配合区熔管使用的区熔舟以及区熔设备制造技术

技术编号:24484502 阅读:38 留言:0更新日期:2020-06-12 23:11
本实用新型专利技术提供的一种配合区熔管使用的区熔舟以及区熔设备,涉及锗单晶制备技术领域,包括:上舟体和下舟体,所述上舟体设置在所述下舟体的顶端,上舟体和下舟体在自下至上的方向上横截面面积逐渐增大;间隔支撑件,间隔支撑件支撑在上舟体和下舟体之间。在上述技术方案中,区熔舟便通过上舟体和下舟体构成,当下舟体置于区熔管的内腔以后,内腔中空置的空间可以继续容纳上舟体,使区熔管的内腔空间得到充分的利用,利用上舟体和下舟体共同盛装更多量的锗锭原料,并利用等量电能同时加热更多量的锗锭原料。由于区熔效率的提升和能耗的降低,从而便可以大大的降低区熔操作的成本。

Zone melting boat and zone melting equipment used for matching zone melting pipe

【技术实现步骤摘要】
配合区熔管使用的区熔舟以及区熔设备
本技术涉及锗单晶制备
,尤其是涉及一种配合区熔管使用的区熔舟以及区熔设备。
技术介绍
高纯锗晶体是锗产品中纯度最高的一种材料,探测器级高纯锗晶体(13N)的两个基本指标是净杂质浓度必须低于2×1010cm-3,位错密度小于5×103cm-2。高纯锗晶体的制备过程主要包括区熔提纯和单晶生长两个步骤。在锗晶体的区熔提纯过程中,目前一般采用区熔舟和区熔管配合进行,使锗锭在区熔舟内进行提纯。但是,现有技术中区熔提纯的区熔效率低,电能浪费大,所以造成现有技术中的区熔提纯成本较高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种配合区熔管使用的区熔舟以及区熔设备,以解决现有技术中存在的区熔提纯成本较高的技术问题。本技术提供的一种配合区熔管使用的区熔舟,包括:上舟体和下舟体,所述上舟体设置在所述下舟体的顶端,所述上舟体和所述下舟体在自下至上的方向上横截面面积逐渐增大;间隔支撑件,所述间隔支撑件支撑在所述上舟体和所述下舟体之间。进一步的,所述上舟体和所述下舟体的高度之比在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种配合区熔管使用的区熔舟,其特征在于,包括:/n上舟体和下舟体,所述上舟体设置在所述下舟体的顶端,所述上舟体和所述下舟体在自下至上的方向上横截面面积逐渐增大;/n间隔支撑件,所述间隔支撑件支撑在所述上舟体和所述下舟体之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种配合区熔管使用的区熔舟,其特征在于,包括:
上舟体和下舟体,所述上舟体设置在所述下舟体的顶端,所述上舟体和所述下舟体在自下至上的方向上横截面面积逐渐增大;
间隔支撑件,所述间隔支撑件支撑在所述上舟体和所述下舟体之间。


2.根据权利要求1所述的区熔舟,其特征在于,所述上舟体和所述下舟体的高度之比在1:1至1:2之间。


3.根据权利要求1所述的区熔舟,其特征在于,所述间隔支撑件为隔板。


4.根据权利要求3所述的区熔舟,其特征在于,所述隔板的材质为石英。


5.根据权利要求1-4中任一项所述的区熔舟,其特征在于,所述上舟体和/或所述下舟体的内侧壁涂覆隔离涂层。
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【专利技术属性】
技术研发人员:朱显超李万朋许所成张嘉亮雷同光冯德伸霍承松
申请(专利权)人:有研光电新材料有限责任公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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