冷剂供给装置，将载冷剂调整成适合于所述负荷的目标温度而循环地供给于至少一个负荷，其特征在于，具有： 设在流动有从所述负荷侧返回的载冷剂的载冷剂冷却流路中、利用工业用水冷却所述载冷剂用的热交换器； 设在作为流动有从所述负荷侧返回的载冷剂的载冷剂加热流路、并与所述载冷剂冷却流路并联形成的载冷剂加热流路中对所述载冷剂加热用的加热器； 设在所述载冷剂冷却流路与所述载冷剂加热流路的连接部上、并将由所述热交换器冷却后的载冷剂与由所述加热器加热后的载冷剂予以混合用的混合部； 设在所述混合部的出口侧的、检测来自所述混合部的载冷剂的温度用的混合部出口侧温度传感器； 根据来自所述混合部出口侧温度传感器的输出来调整由所述热交换器冷却后的载冷剂与由所述加热器加热后的载冷剂的混合比的混合调整装置； 作为设在所述混合部与所述负荷之间的储罐、即为了缓和来自混合部的载冷剂温度的急剧变动而构成使所述载冷剂以缓慢低速度通过其中的、具有约１０升以上容积的储罐。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及将纯水等的载冷剂调整成适合于所述负荷的目标温度后供给于至少一个负荷的载冷剂供给装置。在本专利技术中，载冷剂是指进行热吸收传递的液体。
技术介绍
以往使用由压缩机、冷凝器、膨胀阀及热交换器(蒸发器)构成的冷冻机的载冷剂供给装置是众所周知的。在具有这样的冷冻机的载冷剂供给装置中，用所述冷冻机将从负荷侧返回的载冷剂冷却至目标温度、再向所述负荷供给。在具有所述的以往的冷冻机的载冷剂供给装置中，由于使用冷冻机而存在使装置的耗电等的运转成本增高、且由于冷冻机的存在而使装置大型化等的问题。但是，另一方面，以往若不使用冷冻机，就不能稳定地控制载冷剂的温度。
技术实现思路
本专利技术是着眼于这样的已有技术中的问题而作成的，其目的在于，提供降低装置的耗电等的运转成本且使装置小型化、并能稳定地控制载冷剂温度的载冷剂供给装置。本专利技术是将纯水等的载冷剂调整成适合于所述负荷的目标温度向循环地供给于至少一个负荷的载冷剂供给装置，其特征是，具有设在流动有从所述负荷侧返回的载冷剂的载冷剂冷却流路中、利用工业用水冷却所述载冷剂用的热交换器；设在作为流动有从所述负荷侧返回的载冷剂的载冷剂加热流路、并与所述载冷剂冷却流路并联形成的载冷剂加热流路中对所述载冷剂加热用的加热器；设在所述载冷剂冷却流路与所述载冷剂加热流路的连接部上、并将由所述热交换器冷却后的载冷剂与由所述加热器加热后的载冷剂予以混合用的混合部；设在所述混合部的出口侧、检测来自所述混合部的载冷剂的温度用的混合部出口侧温度传感器；根据来自所述混合部出口侧温度传感器的输出来调整由所述热交换器冷却后的载冷剂与由所述加热器加热后的载冷剂的混合比的混合调整装置；作为设在所述混合部与所述负荷之间的储罐、即为了缓和来自混合部的载冷剂温度的急剧变动而构成使所述载冷剂以缓慢低速度通过其中的、具有约10升以上容积的储罐。另外，在本专利技术的载冷剂供给装置中，最好具有设在所述热交换器的出口侧的、检测来自所述热交换器的载冷剂温度用的热交换器出口侧温度传感器；根据来自所述热交换器出口侧温度传感器的输出来调整供给于所述热交换器的工业用水流量的阀。另外，在本专利技术的载冷剂供给装置中，最好具有设在所述载冷剂加热流路的出口侧的、检测来自所述载冷剂加热流路的载冷剂温度用的加热流路出口侧温度传感器；根据来自所述加热流路出口侧温度传感器的输出来调整供给于所述加热器的电力的电力调整装置。另外，在本专利技术的载冷剂供给装置中，最好所述混合部具有互相交替地将由所述热交换器冷却后的载冷剂向所述负荷侧的供给和由所述加热器加热后的载冷剂向所述负荷侧的供给予以切换用的三通阀。另外，在本专利技术的载冷剂供给装置中，最好具有设在所述储罐的出口侧的、检测来自所述储罐的载冷剂的温度用的储罐出口侧温度传感器，所述混合调节装置，是根据来自所述混合部出口侧温度传感器的输出和来自所述储罐出口侧温度传感器的输出来调整由所述热交换器冷却后的载冷剂和由所述加热器加热后的载冷剂的混合比的装置。另外，在本专利技术的载冷剂供给装置中，最好是，所述载冷剂为纯水，所述储罐，是设于所述混合部与所述负荷之间的离子交换器，是构成将所述纯水的导电率维持在规定值以下、并构成为了缓和来自所述混合部的所述纯水温度的急剧变动而以缓慢低速度地使所述纯水通过其中的、具有10升以上容积的离子交换器。附图的简单说明附图说明图1是本专利技术的实施形态的载冷剂供给装置的配管方框的图。图2是用于本专利技术所使用的离子交换器结构的示图。专利技术的实施形态以下，说明本专利技术的实施形态。图1是用于向半导体制造装置等的负荷供给作为载冷剂的纯水的、表示利用本实施形态的载冷剂供给装置的配管方框图。在图1中，1是半导体制造装置等的负荷，2是用于将结束对所述负荷1的功能的纯水(载冷剂)从所述负荷1侧返回到载冷剂供给装置侧的返回流路，3是设在所述返回流路2上的、用于检测所述纯水的电阻值(导电率)的电阻率计，4是设在所述返回流路2上的、准备检测纯水温度的温度传感器，5是将来自所述返回流路2的纯水暂时积蓄的纯水储罐，6是用于将所述纯水储罐5内的纯水向下一个流路7送出的泵，6a是用于将驱动所述泵6的电力的频率予以变换的变频器，6b是用于控制所述变频器6a的控制部(CPU)，7是用于使所述泵6排出的纯水向后述的热交换器13或加热器26侧流动的流路，8是用于准备检测在所述流路7中流动的纯水温度的温度传感器，9是用于检测在所述流路7中流动的纯水流量的流量传感器，10是用于检测在所述流路7中流动的纯水压力并在检测出管道堵塞等的异常时使装置整体停止的压力开关，11是从所述流路7内的纯水的流动准备检测所述泵6的排出压力用的泵排出压力计。另外，在图1中，12是作为从流路7分支成2个的一方流路的纯水冷却流路，13是设在所述纯水冷却流路12途中的、用于冷却纯水的热交换器，14是设在所述纯水冷却流路12途中的、用于检测在所述热交换器13中冷却的纯水温度的温度传感器。在所述热交换器13中，始终供给平均温度被保持例如约为20-28℃的工业用水(工厂循环水)。所述热交换器13，利用所述工业用水而冷却在所述纯水冷却流路12中流动的纯水。另外，在图1中，15是用于从外部导入工业用水而向所述热交换器13供给的冷却水导入管，16是用于将在所述热交换器13中为了进行热交换所使用的工业用水向外部排出的冷却水排出管，17是设在所述冷却水排出管上的流量传感器，18是设在所述冷却水排出管16途中的电动阀，19是根据对来自所述热交换器13的纯水温度进行检测的温度传感器14的输出而对所述电动阀18的开度进行控制、并调整供给于所述热交换器13的工业用水的流量(并且，由此使所述热交换器13的冷却能力可变)用的控制部(CPU)，20是检测所述冷却水导入管15与所述冷却水排出管16的水压差、并在检测出管子堵塞等异常时用于使装置整体停止的冷却水差压开关，21是用于准备检测在所述冷却水导入管15中流动的纯水压力的冷却水压力计，22是用于检测在冷却水导入管15内的工业用水温度的温度传感器。另外，在图1中，25是所述流路7分支成与纯水冷却流路12并联的另一条流路的纯水加热流路，26是设在所述纯水加热流路25途中的加热器，27是用于检测在所述加热器26中被加热的纯水的温度的温度传感器，28是根据来自所述温度传感器27的输出来控制所述加热器26的加热用的控制部(CPU)。另外，在图1中，30是电动机驱动的三通阀，该三通阀设在使所述纯水冷却流路12与所述纯水加热流路25合流并与下一个进给流路31连接的位置。所述三通阀30，通过分别调整各阀的开度，而能用于改变使来自纯水冷却流路12的纯水在所述进给流路31中流动的流量和使来自所述纯水加热流路25的纯水在所述进给流路31中流动的流量。另外，在图1中，32是设在所述三通阀30的出口侧的、用于检测在所述三通阀30中被混合的纯水的温度的温度传感器，33是根据来自所述温度传感器32的输出(对来自后述的离子交换器35的纯水温度进行检测的温度传感器36的输出)来控制所述三通阀30用的控制部(CPU)。在本实施形态中，通过所述控制部(CPU)33控制所述三通阀30来调整来自所述纯水冷却流路12的被冷却的纯水与来自所述纯水加热流路25的被加热的纯水的混合比，并将调整成适当温本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高村富夫，平山唯志，建野范昭，池村芳之，田丸正彦，佐护康实，池田真义，金子一秋，宫地淳，
申请(专利权)人：长州产业株式会社，安内华株式会社，
类型：发明
国别省市：
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