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本发明提供蒸镀装置以及蒸镀方法，设计成形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜，能够对大型的基板进行良好的蒸镀。本发明的蒸镀装置包括：具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；基板保持部，与所述多个喷射...
该专利属于长州产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过长州产业株式会社授权不得商用。

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