掩膜版制造技术

本发明专利技术公开了一种掩膜版。该掩膜版包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；至少一个第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，并与一掩膜条第一方向的一个端部连接，弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，第一拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内，且第一拉力的方向为掩膜条第一方向的端部指向第一弹性连接部的方向。掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，从而可以降低掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂，提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，进而提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

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【技术实现步骤摘要】
掩膜版
本专利技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种掩膜版。
技术介绍
在有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示面板的制作过程中，蒸镀用掩膜版可以控制有机材料沉积在基板上的位置。当掩膜版存在下垂等情况时，掩膜版与基板的贴合不好，增加了蒸镀后像素错位及混色等风险。
技术实现思路
本专利技术提供一种掩膜版，以减少掩膜版的下垂量，提高掩膜版的蒸镀精度。第一方面，本专利技术实施例提供了一种掩膜版，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上，并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接，所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力，所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向，其中，所述第一方向为所述掩膜条的长度方向。可选地，所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等，每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。可选地，沿所述第一方向，所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部，所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框；所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上，所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接，所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。可选地，所述掩膜条为至少两条，所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，所述支撑条固定于所述掩膜版框架上，并位于相邻所述掩膜条之间，所述支撑条与所述掩膜条平行设置；沿第二方向，所述掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部；每一所述掩膜条的第三端部与一个所述第二弹性连接部连接，所述第二弹性连接部对所述掩膜条具有第二拉力，所述第二拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第二拉力的方向为所述掩膜条第二方向的端部指向所述第二弹性连接部的方向；其中，所述第二方向为所述掩膜条的宽度方向。可选地，沿所述第二方向，所述掩膜版框架包括相对设置的第三边框和第四边框；所述第二弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第二弹性连接部的固定部固定于所述第三边框或所述支撑条上，所述第二弹性连接部的弹性部与所述掩膜条的第三端部固定连接；所述掩膜条的第四端部与所述第四边框或所述支撑条固定连接。可选地，所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧；所述弹性连接部包括固定部和弹性部，所述固定部为所述笔形涡卷弹簧的笔形外壳，所述弹性部为所述笔形涡卷弹簧的卷簧。可选地，所述笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属；所述笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的所述掩膜条的端部宽度相等。可选地，所述掩膜条包括蒸镀区和遮挡区；所述遮挡区设置有多条应力分散条，所述应力分散条的延伸方向与所述掩膜条的长度方向相交。可选地，所述遮挡区包括第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第一端部的一侧，所述第二遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第二端部的一侧；所述第一遮挡区和所述第二遮挡区均包括多条所述应力分散条；所述应力分散条为凸起结构；沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小。可选地，沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小。本专利技术实施例的技术方案，掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上，使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力，从而可以至少部分抵消掩膜条因重力导致的掩膜条的端部受到由端部指向掩膜条中间的力，进而降低了掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂，从而可以提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度，提高了掩膜版的蒸镀精度，降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种弹性连接部的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种掩膜版的俯视结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种掩膜版的主视结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一种掩膜版的俯视结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的另一种掩膜版的主视结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。目前，OLED显示面板通常采用真空蒸镀工艺沉积形成OLED器件。在蒸镀工艺中需要使用掩膜版将待沉积材料沉积于OLED显示面板的像素区。在此过程中，掩膜版的开口区与待蒸镀的OLED显示面板上的像素区对应设置。而掩膜版包括掩膜版框架和掩膜条，在蒸镀之前，先通过张网设备对掩膜条的端部施加一定的拉力，使掩膜条张紧，然后将掩膜条焊接在掩膜版框架上，从而形成蒸镀用掩膜版。在张网过程中，张网设备对掩膜条施加的压力比较小时，掩膜条容易出现下垂现象。张网设备对掩膜条施加的压力比较大时，掩膜条容易因拉力分布不均出现褶皱现象。因此形成的蒸镀用掩膜版容易出现开口区与待蒸镀的OLED显示面板上对应的像素区的位置出现偏移，增加了待蒸镀的OLED显示面板上像素错位及混色的风险，降低了掩膜版的蒸镀精度。同时掩膜版的下垂和褶皱会导致与待蒸镀的OLED显示面板之间的间隙增大，待沉积材料容易在掩膜版和待蒸镀OLED显示面板之间的间隙处发生衍射，进一步地降低了掩膜版蒸镀时的蒸镀精度，进而降低了OLED显示面板的良率。针对上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种掩膜版。图1为本专利技术实施例提供的一种掩膜版的结构示意图。如图1所示，该掩膜版包括掩膜版框架110、至少一条掩膜条120和至少一个第一弹性连接部130；至少一个第一弹性连接部130固定于掩膜版框架110上，并与一掩膜条120第一方向X的一个端部连接，第一弹性连接部130对掩膜条120具有第一拉力F，第一拉力F的方向为掩膜条120第一方向X的端部指向第一弹性连接部130的方向，其中，第一方向X为掩膜条120的长度方向。具体地，图1中示例性地示出了掩膜版包括4条掩膜条120，每一掩膜条120包括多个开口121(图1中示例性地示出了包括两个开口121)，每个开口121用于蒸镀待沉积材料。图1中示例性地示出了掩膜版包括一个第一弹性连接部130。当第一弹性连接部130与其中一条掩膜条120的第一方向X一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；/n至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上，并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接，所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力，所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向，其中，所述第一方向为所述掩膜条的长度方向。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；
至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上，并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接，所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力，所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向，其中，所述第一方向为所述掩膜条的长度方向。


2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等，每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。


3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第一方向，所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部，所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框；所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上，所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接，所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。


4.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜条为至少两条，所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，所述支撑条固定于所述掩膜版框架上，并位于相邻所述掩膜条之间，所述支撑条与所述掩膜条平行设置；
沿第二方向，所述掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部；每一所述掩膜条的第三端部与一个所述第二弹性连接部连接，所述第二弹性连接部对所述掩膜条具有第二拉力，所述第二拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第二拉力的方向为所述掩膜条第二方向的端部指向所述第二弹性连接部的方向；其中，所述第二方向为所述掩膜条的宽度方向。


5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第二方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘旭，张帅，古春笑，杨斌，杨硕，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32