涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，包括安装块、安装结构、壳体和固定柱，所述壳体内部的顶端固定连接有安装块，且安装块的内部设置有安装结构，所述安装块的底端活动连接有检测传感器，所述安装块内部的两侧均活动连接有液压气缸，所述壳体内部的底端固定连接有伺服电机，且伺服电机的顶端活动连接有转环，所述转环的顶端活动连接有固定环。本实用新型专利技术通过在伸缩弹簧的一侧固定连接有液压气缸，液压气缸的内部设置有第一滑槽，第一滑槽与滑杆之间构成滑动结构，液压气缸可在滑杆上滑动，在将检测传感器卡合完成后，可正常使用，检测完成后，液压气缸带动检测传感器上升，随后进行喷涂，避免检测传感器损坏。

【技术实现步骤摘要】
涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置
本技术涉及半导体生产
，具体为涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置。
技术介绍
在半导体进行工业化制造时，需要对硅片进行显影，在显影时用到的涂胶显影机，将硅片固定后，需要对硅片的大小进行检测，从而进行喷涂显影。在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：（1）传统的扫描传感器装置，不便于检测边角，在将硅片进行固定后，无法准确检测硅片的边角；（2）传统的扫描传感器装置，不便于固定，检测传感器不便于安装与固定，会浪费很多安装的时间；（3）传统的扫描传感器装置，检测传感器容易损坏，在进行喷涂使，液体容易溅到检测传感器上。
技术实现思路
本技术的目的在于提供涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，以解决上述
技术介绍
中提出不便于检测边角、不便于固定和检测传感器容易损坏的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，包括安装块、安装结构、壳体和固定柱，所述壳体内部的顶端固定连接有安装块，且安装块的内部设置有安装结构，所述安装块的底端活动连接有检测传感器，所述安装块内部的两侧均活动连接有液压气缸，所述壳体内部的底端固定连接有伺服电机，且伺服电机的顶端活动连接有转环，所述转环的顶端活动连接有固定环，且固定环的内部设置有夹持结构，所述壳体内部底部的两侧与两端均固定连接有固定柱，且固定柱顶端的内部活动连接有推柱，所述推柱的一端固定连接有夹板，且夹板的底端固定连接有直线位移传感器。优选的，所述安装结构依次设置有卡槽、空腔、第一滑槽、伸缩弹簧、滑杆和卡块，空腔均设置在安装块内部的两侧，滑杆均固定连接在空腔的内部，伸缩弹簧活动连接在滑杆上，伸缩弹簧的一侧与液压气缸固定连接，卡块固定连接在液压气缸底端的一侧，第一滑槽均设置在液压气缸的内部。优选的，所述检测传感器的两侧均设置有卡槽，卡槽与卡块之间构成卡合结构。优选的，所述夹持结构依次设置有预留孔、滑块、外螺纹、内螺纹和第二滑槽，预留孔均设置在固定环两侧与两端，外螺纹均设置在推柱的一侧，滑块固定连接在固定环的底端。优选的，所述转环的顶端设置有内螺纹，内螺纹与外螺纹之间构成螺纹连接。优选的，所述转环的顶端设置有第二滑槽，第二滑槽与滑块之间构成滑动结构。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置结构合理，具有以下优点：（1）通过在壳体内部的底端固定连接有伺服电机，伺服电机启动带动转环转动，滑块与第二滑槽之间构成滑动结构，能使固定环更加稳定，外螺纹与内螺纹之间构成滑动结构，从而带动推柱左右移动，固定柱能够使推柱移动更加稳定，带动夹板对硅片进行夹持，直线位移传感器对夹板的位置进行检测，从而检测出硅片边角的位置，使检测结果更加准确；（2）通过在液压气缸底端的一侧固定连接有卡块，卡块与卡槽之间构成卡合结构，将检测传感器放入卡块之间，伸缩弹簧推动卡块对检测传感器进行卡合，伸缩弹簧可以确保安装更加稳定，安装方式简单快捷；（3）通过在伸缩弹簧的一侧固定连接有液压气缸，液压气缸的内部设置有第一滑槽，第一滑槽与滑杆之间构成滑动结构，液压气缸可在滑杆上滑动，在将检测传感器卡合完成后，可正常使用，检测完成后，液压气缸带动检测传感器上升，随后进行喷涂，避免检测传感器损坏。附图说明图1为本技术的正视剖面结构示意图；图2为本技术的限位机构侧视结构示意图；图3为本技术的图1中A处局部剖面放大结构示意图；图4为本技术的拆装机构侧视局部剖面放大结构示意图。图中：1、安装块；2、安装结构；201、卡槽；202、空腔；203、第一滑槽；204、伸缩弹簧；205、滑杆；206、卡块；3、壳体；4、推柱；5、固定柱；6、检测传感器；7、固定环；8、夹持结构；801、预留孔；802、滑块；803、外螺纹；804、内螺纹；805、第二滑槽；9、转环；10、伺服电机；11、夹板；12、直线位移传感器；13、液压气缸。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，包括安装块1、安装结构2、壳体3和固定柱5，壳体3内部的顶端固定连接有安装块1，且安装块1的内部设置有安装结构2，安装结构2依次设置有卡槽201、空腔202、第一滑槽203、伸缩弹簧204、滑杆205和卡块206，空腔202均设置在安装块1内部的两侧，滑杆205均固定连接在空腔202的内部，伸缩弹簧204活动连接在滑杆205上，伸缩弹簧204的一侧与液压气缸13固定连接，卡块206固定连接在液压气缸13底端的一侧，第一滑槽203均设置在液压气缸13的内部；检测传感器6的两侧均设置有卡槽201，卡槽201与卡块206之间构成卡合结构，便于拆卸与安装；具体地，如图1和图3所示，使用该机构时，首先，卡块206与卡槽201之间构成卡合结构，将检测传感器6放入卡块206之间，液压气缸13的内部设置有第一滑槽203，第一滑槽203与滑杆205之间构成滑动结构，液压气缸13可在滑杆205上滑动，伸缩弹簧204推动卡块206对检测传感器6进行卡合；安装块1的底端活动连接有检测传感器6，安装块1内部的两侧均活动连接有液压气缸13，壳体3内部的底端固定连接有伺服电机10，伺服电机10的型号可为ASD-A2，且伺服电机10的顶端活动连接有转环9，转环9的顶端活动连接有固定环7，且固定环7的内部设置有夹持结构8，夹持结构8依次设置有预留孔801、滑块802、外螺纹803、内螺纹804和第二滑槽805，预留孔801均设置在固定环7两侧与两端，外螺纹803均设置在推柱4的一侧，滑块802固定连接在固定环7的底端；转环9的顶端设置有内螺纹804，内螺纹804与外螺纹803之间构成螺纹连接，便于调节；转环9的顶端设置有第二滑槽805，第二滑槽805与滑块802之间构成滑动结构，使转动更加稳定；具体地，如图1和图2所示，使用该机构时，首先，伺服电机10启动带动转环9转动，滑块802与第二滑槽805之间构成滑动结构，能使固定环7更加稳定，外螺纹803与内螺纹804之间构成滑动结构，从而带动推柱4左右移动，固定柱5能够使推柱4移动更加稳定；壳体3内部底部的两侧与两端均固定连接有固定柱5，且固定柱5顶端的内部活动连接有推柱4，推柱4的一端固定连接有夹板11，且夹板11的底端固定连接有直线位移传感器12，直线位移传感器12的型号可为FY。工作原理：本技术在使用时，首先，卡块206与卡槽201之间构成卡合结构，将检测传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，包括安装块（1）、安装结构（2）、壳体（3）和固定柱（5），其特征在于：所述壳体（3）内部的顶端固定连接有安装块（1），且安装块（1）的内部设置有安装结构（2），所述安装块（1）的底端活动连接有检测传感器（6），所述安装块（1）内部的两侧均活动连接有液压气缸（13），所述壳体（3）内部的底端固定连接有伺服电机（10），且伺服电机（10）的顶端活动连接有转环（9），所述转环（9）的顶端活动连接有固定环（7），且固定环（7）的内部设置有夹持结构（8），所述壳体（3）内部底部的两侧与两端均固定连接有固定柱（5），且固定柱（5）顶端的内部活动连接有推柱（4），所述推柱（4）的一端固定连接有夹板（11），且夹板（11）的底端固定连接有直线位移传感器（12）。/n

【技术特征摘要】
1.涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，包括安装块（1）、安装结构（2）、壳体（3）和固定柱（5），其特征在于：所述壳体（3）内部的顶端固定连接有安装块（1），且安装块（1）的内部设置有安装结构（2），所述安装块（1）的底端活动连接有检测传感器（6），所述安装块（1）内部的两侧均活动连接有液压气缸（13），所述壳体（3）内部的底端固定连接有伺服电机（10），且伺服电机（10）的顶端活动连接有转环（9），所述转环（9）的顶端活动连接有固定环（7），且固定环（7）的内部设置有夹持结构（8），所述壳体（3）内部底部的两侧与两端均固定连接有固定柱（5），且固定柱（5）顶端的内部活动连接有推柱（4），所述推柱（4）的一端固定连接有夹板（11），且夹板（11）的底端固定连接有直线位移传感器（12）。


2.根据权利要求1所述的涂胶显影机多尺寸扫描传感器装置，其特征在于：所述安装结构（2）依次设置有卡槽（201）、空腔（202）、第一滑槽（203）、伸缩弹簧（204）、滑杆（205）和卡块（206），空腔（202）均设置在安装块（1）内部的两侧，滑杆（205）均固定连接在空腔（202）的内部，伸缩弹簧（204）活动连接在滑杆（205）上，伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：安礼余，
申请(专利权)人：宇弘研精密机械苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32