真空泵及其控制方法技术

本发明专利技术的一形态的真空泵，具有泵主体、第一温度传感器、马达以及控制单元。上述泵主体具有旋转轴和金属制成的壳体部。上述第一温度传感器安装于上述壳体部，并检测上述壳体部的温度。上述马达具有包括永磁体且安装于上述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子铁芯以及收纳上述转子铁芯的壳。上述控制单元具有驱动电路和修正电路。上述驱动电路基于预先设定的感应电压常数，向上述多个线圈供给使上述马达旋转的驱动信号。上述修正电路基于上述第一温度传感器的输出，来修正上述感应电压常数。

Vacuum pump and its control method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及其控制方法
本专利技术涉及一种具有永磁同步马达的真空泵及其控制方法。
技术介绍
机械增压泵是使配置在壳体内部的泵室中的两个茧型泵转子(マユ型ポンプロータ)在相互相反的方向上同步旋转，从而将气体从进气口向排气口输送的容积输送型的真空泵。在机械增压泵中，由于在两个泵转子之间以及各泵转子与壳体之间没有接触，因而机械损失非常少，与例如油旋转真空泵那样的摩擦功大的真空泵相比，具有能够减少驱动所需要的能量的优点。机械增压泵典型地与辅助泵一起构成真空排气系统，用于在辅助泵将压力下降至一定程度之后开始运转，以增大排气速度。在这种真空泵中，作为使各泵转子旋转的驱动源，广泛使用密封式马达(Cannedmotor)。密封式马达具有插入转子铁芯与定子铁芯之间的间隙的圆筒状的壳(Can)。由于转子铁芯被壳密封，因而可防止经由轴承部侵入转子铁芯内的气体向大气(外部空气)侧漏出。例如，在专利文献1中公开了一种永磁同步型的密封式马达。另一方面，在永磁同步马达中，固定在转子铁芯上的永磁体具有温度特性，因而伴随着温度变化的永磁体的磁通量的变化可能会本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其特征在于，具有：/n泵主体，具有旋转轴和金属制成的壳体部；/n第一温度传感器，安装于所述壳体部，并检测所述壳体部的温度；/n马达，具有包括永磁体且安装于所述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子铁芯以及收纳所述转子铁芯的壳；/n控制单元，具有驱动电路和修正电路，所述驱动电路基于预先设定的感应电压常数，向所述多个线圈供给使所述马达旋转的驱动信号，所述修正电路基于所述第一温度传感器的输出，来修正所述感应电压常数。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171031 JP 2017-2104481.一种真空泵，其特征在于，具有：
泵主体，具有旋转轴和金属制成的壳体部；
第一温度传感器，安装于所述壳体部，并检测所述壳体部的温度；
马达，具有包括永磁体且安装于所述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子铁芯以及收纳所述转子铁芯的壳；
控制单元，具有驱动电路和修正电路，所述驱动电路基于预先设定的感应电压常数，向所述多个线圈供给使所述马达旋转的驱动信号，所述修正电路基于所述第一温度传感器的输出，来修正所述感应电压常数。


2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
在所述壳体部的温度在规定的温度范围的情况下，所述修正电路修正所述感应电压常数，来使所述壳体部的温度越高，则所述马达的感应电压越低。


3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，
在所述壳体部的温度为第一温度以上且小于第二温度的情况下，所述修正电路根据具有第一温度坡度的第一近似直线，来修正所述感应电压常数，
在所述壳体部的温度为所述第二温度以上且小于第三温度的情况下，所述修正电路根据具有与所述第一温度坡度不同的第二温度坡度的第二近似直线，来修正所述感应电压常数。


4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村康宏，町家贤二，德平真之介，井上英晃，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本;JP