蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。

Evaporation mask intermediate and evaporation mask

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模
本技术涉及蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。
技术介绍
蒸镀掩模具有具备表面及背面的矩形板状。蒸镀掩模具有从表面贯通至背面的多个贯通孔。各贯通孔具有在表面开口的第1开口、以及在背面开口的第2开口。各贯通孔是蒸镀材料的通路。在使用蒸镀掩模向对象物进行蒸镀时，蒸镀材料从第1开口进入贯通孔，由此在对象物上形成与第2开口的形状及位置对应的图案。为了抑制划分贯通孔的壁面妨碍蒸镀材料的通过，提出了具有50μm以下的厚度的蒸镀掩模(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6319505号然而，在使用蒸镀掩模时，蒸镀掩模被固定于支承框架。此时，蒸镀掩模在被施加沿着蒸镀掩模的长度方向的张力的状态下被固定于框架。蒸镀掩模非常薄，因此在将蒸镀掩模被固定于框架时，有时因张力的施加而导致蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。因此，在使用蒸镀掩模时，要求抑制蒸镀掩模的变形。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够抑制蒸镀掩模的使用时的蒸镀掩模的变形的蒸镀掩模中间体及蒸镀掩模。用于解决上述问题的蒸镀掩模中间体包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，所述蒸镀掩模中间体具备：带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。用于解决上述问题的蒸镀掩模为包含金属制片材的蒸镀掩模中间体的带状部，其中，所述蒸镀掩模中间体具备由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状部、包围该带状部的框状部、以及与所述带状部及所述框状部连接的多个跨接部，所述带状部通过所述跨接部的切断而被从所述蒸镀掩模中间体拆下，各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，在所述蒸镀掩模的边缘设置有作为所述缺口的所述底部的弯曲部，通过所述跨接部的切断，在所述蒸镀掩模的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位形成有跨接痕。根据上述构成，由带状部形成的蒸镀掩模具备包含U字状部分且U字状部分的底部为曲线状的缺口。因此，在通过对各第2缘部的缺口的两侧向一对第2缘部彼此远离的方向进行拉拽而对蒸镀掩模施加了张力的情况下，作用于缺口的力通过缺口所具有的形状而被分散。由此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生褶皱或扭曲等变形。另外，将带状部与框状部连接的跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。因此，在通过切断部的切断而形成的蒸镀掩模中，能够抑制在缺口的弯曲部残留有跨接部的一部分、或者弯曲部的一部分缺损。由此，弯曲部的形状被维持为能够使施加于蒸镀掩模的张力分散的形状。因此，在使用蒸镀掩模时，可抑制蒸镀掩模产生变形。也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，所述带状部的各第2边缘部具有通过所述多个跨接部而与所述框状部连接的连接部位。在制作蒸镀掩模中间体时，在对蒸镀掩模中间体赋予沿着长度方向的张力的状态下，蒸镀掩模中间体被输送。根据上述构成，由于带状部的第2缘部通过跨接部与框状部连接，因此在制作蒸镀掩模中间体时输送蒸镀掩模中间体时，带状部的长度方向的两端部持续被框状部支承。由此，即使沿着长度方向的张力的大小在长度方向的一方的端部与另一方的端部存在偏差，也能够抑制带状部的变形。也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，所述带状部的各缺口被所述连接部位夹着。根据上述构成，缺口的两侧通过跨接部与框状部连接。因此，与缺口的两侧中的仅一方通过跨接部而与框状部连接的情况相比，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，带状部持续被框状部支承。另外，与缺口的两侧中的仅一方通过跨接部而与框状部连接的情况相比，带状部相对于框状部不易位移。因此，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，抑制由于带状部与例如输送机构等接触而导致带状部的一部分弯曲。也可以是，在上述掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘，所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部，各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。带状部中的夹着缺口的部分与带状部中的其他部分相比，在与长度方向正交的方向上的宽度较小。根据上述构成，通过使各直线部与突状边缘连接，能够提高各直线部与突状部的刚性。由此，可抑制带状部的变形。此外，可抑制突状边缘相对于带状部弯折。结果，在输送蒸镀掩模中间体时，能够抑制带状部的一部分或突状边缘被输送机构等钩挂。也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，所述带状部的各第1边缘部通过所述多个跨接部而与所述框状部连接。根据上述构成，在输送蒸镀掩模中间体时，带状部的第1缘部持续被框状部支承。因此，能够抑制各第1边缘部弯折，从而抑制带状部的变形。也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状、且包含所述弯曲部的缺口，所述带状部的各第1边缘部在第1连接部位与所述框状部连接，所述带状部的各第2边缘部在第2连接部位通过所述多个跨接部而与所述框状部连接，与所述弯曲部相比，所述第1连接部位在所述长度方向上位于更靠近所述第2连接部位的位置。在带状部中由第1缘部及第2缘部形成的角部相比于第2缘部的中央、第1缘部的中央，容易从框状部浮起。另外，在带状部中夹着缺口的部分相比于其他部分，刚性低与缺口存在相当的量。根据上述构成，第1连接部位位于比弯曲部靠近第2连接部位的位置，因此能够抑制带状部的角部相对于框状部浮起。因此，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，能够抑制角部被输送机构等钩挂。也可以是，在上述蒸镀掩模中间体中，所述带状部包括具有多个贯通孔的掩模部，所述带状部的各第1边缘部在所述长度方向上，在不与所述掩模部重叠的部位，通过所述跨接部而与所述框状部连接。根据上述构成，与在长度方向上跨接部与掩模部排列的情况相比，在蒸镀掩模中间体的制作中沿着长度方向输送蒸镀掩模中间体时，经由跨接部作用于掩模部的力得到缓和。因此，能够抑制掩模部所具有的贯通孔的变形。也可以是，在上述蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模中间体，包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，/n所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，/n各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，/n所述蒸镀掩模中间体具备：/n带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；/n框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及/n多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，/n所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，/n在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，/n各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。/n

【技术特征摘要】
20180907 JP 2018-1679721.一种蒸镀掩模中间体，包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材，其中，
所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状，
各第2边缘部比所述第1边缘部短，且具备缺口，所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分，所述U字状部分的底部为曲线状，
所述蒸镀掩模中间体具备：
带状部，具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状；
框状部，具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘，且包围所述带状部；以及
多个跨接部，将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接，
所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模，
在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部，
各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接。


2.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部，
所述带状部的各第2边缘部具有通过所述多个跨接部而与所述框状部连接的连接部位。


3.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，
所述带状部的各缺口被所述连接部位夹着。


4.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体，其中，
所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口，
所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘，
所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部，
各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。


5.如权利要求1所述的蒸镀掩模中间体，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：西刚广，山本龙彦，小林昭彦，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP