3D蒸镀的公自转镀锅结构制造技术

本发明专利技术为一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，其包括：公转底盘；公转顶盘借由支撑件环绕运行于公转底盘；镀锅自转模块，具有悬臂结合于公转顶盘；又其齿轮盘结合于悬臂的底侧；及其自转镀盘结合于悬臂且环绕运行于圆形环绕轨道；以及多个晶圆载盘，借由转轴固设于自转镀盘上，又借由外环状齿牙与齿轮盘转动结合。

The structure of 3D autoclave

【技术实现步骤摘要】
3D蒸镀的公自转镀锅结构
本专利技术为一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，特别为一种应用半导体晶圆片蒸镀的3D蒸镀的公自转镀锅结构。
技术介绍
中国台湾专利公告第00470215号(以下简称215号专利)，揭露了一种公自转式晶圆承载器的固定结构，其主要揭露了公转架及可旋转的晶圆承载器P13，然而其存在着下列问题：一、仅仅只有2旋转轴P110,P120的旋转，蒸镀时晶圆片无法自转，将产生方向性造成阴影以致膜厚不一致的问题。二、晶圆承载器P13必须借由轴杆AP131的驱动而旋转，而轴杆AP131再加上必须随之旋转的驱动单元，将使的设备的体积增加。三、整个晶圆承载器P13必须借由滚轮P112支撑，且滚轮P112两侧的配种完全不成比例，将造成旋转结构不稳定及容易损坏。中国台湾专利公告第M316262号(以下简称262号专利)，揭露了一种真空蒸镀机的被镀物承载装置，其虽然揭露了3旋转轴旋转P120,P120,P130的旋转架、可旋转的承载盘及可旋转的旋转体，然而其存在着下列的问题：一、所有承载盘P14都借由第一支杆P12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其包括：公转底盘，其为圆形环绕轨道；公转顶盘，其具有多个支撑件，每一个该支撑件底部借由公转转轮，环绕运行于该公转底盘；多个镀锅自转模块，每一个该镀锅自转模块包括:悬臂，其以一倾斜角结合于该公转顶盘，又其特征为：每一个该镀锅自转模块又包括:/n齿轮盘，其结合于该悬臂底侧，该齿轮盘形成有内环状齿牙；及/n自转镀盘，其借由转轴结合于该悬臂，又该自转镀盘的端部，是环绕线性运转于该公转底盘；以及/n多个晶圆载盘，每一个该晶圆载盘借由转轴固设于该自转镀盘上，又借由每一个该晶圆载盘的外环状齿牙与该内环状齿牙，产生线性平稳转动结合。/n

【技术特征摘要】
1.一种3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其包括：公转底盘，其为圆形环绕轨道；公转顶盘，其具有多个支撑件，每一个该支撑件底部借由公转转轮，环绕运行于该公转底盘；多个镀锅自转模块，每一个该镀锅自转模块包括:悬臂，其以一倾斜角结合于该公转顶盘，又其特征为：每一个该镀锅自转模块又包括:
齿轮盘，其结合于该悬臂底侧，该齿轮盘形成有内环状齿牙；及
自转镀盘，其借由转轴结合于该悬臂，又该自转镀盘的端部，是环绕线性运转于该公转底盘；以及
多个晶圆载盘，每一个该晶圆载盘借由转轴固设于该自转镀盘上，又借由每一个该晶圆载盘的外环状齿牙与该内环状齿牙，产生线性平稳转动结合。


2.如权利要求1所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该悬臂是借由角度调整器与该公转顶盘结合。


3.如权利要求2所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该角度调整器包括第一角度调整单元及第二角度调整单元，又将该自转镀盘与该公转顶盘所形成的18度夹角定义为基准角度。


4.如权利要求3所述的3D蒸镀的公自转镀锅结构，其特征在于，其中该第一角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家璧，薛文皓，罗世欣，
申请(专利权)人：聚昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71