蒸镀掩膜和显示装置的制造方法制造方法及图纸

在掩膜框架(11)的框状部(11c)中，相比固定有对准片(14)的第一延伸部(11c1)和第二延伸部(11c2)，第一延伸部(11c1)和第二延伸部(11c2)之间的第三延伸部(11c3)的厚度较薄，并且第三延伸部(11c3)与对准片(14)不接触。

Manufacturing method of evaporated mask and display device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩膜和显示装置的制造方法
本专利技术涉及一种蒸镀掩膜和显示装置的制造方法。
技术介绍
如专利文献1所述的，在蒸镀掩膜片中，片状掩膜片以拉伸的状态固定在坚固的框状框架即掩膜框架上，所述掩膜片形成有用于对蒸镀层蒸镀的蒸镀孔的图案。如图22所示，框状掩膜框架111具有框状部111c、包围框状部111c的外周部111b。框状部111c是包围框架开口111a的边缘的区域，并且是用于固定被安装在掩膜框架111上的各片状部件的区域。框状部111c具有隔着框架开口111a对置的第一延伸部111c1和第二延伸部111c2、隔着框架开口111a对置的第三延伸部111c和第四延伸部111c4。片状部件即盖片112的两端部被插入并焊接在凹槽111d内，该凹槽111d形成在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2上。片状部件即支撑条113的两端部被插入并焊接在凹槽111e内，该凹槽111e形成在第三延伸部111c3和第四延伸部111c4上。第一延伸部111c1和第二延伸部111c2中到的、与凹槽111d邻接的凸部的顶面111g与第三延伸部111c3和第四延伸部111c4中的、与凹槽111e邻接的凸部的顶面111h为相同高度。如图23所示，接着，片状部件即2个对准片114以沿框架开口111a的两端的方式安装在框状部111c上。在每个对准片114上设有对准标记114a。2个对准片114中、对准片114A1配置成覆盖第三延伸部111c3的一部分，并且两端部通过激光焊接。由此，对准片114A1通过在两端部形成焊接的固定部114b，从而固定在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g。2个对准片114中、对准片114A2配置成覆盖第四延伸部111c4的一部分，并且两端部通过激光焊接。由此，对准片114A2通过在两端部形成焊接的固定部114b，从而固定在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g。接着，片状部件即多个掩膜片115被安装在对准片114A1、114A2之间、即框状部111c上。在掩膜片115上设有多个有效部115a，该有效部115a排列设有多个蒸镀孔。蒸镀孔是用于在被蒸镀基板的每个像素上形成蒸镀层的通孔。掩膜片115由于需要安装在掩膜框架111中的准确位置上，因此以对准片114的对准标记114a为基准进行定位。并且，掩膜片115的两端部通过激光焊接在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g。通过将规定张数的掩膜片115固定在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g，从而完成蒸镀掩膜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本公开专利公报：“特开2010-135269号”
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题为了去除在制造蒸镀掩膜时产生的异物或者去除在进行蒸镀时附着的蒸镀粒子，对蒸镀掩膜进行清洗。其中，如图23中的区域AR101所示，对准片114A1的两端部与第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g接触。该区域AR101由固定部114b固定。因此，对准片114与第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g密接，异物难以侵入。另一方面，第三延伸部111c3中、对准片114A1覆盖的顶面111h的部分区域AR102与对准片114A1接触，但没有被固定。因此，异物将侵入到对准片114A1与第三延伸部111c3的顶面111h之间。但是，对准片114A1覆盖的顶面111h与对准片114A1接触，因此清洗液难以流动，容易残留异物。对准片114A2也一样，与第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g接触的区域AR101被固定且密接，因此异物难以侵入。另一方面，对准片114A2中的覆盖第四延伸部111c4的区域AR102与对准片114A2、第四延伸部111c的顶面111h接触，但没有被固定。因此，异物将侵入到对准片114A2与第四延伸部111c4的顶面111h之间。但是，对准片114A2与第四延伸部111c4的顶面111h接触，因此清洗液难以流动，容易残留异物。如果残留有异物，接着，在使用蒸镀掩膜进行蒸镀时，该残留的异物将附着在被蒸镀基板上。本专利技术是鉴于上述现有问题而完成的，其目的是提供一种提高了清洗效果的蒸镀掩膜。解决问题的手段为了解决上述问题，本专利技术的一方面涉及的蒸镀掩膜具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩模框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，所述蒸镀掩膜其特征在于，上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的多个片状部件中、位于端部的第一片状部件，上述第一片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第三延伸部的至少一部分，上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第一片状部件接触。为了解决上述问题，本专利技术的一方面涉及的显示装置的制造方法，其包括蒸镀掩膜的制造方法，所述蒸镀掩膜具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩模框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，所述显示装置的制造方法其特征在于，上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，上述第四延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的多个片状部件，上述蒸镀掩膜的制造方法包括以下工序：将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的第一片状部件固定在上述第一方向的端部、即上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，以便在覆盖上述第三延伸部至少一部分的同时不与该第三延伸部接触的工序；将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的第二片状部件固定在与上述第一片状部件相反侧的端部、即上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，以便在覆盖上述第四延伸部至少一部分的同时不与该第四延伸部接触的工序；以及以设置在上述第一片状部件和上述第二片状部件的对准标记为基准，将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的、设有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔的多个掩膜片固定在上述掩膜框架上的工序，所述显示装置的制造方法具有蒸镀工序，在蒸镀工序中，使用通过上述蒸镀掩膜的制造方法制造的上述蒸镀掩膜，在上述被蒸镀基板的上述像素上形成蒸镀层。专利技术效果根据本专利技术的一方面，实现了如下效果：能够提供一种提高了清洗效果的蒸镀掩膜。...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩膜，其具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩膜框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，其特征在于，/n上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，/n上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，/n上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，/n上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，/n上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中、位于端部的第一片状部件，/n上述第一片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第三延伸部的至少一部分，/n上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第一片状部件接触。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩膜，其具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩膜框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，其特征在于，
上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，
上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，
上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，
上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，
上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中、位于端部的第一片状部件，
上述第一片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第三延伸部的至少一部分，
上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第一片状部件接触。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中、位于与上述第一片状部件相反侧的端部的第二片状部件，
上述第二片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第四延伸部的至少一部分，
上述第四延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第二片状部件接触。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
多个片状部件包括沿上述第二方向排列设置的多个支撑条，
在上述第三延伸部和上述第四延伸部上，针对每个上述支撑条设置了用于固定上述多个支撑条的凹槽。


4.根据权利要求3所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件包括固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的上述顶面上的多个掩膜片，
上述各掩膜片具有多个有效部，该有效部排列设置有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔，该蒸镀基板设有排列有有助于显示的上述像素的多个有源区域，
上述有效部是针对每个上述有源区域而设置。


5.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
多个片状部件包括沿上述第二方向排列设置的多个支撑条，
在上述第三延伸部和上述第四延伸部上，跨越上述多个支撑条的设置有用于固定上述多个支撑条的凹部。


6.根据权利要求5所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件包括固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的上述顶面上的多个掩膜片，
上述各掩膜片具有有效部，该有效部排列设置有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔，该蒸镀基板设有排列有有助于显示的上述像...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中庄介，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP