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本发明提供一种具有防沉积结构的薄膜传感器，属于薄膜传感器技术领域，包括：传感器本体，具有用于与待测腔连通的入口管；静电吸附装置，设置在所述入口管处，以适于在所述入口管处形成静电吸附场；本发明的薄膜传感器，在传感器入口管处设置静电吸附装置，通...
该专利属于中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科九微科技有限公司授权不得商用。

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