气体快速加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种气体快速加热装置，包括：密闭的腔体；管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内；保温层，设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。本实用新型专利技术提供的气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。

Gas fast heating device

【技术实现步骤摘要】
气体快速加热装置
本技术涉及一种辅助加热装置领域，特别是涉及一种气体快速加热装置。
技术介绍
化学气相沉积(CVD)可用于太阳能薄膜电池生产，在沉积太阳能薄膜电池时，需要向CVD设备工艺腔中通入气态反应物，而当反应物的反应源为固态或者液态时，需要对反应源进行加热，保证反应物以气体形式参与反应。实际应用中，一般是将从反应源到工艺腔室之间的全部管路外侧缠绕加热丝，如(图1)所示，管路内部为气化的反应物，外侧手工缠绕加热丝。而这样的加热方式，管路的受热较小，反应物在管路内的温度较低，反应物在接近工艺室过程中，工艺室的冷空气会使得反应物冷凝。而若加热丝的加热功率较高时，管路内的反应物温度较高后可能会使得反应物发生化学或物理反应。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种气体快速加热装置，避免了反应物在从反应源到工艺室的管路中冷凝。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种气体快速加热装置，包括：密闭的腔体；管路，所述管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；r>所述第二支路远离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体快速加热装置，其特征在于，包括：/n密闭的腔体；/n管路，所述管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；/n所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端与所述腔体外的反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；/n所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；/n加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内，所述加热棒用于加热所述第一支路和所述第二支路内的气体；/n保温层，所述保温层设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体快速加热装置，其特征在于，包括：
密闭的腔体；
管路，所述管路设置在所述腔体内，且所述管路包括第一支路和第二支路；
所述第二支路远离所述第一支路设置，所述第一支路的进气端与所述腔体外的反应源连通，所述第一支路的出气端与所述腔体外的工艺腔室连通；
所述第二支路的进气端封闭，所述第二支路的出气端与所述第一支路的出气端连通；
加热棒，所述加热棒设置在所述腔体内，且所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成空间内，所述加热棒用于加热所述第一支路和所述第二支路内的气体；
保温层，所述保温层设置在所述腔体内壁上，且所述保温层用于对所述第一支路和所述第二支路的气体保温。


2.根据权利要求1中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第一支路与所述第二支路围成U形，所述加热棒设置在所述第一支路与所述第二支路围成U形内。


3.根据权利要求2中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述管路还包括第三支路，所述第三支路一端与所述第一支路的出气端连通，所述第三支路的另一端与所述腔体外的工艺腔室连通。


4.根据权利要求3中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第三支路设置在所述第一支路与所述第二支路中间，且所述第三支路远离所述加热棒设置。


5.根据权利要求4中所述气体快速加热装置，其特征在于，所述第一支路还包括气体流通段，所述气体流通段设置在所述第一支路的进气端与所述第一支路的出气端之间；
且所述气...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11