蒸镀装置以及蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供蒸镀装置以及蒸镀方法，设计成形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜，能够对大型的基板进行良好的蒸镀。本发明专利技术的蒸镀装置包括：具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及控制板，相对于所述基板垂直地配置，对所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，所述基板能够一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向相对移动，在将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的距离设为P的情况下，从所述移动方向观察时的从各喷射喷嘴相对于所述基板的蒸镀量的分布曲线实质上是底边的长度为2P的相同的等腰三角形。

Evaporation device and evaporation method

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置以及蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀装置以及蒸镀方法。
技术介绍
显示面板和太阳能电池等的金属电极布线、有机EL层、半导体层、其他有机材料薄膜和无机材料薄膜等有时通过真空蒸镀法等的蒸镀形成。蒸镀通常通过如下方式进行：通过对坩埚内的蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料气化，向基板表面喷射气化后的蒸镀材料，使蒸镀材料堆积在该基板表面。堆积在基板表面的蒸镀材料形成薄膜。此外，在蒸镀时，通过预先由具有规定形状的掩膜覆盖基材表面，能够形成图案化的蒸镀膜。进行这种蒸镀的蒸镀装置通常包括：蒸镀源，在内部配置收纳蒸镀材料的坩埚等，具有喷射气化后的蒸镀材料的喷射喷嘴；以及固定基板的基板固定部。此处，为了进行与大型的基板对应的蒸镀，如图12所示，可以考虑增加所使用的喷射喷嘴101的数量。通过增加喷射喷嘴101的数量，对于大型的基板X，也能够形成膜厚均匀性高的蒸镀膜。另外，图12中示意性地示出的曲线U是表示各喷射喷嘴101的蒸镀量的分布的曲线。但是，在使用具有多个喷射喷嘴101的蒸镀装置100的情况下，特别是在基板X的端部，从远离的位置的喷射喷嘴101喷射的蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：/n具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；/n基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及/n控制板，相对于所述基板垂直地配置，对从所述多个喷射喷嘴喷射的所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，/n所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向移动，/n在将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的距离设为P的情况下，从所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合移动的方向观察时的从各喷射喷嘴相对于所述基板的蒸镀量的分布曲线实质上是底边的长度为2...

【技术特征摘要】
20181122 JP 2018-2188841.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；
基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及
控制板，相对于所述基板垂直地配置，对从所述多个喷射喷嘴喷射的所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，
所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向移动，
在将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的距离设为P的情况下，从所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合移动的方向观察时的从各喷射喷嘴相对于所述基板的蒸镀量的分布曲线实质上是底边的长度为2P的相同的等腰三角形。


2.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；
基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及
控制板，相对于所述基板垂直地配置，对从所述多个喷射喷嘴喷射的所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，
所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向移动，
所述控制板具有：
一对第一控制板，以夹着所述多个喷射喷嘴的列的方式平行地配置；以及
多个第二控制板，分别配置在相邻的所述多个喷射喷嘴之间，
在将相邻的所述喷射喷嘴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：末永真吾，山下和吉，滨永教彰，
申请(专利权)人：长州产业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP