有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板制造技术

有源矩阵基板(1)在基板(101)上具备第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)。第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)被在第二电极上具有第一开口(105a)的第一无机绝缘膜(105)覆盖。在第一无机绝缘膜(105)上设置有具有第二开口(106a)的第一有机绝缘膜(106)，第二开口(106a)的内侧的第一有机绝缘膜(106a)的表面被具有俯视观察时与第一开口(105a)重叠的第三开口(117a)的第二无机绝缘膜(117)覆盖。在第二无机绝缘膜(117)上设置有在第一开口(105a)中与第二电极(14b)接触的导电膜(17)。

Active matrix substrate and X-ray panel with it

【技术实现步骤摘要】
有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板
以下公开的专利技术涉及一种有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板、以及有源矩阵基板的制造方法。
技术介绍
在日本特开2007-165865号公报中公开了作为光电转换元件而具备PIN光电二极管的光电转换装置。在该光电转换装置中，PIN光电二极管的表面被感光性树脂膜覆盖。感光性树脂膜易于吸收水分，因此在水分进入所述光电转换装置中的感光性树脂膜的情况下，感光性树脂膜成为泄漏路径，光电转换元件的漏电流易于在PIN光电二极管中的两个电极间流通。其结果为，产生漏电流的部分的传感器灵敏度下降，检测精度产生偏差。
技术实现思路
鉴于所述课题而完成的有源矩阵基板，具备：基板；第一电极，其配置于所述基板上；光电转换元件，其配置于所述第一电极上；第二电极，其配置于所述光电转换元件上；第一无机绝缘膜，其在所述第二电极上具有第一开口，并覆盖所述第一电极、所述第二电极、以及所述光电转换元件的各自的表面；第一有机绝缘膜，其设置于所述第一无机绝缘膜上，并在俯视观察时与所述第一开口重叠的位置具有第二开口；第二无本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有源矩阵基板，其特征在于，具备：/n基板；/n第一电极，其配置于所述基板上；/n光电转换元件，其配置于所述第一电极上；/n第二电极，其配置于所述光电转换元件上；/n第一无机绝缘膜，其在所述第二电极上具有第一开口，并覆盖所述第一电极、所述第二电极、以及所述光电转换元件的各自的表面；/n第一有机绝缘膜，其设置于所述第一无机绝缘膜上，并在俯视观察时与所述第一开口重叠的位置具有第二开口；/n第二无机绝缘膜，其覆盖所述第二开口的内侧的所述第一有机绝缘膜的表面，并在俯视观察时与所述第一开口重叠的位置具有第三开口；以及/n导电膜，其以经由所述第一开口与所述第二电极接触的方式设置于所述第二无机绝缘膜上...

【技术特征摘要】
20181116 US 62/7686281.一种有源矩阵基板，其特征在于，具备：
基板；
第一电极，其配置于所述基板上；
光电转换元件，其配置于所述第一电极上；
第二电极，其配置于所述光电转换元件上；
第一无机绝缘膜，其在所述第二电极上具有第一开口，并覆盖所述第一电极、所述第二电极、以及所述光电转换元件的各自的表面；
第一有机绝缘膜，其设置于所述第一无机绝缘膜上，并在俯视观察时与所述第一开口重叠的位置具有第二开口；
第二无机绝缘膜，其覆盖所述第二开口的内侧的所述第一有机绝缘膜的表面，并在俯视观察时与所述第一开口重叠的位置具有第三开口；以及
导电膜，其以经由所述第一开口与所述第二电极接触的方式设置于所述第二无机绝缘膜上。


2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于，还具备：
第三无机绝缘膜，其覆盖所述导电膜；以及
第二有机绝缘膜，其覆盖所述第三无机绝缘膜。


3.根据权利要求2所述的有源矩阵基板，其特征在于，
所述第二无机绝缘膜与所述第三无机绝缘膜中的至少一方在所述光电转换元件中，覆盖俯视观察时未与所述第二开口重叠的区域的一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：美崎克纪，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP