蒸镀装置和蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供设计成能形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜的蒸镀装置和使用该蒸镀装置的蒸镀方法。本发明专利技术的蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与上述多个喷射喷嘴平行，上述多个喷射喷嘴包括中央喷射喷嘴和一对外侧喷射喷嘴，该蒸镀装置满足以下的公式(1)和公式(2)。在公式(1)和公式(2)中，L1是多个喷射喷嘴与基板的距离(mm)。L2是上述中央喷射喷嘴与上述外侧喷射喷嘴的距离(mm)。θ是基板的表面与外侧喷射喷嘴的开口面所成的角的角度(°)。L1/2L2≤tanθ≤L1/L2···(1)；60°≤θ≤70°···(2)。

Steaming device and method

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置和蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀装置和蒸镀方法。
技术介绍
有时利用真空蒸镀法等蒸镀，形成显示面板、太阳能电池等的金属电极布线、有机EL层、半导体层、其它有机材料薄膜、无机材料薄膜等。蒸镀通常通过如下方式进行：通过对坩埚内的蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料气化，将气化了的蒸镀材料向基板表面喷射，使蒸镀材料沉积在该基板表面。沉积在基板表面上的蒸镀材料形成薄膜。此外，蒸镀时，通过用具有规定形状的掩膜覆盖基材表面，能够形成图案化的蒸镀膜。进行这样的蒸镀的蒸镀装置通常包括：蒸镀源，在内部配置有收容蒸镀材料的坩埚等，并具有喷射气化了的蒸镀材料的喷射喷嘴；以及基板固定部，固定基板。在此，为了进行与大型基板对应的蒸镀，如图4所示，可以考虑增加使用的喷射喷嘴31的数量。通过增加喷射喷嘴31的数量，即使对于大型基板X，也能够形成膜厚均匀性高的蒸镀膜。另外，图4中示意性地表示的曲线P是表示各喷射喷嘴31的蒸镀量分布的曲线。但是，在使用具有多个喷射喷嘴31的蒸镀装置30的情况下，特别是在基板X的端部，从较远的位置的喷射喷嘴31喷射的蒸镀材料以较小的角度到达基板表面。如图5所示，在这样的部分中，蒸镀材料容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与所述多个喷射喷嘴平行，所述多个喷射喷嘴包括：中央喷射喷嘴，具有与所述基板平行的开口面；以及一对外侧喷射喷嘴，配置成相对于所述中央喷射喷嘴左右对称，具有朝向外侧倾斜的开口面，所述蒸镀装置满足以下的公式(1)和公式(2)：L1/2L2≤tanθ≤L1/L2···(1)60°≤θ≤70°···(2)在所述公式(1)和所述公式(2)中，L1是所述基板固定于所述基板固定部时的所述多个喷射喷嘴与所述基板的距离，L1的单位是mm；L2是所述中央喷射喷嘴与所述外侧喷射喷嘴的距离，...

【技术特征摘要】
2017.12.06 JP 2017-2343761.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与所述多个喷射喷嘴平行，所述多个喷射喷嘴包括：中央喷射喷嘴，具有与所述基板平行的开口面；以及一对外侧喷射喷嘴，配置成相对于所述中央喷射喷嘴左右对称，具有朝向外侧倾斜的开口面，所述蒸镀装置满足以下的公式(1)和公式(2)：L1/2L2≤tanθ≤L1/L2···(1)60°≤θ≤70°···(2)在所述公式(1)和所述公式(2)中，L1是所述基板固定于所述基板固...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下和吉，末永真吾，滨永教彰，
申请(专利权)人：长州产业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP