一种氧化铜薄膜的制备方法技术

技术编号:24406342 阅读:180 留言:0更新日期:2020-06-06 07:17
本发明专利技术针对现有氧化铜薄膜制造成本高、工艺复杂、稳定性差的问题,提供一种氧化铜薄膜的制备方法。它基于电喷印原理,将铜氨络合物溶液与电解质溶液混合制成喷印墨水,在喷针和基底之间施加电场,驱动喷印墨水从喷针尖端喷出,产生电喷雾,在基底接收喷雾形成的液滴。加热的基底促进溶剂挥发和铜氨络合物分解形成氧化铜,形成致密的氧化铜薄膜。本制备方法简单,成膜厚度可控,成本相较于其它方法更加低廉,稳定性更好。

A preparation method of copper oxide film

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铜薄膜的制备方法
本专利技术涉及纳米材料制备领域,具体地涉及制备氧化铜薄膜的制备方法。
技术介绍
硫化氢(H2S)是一种剧毒气体,高浓度的硫化氢可以使人在数秒至数分钟内死亡,在低至亚ppm级浓度的硫化氢下长期暴露也会对人体健康产生极大影响。硫化氢具有很强的腐蚀性,在工业领域能够引起器件腐蚀和催化剂中毒。因此,工业生产、环境监测和日常生活等领域都有对硫化氢气体进行快速、高灵敏检测的需求。现在常见的硫化氢传感器属于电导传感器,采用氧化铜薄膜作为传感膜,即通过气体在其表面的吸附造成的电导率变化来测量气体的浓度。现在主要的氧化铜薄膜制备技术有丝网印刷、旋涂、电纺丝、脉冲激光沉积(PLD)、化学气相沉积(CVD)、电化学法等,其中,丝网印刷、电纺丝方法制备的薄膜稳定性差;旋涂法不仅稳定性差还难以控制厚度;脉冲激光沉积和化学气相沉积方法需要昂贵的仪器设备,成本较高;电化学法需要以金属铜作为基底。因此,需要建立一种成本低廉、所需设备简单、制备过程简单、稳定性好的制备氧化铜薄膜的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化铜薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:/n1)将碱式碳酸铜溶于氨水,配制成铜氨络合物溶液;/n2)将铜氨络合物溶液与电解质溶液混合均匀,制成喷印墨水,其中铜离子的浓度为0.001~0.2mol/L;/n3)在喷针和基底之间施加电场,驱动喷印墨水从喷针尖端喷出,产生电喷雾,基底接收喷雾形成的液滴;所述基底为绝缘材质,且被加热以促进溶剂挥发和铜氨络合物分解形成氧化铜;基底放置在二维平台上,通过控制二维平台的移动在基底上喷印制备出氧化铜薄膜;/n4)将3)制备的氧化铜薄膜在空气氛围下,在400-800℃下加热烧结。/n

【技术特征摘要】
1.一种氧化铜薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)将碱式碳酸铜溶于氨水,配制成铜氨络合物溶液;
2)将铜氨络合物溶液与电解质溶液混合均匀,制成喷印墨水,其中铜离子的浓度为0.001~0.2mol/L;
3)在喷针和基底之间施加电场,驱动喷印墨水从喷针尖端喷出,产生电喷雾,基底接收喷雾形成的液滴;所述基底为绝缘材质,且被加热以促进溶剂挥发和铜氨络合物分解形成氧化铜;基底放置在二维平台上,通过控制二维平台的移动在基底上喷印制备出氧化铜薄膜;
4)将3)制备的氧化铜薄膜在空气氛围下,在400-800℃下加热烧结。


2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤3)中在喷针的末端连接一个三通,三通一端连接喷印墨水管道,一端引出电极连接高压电源的正极;高压电源的负极与基底下放置的接收极相连。


3.根据权利要求1所述的方法,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨航关亚风
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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