工件保持夹具及装载/卸载装置制造方法及图纸

将框架体(2)的多个第一销(31)插通到背面板(1)的多个第一孔中，通过锁定机构(3)的移动机构(34)使紧固体(33)向外侧方向移动，而使切口部(335)与第一销(33)的前端部的凹部嵌合，由此，将框架体(2)锁定于背面板(1)上。

Workpiece holding fixture and loading / unloading device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件保持夹具及装载/卸载装置
本专利技术涉及用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件的工件保持夹具、以及将板状构件装载/卸载于该工件保持夹具的装载/卸载装置。作为所述工件，例如可列举出印刷基板、晶片、半导体基板(特别是Fan-OutPanelLevelPackage：扇出型板级封装)。另外，作为表面处理，可以列举出(1)实施电镀、无电解镀、置换镀等的镀覆处理、(2)在机械加工时等将附着的树脂残渣等从被处理物中去除的去污处理、(3)实施规定处理之前的前处理、(4)实施规定处理之后的后处理、(5)在各处理前后根据需要进行的清洗处理、(6)活性化处理、以及(7)蚀刻处理等。
技术介绍
作为用于保持板状工件的以往的工件保持夹具，例如有专利文献1中记载的夹具。在该夹具中，通过紧固螺钉固定用于夹持板状工件的下侧框体和上侧框体。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2005-187910号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在专利文献1记载的夹具中，通过将多个紧固螺钉一根一根地紧固来进行上侧框体相对于下侧框体的固定作业。因此，固定作业非常麻烦，自动化也很困难。本专利技术的目的是提供一种能够通过一次操作进行固定作业的工件保持夹具、以及能够相对于该工件保持夹具自动地装载/卸载板状工件的装载/卸载装置。解决技术问题所采用的技术方案本专利技术的第一实施方式是一种工件保持夹具，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：背面板，所述背面板从背面侧支承所述工件；框架体，所述框架体从所述工件的前面侧安装于所述背面板，以在所述框架体与所述背面板之间保持所述工件的周缘部；以及锁定机构，所述锁定机构用于将安装于所述背面板上的所述框架体锁定于所述背面板上，所述锁定机构包括：多个第一销，多个所述第一销沿所述框架体的周缘排列，并从所述框架体突出；多个第一孔，多个所述第一孔形成于所述背面板，并能够供所述第一销插通；两个以上的紧固体，两个以上的所述紧固体设置在所述背面板的背面，能够沿所述背面板的所述背面从中央向内外侧方向移动；以及移动机构，所述移动机构使所有所述紧固体同时地向所述内外侧方向移动，所述紧固体在外周缘具有嵌合部，所述嵌合部能够与从所述第一孔露出的所述第一销的前端部的凹部嵌合，所述锁定机构通过所述移动机构使所述紧固体向外侧方向移动，而使所述嵌合部嵌合于所述第一销的前端部的所述凹部，从而将所述框架体锁定于所述背面板上。本专利技术的第二实施方式是一种装载/卸载装置，所述装载/卸载装置用于相对于所述第一实施方式的工件保持夹具自动地装载/卸载所述工件，其中，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：收容部，所述收容部收容被锁定的所述工件保持夹具；装卸部，所述装卸部相对于收容在所述收容部中的所述工件保持夹具的所述框架体装卸所述背面板；以及旋转部，所述旋转部使所述收容部及所述装卸部在垂直状态与水平状态之间进行旋转位移，所述装卸部包括：把持部，所述把持部从所述背面侧把持水平状态的所述工件保持夹具的所述背面板；切换部，所述切换部使所述移动机构动作而使所述锁定机构闭锁、解锁；以及上下移动部，所述上下移动部使把持所述背面板的所述把持部上下移动，通过利用所述切换部解锁所述锁定机构，并利用所述上下移动部使所述把持部下降，以将所述背面板从所述框架体分离，从而在所述背面板与所述框架体之间形成用于装载/卸载所述工件的空间。专利技术效果根据本专利技术第一实施方式的工件保持夹具，仅通过使锁定机构的移动机构动作，就能够将框架体锁定于背面板上。因此，能够通过一次操作来进行框架体相对于背面板的固定作业。因此，能够提高作业效率。根据本专利技术的第二实施方式的装载/卸载装置，对于工件保持夹具，能够自动地解锁锁定机构，将背面板从框架体分离，并且将工件载置于背面板上或从背面板搬出。因此，能够高效率地实施工件的装载/卸载作业。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的工件保持夹具的背面立体图，其示出解锁状态的锁定机构。图2是图1的II向视放大局部图。图3是示出从框架体分离背面板的状态的立体图。图4是示出通过背面板和框架体来保持工件的状态的剖视图。图5是示出锁定机构的解锁状态的示意图。图6是在图4中加入锁定机构的剖视图。图7是示出锁定机构的闭锁状态的示意图。图8是相当于图1的图，其示出闭锁状态的锁定机构。图9是图8的IX向视放大局部图。图10是示出紧固体的动作的放大剖面局部图，其示出锁定机构的解锁状态。图11是示出紧固体的动作的放大剖面局部图，其示出锁定机构的闭锁状态。图12是示出锁定机构的嵌合部的变形例的放大剖面局部图。图13是示出工件保持夹具的俯视观察时的形态的变形例的背面图。图14是示出根据本专利技术实施方式的装载/卸载装置的立体图；图15是垂直状态的收容部的主视图，其示出非工作状态的限位机构。图16是垂直状态的收容部的主视图，其示出工作状态的限位机构。图17是装拆部的立体图。图18是示出装载/卸载装置的装载工作的一工序的示意图。图19是图18之后的工序的示意图。图20是图19之后的工序的示意图。图21是图20之后的工序的示意图。图22是图21之后的工序的示意图。图23是图22之后的工序的示意图。具体实施方式[工件保持夹具]图1是本专利技术的一实施方式的工件保持夹具的背面立体图。图2是图1的II向视放大局部图。该工件保持夹具10包括背面板1、框架体2和锁定机构3。如图3所示，背面板1在俯视观察时呈矩形，从背面侧支承在俯视观察时呈矩形的板状工件4。框架体2在俯视观察时呈矩形，并且从工件4的前面侧安装到背面板1，以在该框架体2与背面板1之间保持工件4的边缘部。图4是示出通过背面板1和框架体2来保持工件4的状态的剖视图。框架体2具有：矩形环状的主体21；导电构件22，所述导电构件22遍及主体21的整周设置；接触构件23，所述接触构件23以能够与工件4的周缘部41电接触的方式与导电构件22电连接并沿导电构件22设置；以及密封构件24，所述密封构件24在比接触构件23更靠内侧处遍及主体21的整周而设置。接触构件23沿主体21的各边设置。另外，在主体21的右边外侧设置有右引导杆26，在主体21的左边外侧设置有左引导杆27。背面板1具有嵌入框架体2的主体21的开口210的凸部11，工件4嵌入形成于凸部11的上表面111的浅的凹部112。这里，凸部11具有大致格子结构，但是优选具有平面结构。另外，在图4的状态下、即在密封构件24及接触构件23与工件4的周缘部41抵接的状态下，框架体2构成收容周缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件保持夹具，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：/n背面板，所述背面板从背面侧支承所述工件；/n框架体，所述框架体从所述工件的前面侧安装于所述背面板，以在所述框架体与所述背面板之间保持所述工件的周缘部；以及/n锁定机构，所述锁定机构用于将安装于所述背面板上的所述框架体锁定于所述背面板上，/n所述锁定机构包括：/n多个第一销，多个所述第一销沿所述框架体的周缘排列，并从所述框架体突出；/n多个第一孔，多个所述第一孔形成于所述背面板，并能够供所述第一销插通；/n两个以上的紧固体，两个以上的所述紧固体设置在所述背面板的背面，能够沿所述背面板的所述背面从中央向内外侧方向移动；以及/n移动机构，所述移动机构使所有所述紧固体同时地向所述内外侧方向移动，/n所述紧固体在外周缘具有嵌合部，所述嵌合部能够与从所述第一孔露出的所述第一销的前端部的凹部嵌合，/n所述锁定机构通过所述移动机构使所述紧固体向外侧方向移动，而使所述嵌合部嵌合于所述第一销的前端部的所述凹部，从而将所述框架体锁定于所述背面板上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171027 JP 2017-2085151.一种工件保持夹具，所述工件保持夹具用于保持作为表面处理的被处理物的板状工件，其特征在于，包括：
背面板，所述背面板从背面侧支承所述工件；
框架体，所述框架体从所述工件的前面侧安装于所述背面板，以在所述框架体与所述背面板之间保持所述工件的周缘部；以及
锁定机构，所述锁定机构用于将安装于所述背面板上的所述框架体锁定于所述背面板上，
所述锁定机构包括：
多个第一销，多个所述第一销沿所述框架体的周缘排列，并从所述框架体突出；
多个第一孔，多个所述第一孔形成于所述背面板，并能够供所述第一销插通；
两个以上的紧固体，两个以上的所述紧固体设置在所述背面板的背面，能够沿所述背面板的所述背面从中央向内外侧方向移动；以及
移动机构，所述移动机构使所有所述紧固体同时地向所述内外侧方向移动，
所述紧固体在外周缘具有嵌合部，所述嵌合部能够与从所述第一孔露出的所述第一销的前端部的凹部嵌合，
所述锁定机构通过所述移动机构使所述紧固体向外侧方向移动，而使所述嵌合部嵌合于所述第一销的前端部的所述凹部，从而将所述框架体锁定于所述背面板上。


2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述紧固体具有供从所述背面板的所述背面突出的第二销插通的第一长孔，通过沿所述第二销滑动，能够向所述内外侧方向移动。


3.如权利要求1或2所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述移动机构具有旋转体，所述旋转体在所述背面板的所述背面的中央处旋转，
所述旋转体具有第三销，所述第三销嵌入形成于所述紧固体上的第二长孔中，
所述移动机构通过使所述旋转体旋转而使所述第三销在所述第二长孔内滑动，从而使所述紧固体向所述内外侧方向移动。


4.如权利要求1至3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，
所述第一销的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥田朋士，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP