工件保持夹具及装载/卸载装置制造方法及图纸

将框架体(2)的多个第一销(31)插通到背面板(1)的多个第一孔中，通过锁定机构(3)的移动机构(34)使紧固体(33)向外侧方向移动，而使切口部(335)与第一销(33)的前端部的凹部嵌合，由此，将框架体(2)锁定于背面板(1)上。

Workpiece holding fixture and loading / unloading device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件保持夹具及装载/卸载装置
本专利技术涉及用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件的工件保持夹具、以及将板状构件装载/卸载于该工件保持夹具的装载/卸载装置。作为所述工件，例如可列举出印刷基板、晶片、半导体基板(特别是Fan-OutPanelLevelPackage：扇出型板级封装)。另外，作为表面处理，可以列举出(1)实施电镀、无电解镀、置换镀等的镀覆处理、(2)在机械加工时等将附着的树脂残渣等从被处理物中去除的去污处理、(3)实施规定处理之前的前处理、(4)实施规定处理之后的后处理、(5)在各处理前后根据需要进行的清洗处理、(6)活性化处理、以及(7)蚀刻处理等。
技术介绍
作为用于保持板状工件的以往的工件保持夹具，例如有专利文献1中记载的夹具。在该夹具中，通过紧固螺钉固定用于夹持板状工件的下侧框体和上侧框体。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2005-187910号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在专利文献1记载的夹具中，通过将多个紧固螺钉一根一根地紧固来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件保持夹具，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：/n背面板，所述背面板从背面侧支承所述工件；/n框架体，所述框架体从所述工件的前面侧安装于所述背面板，以在所述框架体与所述背面板之间保持所述工件的周缘部；以及/n锁定机构，所述锁定机构用于将安装于所述背面板上的所述框架体锁定于所述背面板上，/n所述锁定机构包括：/n多个第一销，多个所述第一销沿所述框架体的周缘排列，并从所述框架体突出；/n多个第一孔，多个所述第一孔形成于所述背面板，并能够供所述第一销插通；/n两个以上的紧固体，两个以上的所述紧固体设置在所述背面板的背面，能够沿所述背面板的所述背面从...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171027 JP 2017-2085151.一种工件保持夹具，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：
背面板，所述背面板从背面侧支承所述工件；
框架体，所述框架体从所述工件的前面侧安装于所述背面板，以在所述框架体与所述背面板之间保持所述工件的周缘部；以及
锁定机构，所述锁定机构用于将安装于所述背面板上的所述框架体锁定于所述背面板上，
所述锁定机构包括：
多个第一销，多个所述第一销沿所述框架体的周缘排列，并从所述框架体突出；
多个第一孔，多个所述第一孔形成于所述背面板，并能够供所述第一销插通；
两个以上的紧固体，两个以上的所述紧固体设置在所述背面板的背面，能够沿所述背面板的所述背面从中央向内外侧方向移动；以及
移动机构，所述移动机构使所有所述紧固体同时地向所述内外侧方向移动，
所述紧固体在外周缘具有嵌合部，所述嵌合部能够与从所述第一孔露出的所述第一销的前端部的凹部嵌合，
所述锁定机构通过所述移动机构使所述紧固体向外侧方向移动，而使所述嵌合部嵌合于所述第一销的前端部的所述凹部，从而将所述框架体锁定于所述背面板上。


2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述紧固体具有供从所述背面板的所述背面突出的第二销插通的第一长孔，通过沿所述第二销滑动，能够向所述内外侧方向移动。


3.如权利要求1或2所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述移动机构具有旋转体，所述旋转体在所述背面板的所述背面的中央处旋转，
所述旋转体具有第三销，所述第三销嵌入形成于所述紧固体上的第二长孔中，
所述移动机构通过使所述旋转体旋转而使所述第三销在所述第二长孔内滑动，从而使所述紧固体向所述内外侧方向移动。


4.如权利要求1至3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述第一销的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥田朋士，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP