一种供气设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种供气设备，包括通过管道依次连接的惰性气源、原料仓、反应器；所述原料仓内设有多个原料存储架；所述原料存储架包括架体、放置原料罐的置物板；所述置物板设有与原料罐接触的加热板；所述架体上设有多个竖直的第一滑轨；所述第一滑轨上设有可上下滑动的紧固件；所述置物板上设有支撑原料罐的护板；所述护板上设有卡箍装置；所述卡箍装置包括固定在所述护板两侧的固定端、可伸缩的设置在两个所述固定端之间的卡箍带；所述紧固件包括滑件、压紧件；所述压紧件与所述滑件螺栓配合。本实用新型专利技术结构设计合理，形成固定的小单元原料罐设计，增加原料罐替换效率，减少了原料气化时间，显著的提高了工作效率。

A kind of air supply equipment

【技术实现步骤摘要】
一种供气设备
本技术涉及供气装置
，尤其是一种供气设备。
技术介绍
三甲基铟广泛应用于生长铟镓磷、铟镓砷氮、铟镓砷等化合物半导体薄膜材料，是金属有机化学气相沉积技术、化学束外延过程中生长光电子材料的最重要、也是目前用量最大的原料。授权公告号为CN207262040U的中国专利文件公开了一种新型化工设备供气装置，该专利文件中的新型化工设备供气装置，包括储气罐，所述储气罐上设有两个出气端，且储气罐的两端出气端分别接有常压送气管和增压送气管，常压送气管和增压送气管的另一端分别接在三通气阀的两个进气口上，且常压送气管和增压送气管上均安装有管道气阀，增压送气管上还安装有增压气泵，本技术采用双管道送气，整体可以降低对增压气泵的冲击，利用泄漏中转储罐在缓冲气罐泄漏时进行转存，这样可以有效的降低原料气体的泄漏量，此时可以避免有毒气体对整个厂区的威胁，因此相对于传统的供气设备来说，本技术方案的安全性更高，避免传统加热易造成局部泄漏的情况出现，同时整体泄漏量更少，整体更加安全。但是，三甲基铟在室温下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，且遇水发生剧烈反应，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供气设备，其特征在于：包括通过管道依次连接的惰性气源(1)、原料仓(5)、反应器(3)；所述原料仓(5)内设有多个原料存储架(2)；所述原料存储架(2)包括架体(21)、放置原料罐的置物板(23)；所述置物板(23)设有与原料罐接触的加热板；所述架体(21)上设有多个竖直的第一滑轨(22)；所述第一滑轨(22)上设有可上下滑动的紧固件(221)；所述置物板(23)上设有支撑原料罐的护板(231)；所述护板(231)上设有卡箍装置(232)；所述卡箍装置(232)包括固定在所述护板(231)两侧的固定端(2322)、可伸缩的设置在两个所述固定端(2322)之间的卡箍带(2321)；所述紧...

【技术特征摘要】
1.一种供气设备，其特征在于：包括通过管道依次连接的惰性气源(1)、原料仓(5)、反应器(3)；所述原料仓(5)内设有多个原料存储架(2)；所述原料存储架(2)包括架体(21)、放置原料罐的置物板(23)；所述置物板(23)设有与原料罐接触的加热板；所述架体(21)上设有多个竖直的第一滑轨(22)；所述第一滑轨(22)上设有可上下滑动的紧固件(221)；所述置物板(23)上设有支撑原料罐的护板(231)；所述护板(231)上设有卡箍装置(232)；所述卡箍装置(232)包括固定在所述护板(231)两侧的固定端(2322)、可伸缩的设置在两个所述固定端(2322)之间的卡箍带(2321)；所述紧固件(221)包括滑件(222)、压紧件(2221)；所述压紧件(2221)与所述滑件(222)螺栓配合。


2.根据权利要求1所述的供气设备，其特征在于：所述惰性气源(1)通过管道依次连接干燥装置(4)、所述原料仓(5)；所诉干燥装置(4)包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨威，李洋洋，
申请(专利权)人：河南承明光电新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41