一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，包括基底层、叉指电极层、金属氧化物层,金属氧化物层的上设置有多个孔洞，孔洞内底部还设置有贵金属颗粒；通过在金属氧化物的上方设置孔洞，在孔洞内设置贵金属颗粒，通过光激发贵金属颗粒形成表面等离激元共振，在贵金属颗粒附近形成强电场，强电场有利于将金属氧化物内部的自由电子与附近的氧气分子结合，变成氧负离子；当待测气体与传感器接触时，气体分子与更多的氧负离子反应，生成更多的自由电子，这些自由电子返回该气体传感器中，使得金属氧化物薄膜中的自由电子浓度剧烈增加，导致电阻剧烈降低，通过检测电阻的变化，就可以实现气体分子的高灵敏度探测。

A composite structure gas sensor composed of porous metal oxide film and holes

【技术实现步骤摘要】
一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器
本专利技术属于气体传感
，具体涉及一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器。
技术介绍
气体传感器是一种检测气体浓度的仪器。该仪器适用于存在可燃易爆或有毒有害气体的危险场所，能长期连续检测环境中被测目标气体危险下限以内的含量。可广泛应用于燃气、石油化工、冶金、钢铁、炼焦、电力等存在可燃或有毒气体的各个行业，是保证财产安全和人身健康的理想监测仪器。气体传感器可以检测：可燃气体类：天然气(甲烷)、液化气(异丁烷、丙烷)、煤气(氢气)、乙炔、戊烷、炔类、烯类、酒精、丙酮、甲苯、醇类、烃类、轻油等多种液体蒸汽。有毒气体类：一氧化碳、硫化氢、氨气、氯气、氧气、磷化氢、二氧化硫、氯化氢、二氧化氯等多种有毒有害气体。目前制约气体传感器发展的主要原因有：气体传感器的灵敏度较低、选择性较差、功耗大、制备工艺复杂、价格高等因素，而所有这些因素都与气体传感器所采用的敏感材料和气体传感器的结构有关。可以说，敏感材料与传感器的结构是新型气体传感器乃至新型智能控制系统的基础本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：包括基底层(1)，所述基底层(1)的上方设置有叉指电极层(2)，所述叉指电极层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有多个孔洞(4)，所述孔洞(4)内底部还设置有贵金属颗粒(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：包括基底层(1)，所述基底层(1)的上方设置有叉指电极层(2)，所述叉指电极层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3)的上设置有多个孔洞(4)，所述孔洞(4)内底部还设置有贵金属颗粒(5)。


2.如权利要求1所述的一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：所述多个孔洞(4)为周期排列。


3.如权利要求1所述的一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：所述孔洞(4)的高度小于有金属氧化物层(3)的厚度。


4.如权利要求1所述的一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：所述孔洞(4)为圆形。


5.如权利要求4所述的一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器，其特征在于：所述孔洞(4)的半径为20nm～1μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘黎明，迟锋，易子川，王红航，杨健君，
申请(专利权)人：电子科技大学中山学院，
类型：发明
国别省市：广东;44