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一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器制造技术
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下载一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器的技术资料
文档序号:24406349
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本发明涉及一种由金属氧化物多孔薄膜和孔洞构成的复合结构气体传感器,包括基底层、叉指电极层、金属氧化物层,金属氧化物层的上设置有多个孔洞,孔洞内底部还设置有贵金属颗粒;通过在金属氧化物的上方设置孔洞,在孔洞内设置贵金属颗粒,通过光激发贵金属颗...
该专利属于电子科技大学中山学院所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学中山学院授权不得商用。
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