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本实用新型涉及一种供气设备，包括通过管道依次连接的惰性气源、原料仓、反应器；所述原料仓内设有多个原料存储架；所述原料存储架包括架体、放置原料罐的置物板；所述置物板设有与原料罐接触的加热板；所述架体上设有多个竖直的第一滑轨；所述第一滑轨上设有...
该专利属于河南承明光电新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南承明光电新材料股份有限公司授权不得商用。

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