提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法制造方法及图纸

提供提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法，该提纯气体的制造装置具备将原料气体中的至少水分及氧气去除以得到提纯气体的提纯塔，提纯塔包含第一区域及第二区域，第一区域是用于将原料气体中的至少水分吸附去除的区域，第二区域用于将经过第一区域的原料气体中的至少氧气去除以得到提纯气体的区域，该提纯气体的制造方法包含以下工序：将原料气体向包含第一区域及第二区域的提纯塔导入；在第一区域中将原料气体中的至少水分吸附去除；在第二区域中将在第一区域中被吸附去除水分后的原料气体中的至少氧气去除；以及将在第二区域中被去除氧气后的原料气体作为提纯气体导出。

Manufacturing device of purified gas and manufacturing method of purified gas

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法
本专利技术涉及提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法。
技术介绍
日本特开平5-4809号公报(专利文献1)中公开了一种使用锆-钒二元合金等吸附金属去除氦气等惰性气体中含有的氧气、水分等杂质的提纯方法。日本特开平7-31877号公报(专利文献2)中公开了一种通过使作为杂质含有氧气及水分的惰性气体在加热条件下与以镍等为主成分的吸附剂接触而将氧气从惰性气体中去除，之后在常温下将残存在惰性气体中的水分吸附去除以制造提纯气体的技术。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开平5-4809号公报专利文献2：日本特开平7-31877号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本申请专利技术人们尝试使用吸附剂去除惰性气体中的氧气来制造提纯气体。其结果是，虽然机制不明，但得到了在惰性气体中作为杂质还含有水分的情况下，在提纯气体中含有微量的氢气的新的发现。即，在使用专利文献1、专利文献2中公开的提纯方法的情况下，认为在原料气体作为杂质含有水分的情况下在提纯气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提纯气体的制造装置，其中，/n所述提纯气体的制造装置具备提纯塔，所述提纯塔用于将原料气体中的至少水分及氧气去除以得到提纯气体，/n所述提纯塔包含第一区域及第二区域，/n所述第一区域是用于将所述原料气体中的至少水分吸附去除的区域，/n所述第二区域是用于将经过所述第一区域的所述原料气体中的至少氧气去除以得到提纯气体的区域。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180327 JP 2018-0593801.一种提纯气体的制造装置，其中，
所述提纯气体的制造装置具备提纯塔，所述提纯塔用于将原料气体中的至少水分及氧气去除以得到提纯气体，
所述提纯塔包含第一区域及第二区域，
所述第一区域是用于将所述原料气体中的至少水分吸附去除的区域，
所述第二区域是用于将经过所述第一区域的所述原料气体中的至少氧气去除以得到提纯气体的区域。


2.根据权利要求1所述的提纯气体的制造装置，其中，
所述第一区域含有脱湿剂，
所述第二区域含有吸附剂。


3.根据权利要求2所述的提纯气体的制造装置，其中，
所述吸附剂含有铜。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的提纯气体的制造装置，其中，
所述原料气体含有从由氮气及稀有气体构成的组中选择的一种以上的气体。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的提纯气体的制造装置，其中，
所述提纯气体的制造装置还具备：
反应器；
第一连接通路，其为用于连接所述反应器与所述提纯塔的连接通路，并用于从所述反应器向所述提纯塔导入所述原料气体；以及
第二连接通路，其为用于连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中真子，贝川贵纪，
申请(专利权)人：爱沃特株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP