基于图像识别的涂胶显影机上料装置制造方法及图纸

技术编号:24543083 阅读:34 留言:0更新日期:2020-06-17 15:13
本实用新型专利技术公开了基于图像识别的涂胶显影机上料装置,涉及涂胶显影机上料技术领域,包括固定板、旋转支架和喷头安装架,固定板底部固定设置有第一电机,旋转支架安装在第一电机的输出轴上,旋转支架两侧均固定设置有第二电机,两个第二电机的输出轴之间安装有调节螺杆,调节螺杆上通过螺纹孔安装有滑动块,喷头安装架固定设置在滑动块底部,喷头安装架底部安装有涂胶喷头,旋转支架一侧固定设置有输胶管,输胶管通过伸缩管与涂胶喷头连通,固定板底部一侧固定设置有控制器,本实用新型专利技术结构合理且新颖,喷头可移动范围广,通过图像识别技术配合激光灯条对涂胶上料部分进行确认,智能化程度高,实用性较强。

Feeding device of gluing developing machine based on image recognition

【技术实现步骤摘要】
基于图像识别的涂胶显影机上料装置
本技术涉及涂胶显影机上料
,特别涉及基于图像识别的涂胶显影机上料装置。
技术介绍
在半导体制造工艺中,涂胶显影机是一种不可缺少的设备,一般用于光刻胶涂布及显影等工艺,尤其是随着现代科技的不断发展与进步,各行各业对半导体的需求也是逐渐增加,因此涂胶显影机的重要性不言而喻,而涂胶显影机中十分重要的一部分便是上料装置,通过上料装置对涂胶进行输送并涂抹,是涂胶显影机中至关重要的一环;但是,现有的涂胶显影机上料装置结构过于简单,存在一些不足之处需要进行改进:一方面,现有的涂胶显影机上料装置在对涂胶部位进行确定时大多是简单的机械式确定,在工件位置发生偏移时,涂胶部位可能发生错位;另一方面,现有的涂胶显影机上料装置在使用时位置调节较为死板,不够灵活,移动范围较窄。
技术实现思路
本技术的目的在于提供基于图像识别的涂胶显影机上料装置,以解决上述
技术介绍
中提出的位置确认不够准确以及移动范围较窄且不便于调节的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:基于图像识别的涂胶显影机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于图像识别的涂胶显影机上料装置,包括固定板(1)、旋转支架(2)和喷头安装架(3),其特征在于:所述固定板(1)底部固定设置有第一电机(4),所述旋转支架(2)安装在所述第一电机(4)的输出轴上,所述旋转支架(2)两侧均固定设置有第二电机(5),两个所述第二电机(5)的输出轴之间安装有调节螺杆(6),所述调节螺杆(6)上通过螺纹孔安装有滑动块(7),所述喷头安装架(3)固定设置在所述滑动块(7)底部,所述喷头安装架(3)底部安装有涂胶喷头(9),所述旋转支架(2)一侧固定设置有输胶管(10),所述输胶管(10)通过伸缩管(11)与所述涂胶喷头(9)连通;/n所述固定板(1)底部一侧固定设...

【技术特征摘要】
1.基于图像识别的涂胶显影机上料装置,包括固定板(1)、旋转支架(2)和喷头安装架(3),其特征在于:所述固定板(1)底部固定设置有第一电机(4),所述旋转支架(2)安装在所述第一电机(4)的输出轴上,所述旋转支架(2)两侧均固定设置有第二电机(5),两个所述第二电机(5)的输出轴之间安装有调节螺杆(6),所述调节螺杆(6)上通过螺纹孔安装有滑动块(7),所述喷头安装架(3)固定设置在所述滑动块(7)底部,所述喷头安装架(3)底部安装有涂胶喷头(9),所述旋转支架(2)一侧固定设置有输胶管(10),所述输胶管(10)通过伸缩管(11)与所述涂胶喷头(9)连通;
所述固定板(1)底部一侧固定设置有控制器(12),所述固定板(1)一侧固定设置有微型投影仪(13),所述固定板(1)一侧通过电源线设置有电源插头,所述控制器(12)分布与所述第一电机(4)、所述第二电机(5)、所述喷头安装架(3)、所述微型投影仪(13)以及所述涂胶喷头(9)电性连接。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:戴可学安礼余
申请(专利权)人:宇弘研精密机械苏州有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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