一种真空镀膜旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜旋转装置；一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台、定位件和传动件，工件转台通过定位件设置于传动件顶部，工件转台包括连接件和载物单元，其还包括联动组件，联动组件包括：底座，底座指向工件转台的一端面上开设有凹槽；以及连杆，连杆垂直贯穿连接件滑动设置于连接件内，其位于载物单元的一侧，且其底部与凹槽抵触设置，该连杆底部沿凹槽的环形轨迹滑动同时带动放置区转动；本实用新型专利技术通过工件转台转动的同时，连杆在凹槽内滑动作上下滑动，同时带动放置区转动，放置区不仅能跟随工件转台转动，同时还能够在载物单元上转动，使得镀膜充分，提高镀膜效果。

A rotating device for vacuum coating

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜旋转装置
本技术涉及真空镀膜
，具体为一种真空镀膜旋转装置。
技术介绍
工件的使用寿命主要取决于耐磨性和硬度，而真空镀膜工艺是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式，在真空镀膜过程中，真空镀膜工件转台发挥着重要的作用，现有的真空镀膜工件转台通常包括电机、传动基座、真空室和载物台，电机通过传动带驱动传动基座中的驱动转轴旋转，驱动转轴带动载物台旋转。在申请号为CN201821109724.X的技术中公开了一种新式真空镀膜工件转台，包括：承接组件，所述承接组件包括传动件和与所述传动件固定连接的定位件；以及安装组件，所述安装组件包括与所定位件配合插设的滑动件和设置在所述滑动件上方且与所述滑动件固定连接的载物件；所述滑动件与所述定位件垂直设置且可拆卸连接；但是，上述技术在实际使用过程中，工件在工件转台上只是跟随工件转台转动，其相对工件转台为相对静止状态，在镀膜时会产生镀膜不充分的情况。
技术实现思路
针对以上问题，本技术提供了一种真空镀膜旋转装置，其通过工件转台转动的同时，连杆在凹槽内滑动作上下滑动，同时带动放置区转动，解决了上述技术工件镀膜不充分的技术问题，放置区不仅能跟随工件转台转动，同时还能够在载物单元上转动，使得镀膜充分，提高镀膜效果。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台、定位件和传动件，所述工件转台通过定位件设置于所述传动件顶部，所述传动件由驱动设备带动所述工件转台转动，所述传动件通过传动臂与驱动设备连接设置，所述工件转台包括连接件和载物单元，所述连接件设置于所述工件转台上，其跟随所述工件转台同步转动，所述载物单元可拆卸设置于所述连接件中部，其跟随所述连接件同步转动，该载物单元沿其长度方向转动设置有用于放置工件的放置区，其还包括联动组件，所述联动组件包括：底座，所述底座设置于所述传动臂上，其位于所述工件转台的下方，该底座指向所述工件转台的一端面上开设有凹槽；以及连杆，所述连杆垂直贯穿所述连接件滑动设置于所述连接件内，其位于所述载物单元的一侧，且其底部与所述凹槽抵触设置，该连杆底部沿所述凹槽的环形轨迹滑动同时带动所述放置区转动。作为改进，所述工件转台通过定位销与所述定位件连接设置，该定位销沿所述工件转台圆周阵列设置，所述定位件上开设有与所述定位销一一对应且配合设置的定位孔。作为改进，所述连接件与所述载物单元均沿着所述工件转台的圆周阵列设置，且所述连接件与所述载物单元一一对应设置。作为改进，所述凹槽呈凹凸面，其带动所述连杆作上下滑动。作为改进，所述连杆底部呈球面。作为改进，所述放置区沿所述载物单元的长度方向阵列设置。作为改进，所述放置区呈圆柱形，沿所述放置区的圆周表面设置有齿圈。作为改进，所述连杆上部沿其长度方向设置有啮齿区间，该啮齿区间与所述齿圈啮合设置。本技术的有益效果在于：(1)本技术通过工件转台转动的同时，连杆在凹槽内滑动作上下滑动，同时带动放置区转动，放置区不仅能跟随工件转台转动，同时还能够在载物单元上转动，使得镀膜充分，提高镀膜效果；(2)本技术中通过连接件与载物单元之间的可拆卸连接，无需进行锁死，使用方便，同时应用时只需将工件直接放在载物单元上，镀膜工件结束后，直接将载物单元拆卸即可，无需将整个装置从真空膜机中取出，其结构简单、巧妙，节省劳动力输出，提高工作效率；(3)本技术中通过设置连杆底部为圆球面，减少了连杆底部与凹槽之间的摩擦，提高了装置运行时的流畅性，同时，增加了连杆的使用寿命；综上所述，本技术具有结构简单、提高工作效率、提高镀膜效果、拆卸方便等优点。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术底座结构示意图；图3为本技术连杆结构示意图；图4为本技术连杆与放置区配合示意图；具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。实施例：如图1、2和3所示，一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台1、定位件2和传动件3，所述工件转台1通过定位件2设置于所述传动件3顶部，所述传动件3由驱动设备带动所述工件转台1转动，所述传动件3通过传动臂31与驱动设备连接设置，所述工件转台1包括连接件11和载物单元12，所述连接件11设置于所述工件转台1上，其跟随所述工件转台1同步转动，所述载物单元12可拆卸设置于所述连接件11中部，其跟随所述连接件11同步转动，该载物单元12沿其长度方向转动设置有用于放置工件的放置区111，其还包括联动组件4，所述联动组件4包括：底座41，所述底座41设置于所述传动臂31上，其位于所述工件转台1的下方，该底座41指向所述工件转台1的一端面上开设有凹槽411；以及连杆42，所述连杆42垂直贯穿所述连接件11滑动设置于所述连接件11内，其位于所述载物单元12的一侧，且其底部与所述凹槽411抵触设置，该连杆42底部沿所述凹槽411的环形轨迹滑动同时带动所述放置区111转动。进一步地，所述工件转台1通过定位销13与所述定位件2连接设置，该定位销13沿所述工件转台1圆周阵列设置，所述定位件2上开设有与所述定位销13一一对应且配合设置的定位孔21。进一步地，所述连接件11与所述载物单元12均沿着所述工件转台1的圆周阵列设置，且所述连接件11与所述载物单元12一一对应设置。其中，所述凹槽411呈凹凸面，其带动所述连杆42作上下滑动。并且，所述连杆42底部呈圆球面421。进一步地，所述放置区111沿所述载物单元12的长度方向阵列设置。需要说明的是，如图4所示，所述放置区111呈圆柱形，沿所述放置区111的圆周表面设置有齿圈1111；所述连杆42上部沿其长度方向设置有啮齿区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台(1)、定位件(2)和传动件(3)，所述工件转台(1)通过定位件(2)设置于所述传动件(3)顶部，所述传动件(3)由驱动设备带动所述工件转台(1)转动，所述传动件(3)通过传动臂(31)与驱动设备连接设置，所述工件转台(1)包括连接件(11)和载物单元(12)，所述连接件(11)设置于所述工件转台(1)上，其跟随所述工件转台(1)同步转动，所述载物单元(12)可拆卸设置于所述连接件(11)中部，其跟随所述连接件(11)同步转动，该载物单元(12)沿其长度方向转动设置有用于放置工件的放置区(111)，其特征在于，还包括联动组件(4)，所述联动组件(4)包括：/n底座(41)，所述底座(41)设置于所述传动臂(31)上，其位于所述工件转台(1)的下方，该底座(41)指向所述工件转台(1)的一端面上开设有凹槽(411)；以及/n连杆(42)，所述连杆(42)垂直贯穿所述连接件(11)滑动设置于所述连接件(11)内，其位于所述载物单元(12)的一侧，且其底部与所述凹槽(411)抵触设置，该连杆(42)底部沿所述凹槽(411)的环形轨迹滑动同时带动所述放置区(111)转动。/n...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台(1)、定位件(2)和传动件(3)，所述工件转台(1)通过定位件(2)设置于所述传动件(3)顶部，所述传动件(3)由驱动设备带动所述工件转台(1)转动，所述传动件(3)通过传动臂(31)与驱动设备连接设置，所述工件转台(1)包括连接件(11)和载物单元(12)，所述连接件(11)设置于所述工件转台(1)上，其跟随所述工件转台(1)同步转动，所述载物单元(12)可拆卸设置于所述连接件(11)中部，其跟随所述连接件(11)同步转动，该载物单元(12)沿其长度方向转动设置有用于放置工件的放置区(111)，其特征在于，还包括联动组件(4)，所述联动组件(4)包括：
底座(41)，所述底座(41)设置于所述传动臂(31)上，其位于所述工件转台(1)的下方，该底座(41)指向所述工件转台(1)的一端面上开设有凹槽(411)；以及
连杆(42)，所述连杆(42)垂直贯穿所述连接件(11)滑动设置于所述连接件(11)内，其位于所述载物单元(12)的一侧，且其底部与所述凹槽(411)抵触设置，该连杆(42)底部沿所述凹槽(411)的环形轨迹滑动同时带动所述放置区(111)转动。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜旋转装置，其特征在于，所述工件转台(1)通过定位销(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晖，
申请(专利权)人：浙江法德装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33