一种具有防沉积结构的薄膜传感器制造技术

本发明专利技术提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，属于薄膜传感器技术领域，包括：传感器本体，具有用于与待测腔连通的入口管；静电吸附装置，设置在所述入口管处，以适于在所述入口管处形成静电吸附场；本发明专利技术的薄膜传感器，在传感器入口管处设置静电吸附装置，通过静电吸附原理，可以在保证待测腔与传感器膜片完全无阻挡连通的情况下，将污染物或者颗粒物吸附到入口管壁上，从而防止膜片污染，产生零点漂移；因此，既能有效的防止颗粒物沉积到薄膜上，又能精确测量待测腔体的真实压力值。

A thin film sensor with anti deposition structure

【技术实现步骤摘要】
一种具有防沉积结构的薄膜传感器
本专利技术涉及薄膜传感器
，具体涉及一种具有防沉积结构的薄膜传感器。
技术介绍
薄膜式电容传感器是一种电容压力传感器，专为在高精度和重复性的真空和压力测量应用中使用。其敏感原件是低膨胀合金薄膜，通过入口管承受f压力或真空，薄膜受压力形变转换成与压力成比例的电信号。在集成电路制造中使用的一些工艺，如刻蚀或者镀膜，往往会产生大量颗粒或者污染物，颗粒或者污染物长期会沉积到薄膜上，从而导致传感器产生零点漂移。因此，现有传感器大多会在进气口处设置过滤机制来防止污染物的沉积。但是任何过滤机制都会影响传感器对工艺腔体真实压力值的测量。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的薄膜传感器在进气口处设置的过滤机制会影响传感器对工艺腔体真实压力值的测量的缺陷，从而提供一种在入口管处设计一种静电吸附装置，通过静电吸附原理，将进入传感器的颗粒物吸附到入口管壁上的薄膜传感器。为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，包括：r>传感器本体，具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，包括：/n传感器本体(1)，具有用于与待测腔连通的入口管(2)；/n静电吸附装置(3)，设置在所述入口管(2)处，以适于在所述入口管(2)处形成静电吸附场。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，包括：
传感器本体(1)，具有用于与待测腔连通的入口管(2)；
静电吸附装置(3)，设置在所述入口管(2)处，以适于在所述入口管(2)处形成静电吸附场。


2.根据权利要求1所述的具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，所述静电吸附装置(3)为管状包覆在所述入口管(2)的外侧。


3.根据权利要求2所述的具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，所述静电吸附装置(3)包括：至少两个弧形电极板，多个所述弧形电极板均匀包覆在所述入口管(2)的外壁上。


4.根据权利要求3所述的具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，所述静电吸附装置(3)通过卡钳结构可拆卸地连接在所述入口管(2)上。


5.根据权利要求4所述的具有防沉积结构的薄膜传感器，其特征在于，所述卡钳结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心强，陈林，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51