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本实用新型提供一种超纳米金刚石薄膜的制备装置，包括：由下而上的底座、衬底及加热层，加热层用于加热使衬底的温度维持在预设温度；石英钟罩，用于与底座形成密封体；蓄能器件，设置在石英钟罩与底座构成的密封体内，用于储存电能，包括阴极和阳极；中心电极...
该专利属于九江职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过九江职业技术学院授权不得商用。

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