【技术实现步骤摘要】
一种超纳米金刚石薄膜的制备装置
本技术涉及超纳米金刚石薄膜制备设备领域，尤其涉及一种超纳米金刚石薄膜的制备装置。
技术介绍
金金刚石薄膜根据晶粒尺寸大小可分为微米级、纳米级和超纳米级薄膜。纳米金刚石膜是指晶粒度小于200nm的金刚石膜，而超纳米金刚石膜则指晶粒度一般小于10nm的超细晶粒。由于超纳米金刚石晶粒小(最低可至2nm)、晶界比例高，及拥有显著的量子尺寸效应、表面效应和界面效应，且超纳米金刚石还具有沉积温度相对较低、内应力小，附着力好以及掺杂特性好的优点，因此受到了行业的广泛关注。在机械性能方面，超纳米金刚石具有表面光滑性好和摩擦系数小的特点，适合用作旋转机械设备的耐磨层和密封涂层；在电学性能方面，超纳米金刚石薄膜表面悬挂键密度高，拥有大量的sp2键碳原子形成电子发射的导电通道，有利于价带电子从禁带中的局域态跃迁到导带，利用隧道效应从表面发射出来；在生物医学领域，超纳米金刚石薄膜润湿性好、化学惰性强以及生物兼容性好，可用作人工心脏瓣膜、人工关节和假牙等人工医疗植入器材的密封涂层，以阻隔生物有机层和无机...
【技术保护点】
1.一种超纳米金刚石薄膜的制备装置，其特征在于，包括：/n底座；/n衬底，设置所述底座之上；/n加热层，内部均匀排布有加热器，设置于所述底座与所述衬底之间，用于加热使所述衬底的温度维持在预设温度；/n石英钟罩，用于与所述底座形成密封体；/n蓄能器件，设置在所述石英钟罩与所述底座构成的密封体内，用于储存电能，包括阴极和阳极；/n中心电极，与所述蓄能器件的阳极连接；/n外部电极，与所述蓄能器件的阴极连接；/n螺旋丝杆，连接所述中心电极，使所述中心电极可朝向外部电极移动，从而使得所述外部电极与中心电极之间的距离达到第一预设距离，使外部电极发射出预设能量的碳等离子体，在预设温度的衬...
【技术特征摘要】
1.一种超纳米金刚石薄膜的制备装置，其特征在于，包括：
底座；
衬底，设置所述底座之上；
加热层，内部均匀排布有加热器，设置于所述底座与所述衬底之间，用于加热使所述衬底的温度维持在预设温度；
石英钟罩，用于与所述底座形成密封体；
蓄能器件，设置在所述石英钟罩与所述底座构成的密封体内，用于储存电能，包括阴极和阳极；
中心电极，与所述蓄能器件的阳极连接；
外部电极，与所述蓄能器件的阴极连接；
螺旋丝杆，连接所述中心电极，使所述中心电极可朝向外部电极移动，从而使得所述外部电极与中心电极之间的距离达到第一预设距离，使外部电极发射出预设能量的碳等离子体，在预设温度的衬底上形成超纳米金刚石薄膜。
2.根据权利要求1所述的装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕家将，吴炳理，彭凡林，蒋晓刚，王文超，
申请(专利权)人：九江职业技术学院，
类型：新型
国别省市：江西;36
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