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本发明的一形态的真空泵，具有泵主体、第一温度传感器、马达以及控制单元。上述泵主体具有旋转轴和金属制成的壳体部。上述第一温度传感器安装于上述壳体部，并检测上述壳体部的温度。上述马达具有包括永磁体且安装于上述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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