一种低温真空镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种低温真空镀膜装置，属于镀膜设备技术领域，包括镀膜室以及设置在所述镀膜室内底部的蒸发室，所述蒸发室内底部设置有电热板，所述镀膜室侧方与真空泵相连，所述镀膜室内部设置有盛放组件，所述盛放组件包括环板以及自所述环板内侧贯穿设置并与所述环板固定连接的安装板，所述安装板中部开设有用于安装靶材的卡槽。本发明专利技术实施例中，通过第二驱动组件带动第一驱动组件上下移动，第一驱动组件带动安装板以及环板在镀膜室内部上下移动，同时在齿片与齿条的啮合效果下驱使安装板以及靶材转动，从而使得靶材的上下表面均能够与蒸发的涂料进行充分接触，提高了靶材的镀膜效率，具有镀膜效果好、质量高的优点。

A low temperature vacuum coating device

【技术实现步骤摘要】
一种低温真空镀膜装置
本专利技术属于镀膜设备
，具体是一种低温真空镀膜装置。
技术介绍
利用真空蒸发技术在工件表面镀保护膜的技术，已经成熟应用于工业生产，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，镀的材料被称为靶材，产品与靶材同在真空环境中。现有的低温真空镀膜设备大多是利用高温将金属或者非金属材料进行蒸发，并将蒸发的金属或者非金属材料凝结在镀件（靶材）上，这种镀膜方式在对一些需要双面镀膜的靶材进行镀膜时存在镀膜效果较差的问题。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本专利技术实施例要解决的技术问题是提供一种低温真空镀膜装置。为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室以及设置在所述镀膜室内底部的蒸发室，所述蒸发室内底部设置有电热板，所述镀膜室侧方与真空泵相连，所述镀膜室内部设置有盛放组件，所述盛放组件包括环板以及自所述环板内侧贯穿设置并与所述环板固定连接的安装板，所述安装板中部开设有用于安装靶材的卡槽，所述环板外侧设置有周向均匀分布的若干齿片，所述镀膜室内壁设置有与所述齿片啮合的齿条，镀膜室内部左右侧壁上均安装有导向组件，所述环板左右两端通过转杆转动连接有U型卡块，所述U型卡块与所述导向组件滑动配合；所述镀膜室内壁设置有用于控制所述U型卡块沿所述导向组件上下移动的第一驱动组件，所述镀膜室上部还设置有用于带动所述第一驱动组件上下移动的第二驱动组件。作为本专利技术进一步的改进方案：所述导向组件包括相对设置的两组导向条，所述U型卡块卡设与两组导向条外侧。作为本专利技术进一步的改进方案：所述环板的直径与所述安装板的长度方向垂直。作为本专利技术进一步的改进方案：所述镀膜室内壁开设有长槽，两组所述导向条分别位于所述长槽两侧，所述第一驱动组件包括活动设置在所述长槽内部的驱动杆以及铰接在所述驱动杆朝向镀膜室内部一侧的若干活动板，所述驱动杆上端延伸至镀膜室外部并与第二驱动组件相连，每组所述活动板中部均通过转销与长槽内壁转动配合，每组所述活动板远离驱动杆的一端上下两侧均设置有磁片，所述U型卡块内侧设置有与所述磁片相对应的磁块。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述磁块呈等腰三角形结构。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述第二驱动组件包括设置在所述镀膜室上方的压板以及设置在所述压板上部并与所述压板紧贴的凸轮，所述驱动杆上端延伸至所述镀膜室外部并与所述压板底部固定连接，所述凸轮通过转轴与外部电机相连，所述压板底部通过若干弹性支撑件与镀膜室上部相连。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述弹性支撑件为弹簧。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述弹性支撑件为弹片。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述安装板内侧还设置有沿所述卡槽周向分布的弹性支撑软层。作为本专利技术再进一步的改进方案：所述弹性支撑软层由橡胶材料制成。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术实施例中，通过第二驱动组件带动第一驱动组件上下移动，第一驱动组件带动安装板以及环板在镀膜室内部上下移动，同时在齿片与齿条的啮合效果下驱使安装板以及靶材转动，从而使得靶材的上下表面均能够与蒸发的涂料进行充分接触，提高了靶材的镀膜效率，具有镀膜效果好、质量高的优点。附图说明图1为一种低温真空镀膜装置的结构示意图；图2为一种低温真空镀膜装置中盛放组件的结构示意图；图3为一种低温真空镀膜装置中A处放大图；图4为一种低温真空镀膜装置中B处放大图；图中：1-镀膜室、2-蒸发室、3-电热板、4-真空泵、5-齿条、6-环板、7-齿片、8-安装板、9-压板、10-凸轮、11-转轴、12-导向组件、13-驱动杆、14-长槽、15-卡槽、16-活动板、17-转销、18-磁片、19-磁块、20-U型卡块、21-转杆、22-弹性支撑软层、23-弹性支撑件。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。实施例1请参阅图1-4，本实施例提供了一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室1以及设置在所述镀膜室1内底部的蒸发室2，所述蒸发室2内底部设置有电热板3，所述镀膜室1侧方与真空泵4相连，所述镀膜室1内部设置有盛放组件，具体的，所述盛放组件包括环板6以及自所述环板6内侧贯穿设置并与所述环板6固定连接的安装板8，所述安装板8中部开设有用于安装靶材的卡槽15，所述环板6外侧设置有周向均匀分布的若干齿片7，所述镀膜室1内壁设置有与所述齿片7啮合的齿条5，镀膜室1内部左右侧壁上均安装有导向组件12，所述环板6左右两端通过转杆21转动连接有U型卡块20，所述U型卡块20与所述导向组件12滑动配合；所述镀膜室1内壁设置有用于控制所述U型卡块20沿所述导向组件12上下移动的第一驱动组件，所述镀膜室1上部还设置有用于带动所述第一驱动组件上下移动的第二驱动组件。将待镀膜靶材嵌入卡槽15内，利用真空泵4对镀膜室1进行抽真空处理，同时电热板3将蒸发室2内部的涂料加热蒸发并弥散至镀膜室1内腔；利用第二驱动组件带动第一驱动组件上下移动，第一驱动组件带动U型卡块20沿导向组件12上下移动，U型卡块20带动安装板8以及环板6在镀膜室1内部上下移动，由于环板6外侧通过齿片7与齿条5啮合，安装板8左右两端通过转杆21与U型卡块20转动连接，安装板8以及环板6在上下移动的同时进行转动，进而带动安装板8上的靶材转动，使得靶材的上下表面能够与镀膜室1内部充斥的涂料进行均匀且充分的接触，从而提高靶材的镀膜效果。具体的，所述导向组件包括相对设置的两组导向条，所述U型卡块20卡设与两组导向条外侧。具体的，所述环板6的直径与所述安装板8的长度方向垂直。具体的，所述镀膜室1内壁开设有长槽14，两组所述导向条分别位于所述长槽14两侧，所述第一驱动组件包括活动设置在所述长槽14内部的驱动杆13以及铰接在所述驱动杆13朝向镀膜室1内部一侧的若干活动板16，所述驱动杆13上端延伸至镀膜室1外部并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室（1）以及设置在所述镀膜室（1）内底部的蒸发室（2），所述蒸发室（2）内底部设置有电热板（3），所述镀膜室（1）侧方与真空泵（4）相连，其特征在于，所述镀膜室（1）内部设置有盛放组件，所述盛放组件包括环板（6）以及自所述环板（6）内侧贯穿设置并与所述环板（6）固定连接的安装板（8），所述安装板（8）中部开设有用于安装靶材的卡槽（15），所述环板（6）外侧设置有周向均匀分布的若干齿片（7），所述镀膜室（1）内壁设置有与所述齿片（7）啮合的齿条（5），镀膜室（1）内部左右侧壁上均安装有导向组件（12），所述环板（6）左右两端通过转杆（21）转动连接有U型卡块（20），所述U型卡块（20）与所述导向组件（12）滑动配合；所述镀膜室（1）内壁设置有用于控制所述U型卡块（20）沿所述导向组件（12）上下移动的第一驱动组件，所述镀膜室（1）上部还设置有用于带动所述第一驱动组件上下移动的第二驱动组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室（1）以及设置在所述镀膜室（1）内底部的蒸发室（2），所述蒸发室（2）内底部设置有电热板（3），所述镀膜室（1）侧方与真空泵（4）相连，其特征在于，所述镀膜室（1）内部设置有盛放组件，所述盛放组件包括环板（6）以及自所述环板（6）内侧贯穿设置并与所述环板（6）固定连接的安装板（8），所述安装板（8）中部开设有用于安装靶材的卡槽（15），所述环板（6）外侧设置有周向均匀分布的若干齿片（7），所述镀膜室（1）内壁设置有与所述齿片（7）啮合的齿条（5），镀膜室（1）内部左右侧壁上均安装有导向组件（12），所述环板（6）左右两端通过转杆（21）转动连接有U型卡块（20），所述U型卡块（20）与所述导向组件（12）滑动配合；所述镀膜室（1）内壁设置有用于控制所述U型卡块（20）沿所述导向组件（12）上下移动的第一驱动组件，所述镀膜室（1）上部还设置有用于带动所述第一驱动组件上下移动的第二驱动组件。


2.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述导向组件包括相对设置的两组导向条，所述U型卡块（20）卡设与两组导向条外侧。


3.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述环板（6）的直径与所述安装板（8）的长度方向垂直。


4.根据权利要求2所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室（1）内壁开设有长槽（14），两组所述导向条分别位于所述长槽（14）两侧，所述第一驱动组件包括活动设置在所述长槽（14）内部的驱动杆（13）以及铰接在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡均松，
申请(专利权)人：胡均松，
类型：发明
国别省市：湖北;42