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提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:24521749
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提供提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法,该提纯气体的制造装置具备将原料气体中的至少水分及氧气去除以得到提纯气体的提纯塔,提纯塔包含第一区域及第二区域,第一区域是用于将原料气体中的至少水分吸附去除的区域,第二区域用于将经过第一区域的原料气...
该专利属于爱沃特株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过爱沃特株式会社授权不得商用。
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