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3D蒸镀的公自转镀锅结构制造技术
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文档序号:24325685
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本发明为一种3D蒸镀的公自转镀锅结构,其包括:公转底盘;公转顶盘借由支撑件环绕运行于公转底盘;镀锅自转模块,具有悬臂结合于公转顶盘;又其齿轮盘结合于悬臂的底侧;及其自转镀盘结合于悬臂且环绕运行于圆形环绕轨道;以及多个晶圆载盘,借由转轴固设于...
该专利属于聚昌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚昌科技股份有限公司授权不得商用。
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