【技术实现步骤摘要】
一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法
本专利技术属于柔性铁氧体薄膜的制备
，特别涉及一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法。
技术介绍
Ni0.5Zn0.5Fe2O4铁氧体具有微波损耗小及磁致伸缩系数大等优点，广泛应用于高频微波器件。随着人工智能技术的快速发展，对柔性电子器件的需求越来越高，特别是高质量柔性外延单晶铁氧体微波器件。然而，氧化物薄膜的生长需要高温和高氧条件，加之其固有的脆性，使得制备柔性外延单晶铁氧体薄膜困难重重。传统磁电耦合器件是将铁氧体生长在压电单晶基片或压电单晶薄膜上。传统磁电耦合器件在室温下需要高电压驱动，这会造成大的能量损失，或在压电薄膜的相变点工作，这些都极大限制了磁电耦合器件的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法，以解决上述问题。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶基片上依次沉积Sr3Al2O6和Ni...
【技术保护点】
1.一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1，采用脉冲激光沉积技术在SrTiO
【技术特征摘要】
1.一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶基片上依次沉积Sr3Al2O6和Ni0.5Zn0.5Fe2O4外延单晶薄膜；
步骤2，在Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜上贴附柔性PET衬底；
步骤3，然后将样品放入去离子水中，当Sr3Al2O6与水完全反应后，Ni0.5Zn0.5Fe2O4从基片上成功地转移至柔性PET衬底上。
2.根据权利要求1所述的一种柔性外延单晶铁氧体薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1中，脉冲激光的能量为1.4W～1.5W，频...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明，周子尧，胡忠强，王志广，姚谋腾，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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