温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供设计成能形成膜厚均匀性高且阴影少的蒸镀膜的蒸镀装置和使用该蒸镀装置的蒸镀方法。本发明的蒸镀装置包括：蒸镀源，具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴；以及基板固定部，将基板固定成与上述多个喷射喷嘴平行，上述多个喷射喷嘴包括中央...
该专利属于长州产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过长州产业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。