样本密度分布的相似判定方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本公开提供的样本密度分布的相似判定方法、装置、电子设备及存储介质，通过采用了分别获取第一氮化物样本的第一密度分布以及第二氮化物样本的第二密度分布，随后，根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度，最后，根据相似度输出相似判定结果，本公开输出的相似判定结果是基于多个相同测量深度下的密度确定的，其与现有的通过人工经验判断样本之间的密度分布相似程度而得到分析判定结果的方式来说，客观性更强，结果的稳定性也更强。

Similarity determination method, device, electronic equipment and storage medium of sample density distribution

【技术实现步骤摘要】
样本密度分布的相似判定方法、装置、电子设备及存储介质
本公开涉及三维存储器制造领域，尤其涉及一种样本密度分布的相似判定方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
为了克服二维存储器的限制，业界已经研发出具有三维结构的存储器，通过将存储器单元三维布置在衬底上，以提高存储器的集成密度，形成三维存储器。现有的三维存储器结构中，闪存器的氮化物密度分布是决定闪存器存储质量的重要因素，对于其密度分布进行测量和相似分析，则成为提高产品质量的有效手段。在现有技术中，对于闪存器的氮化物密度分布分析是基于人工比对实现的，即通过人工经验判断闪存器的氮化物目标样本与标准样本之间的密度分布相似程度，以得到分析结果。但是，这样的判定方式主观性较强，分析结果的客观性不足，稳定性也不高。
技术实现思路
针对上述技术问题，本公开提供了一种样本密度分布的相似判定方法、装置、电子设备及存储介质。第一方面，本公开提供了一种样本密度分布的相似判定方法，包括：分别获取第一氮化物样本的第一密度分布以及第二氮化物样本的第二密度分布；其中，密本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，包括：/n分别获取第一氮化物样本的第一密度分布以及第二氮化物样本的第二密度分布；其中，密度分布表示氮化物样本在不同测量深度下的密度；/n根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度；/n根据相似度输出相似判定结果。/n

【技术特征摘要】
1.一种样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，包括：
分别获取第一氮化物样本的第一密度分布以及第二氮化物样本的第二密度分布；其中，密度分布表示氮化物样本在不同测量深度下的密度；
根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度；
根据相似度输出相似判定结果。


2.根据权利要求1所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，还包括：
获得第一密度分布和第二密度分布在相同测量深度范围内的待分析区间；
相应的，所述根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度，包括：
在待分析区间内，根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度。


3.根据权利要求2所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，所述获得第一密度分布和第二密度分布在相同测量深度范围内的待分析区间，包括：
分别确定第一密度分布和第二密度分布的密度变化的上升点和下降点；
根据第一密度分布和第二密度分布的上升点和下降点所组成的最大测量深度范围，构成所述待分析区间的测量深度范围。


4.根据权利要求3所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，所述分别确定第一密度分布和第二密度分布的密度变化的上升点和下降点，包括:
对所述第一密度分布和第二密度分布进行一阶导数运算和近似二阶导数运算；
将第一密度分布和第二密度分布的所述近似二阶导数运算中，正负值转变点所对应的测量深度值作为所述上升点，将所述第一密度分布和第二密度分布的一阶导数运算中的最小值点所对应的测量深度值作为所述下降点。


5.根据权利要求2所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，还包括：
对待分析区间的测量深度范围进行均分处理，以获得多个子区间；
将每一子区间的平均测量深度作为各所述相同测量深度，以获取第一密度分布与第二密度分布在每一子区间的平均测量深度下的密度和密度差。


6.根据权利要求2-5任一项所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，所述根据第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，确定第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度，包括：
获取第一密度分布与第二密度分布在多个相同测量深度下的密度，并计算获得每一相同测量深度下的第一密度分布与第二密度分布之间的密度差；
计算每一密度差的绝对值与之相应的测量深度的乘积，并对各乘积求和，获得第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的密度分布的面积差值；
根据所述面积差值计算获得所述第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度。


7.根据权利要求6所述的样本密度分布的相似判定方法，其特征在于，所述根据所述面积差值计算获得所述第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度，包括：
获得归一化常数与待分析区间的测量深度宽度的乘积；其中所述归一化常数是测量深度常数与密度常数之积与区间归一化常数的比值；
计算所述面积差值与所述乘积的商值，并获得所述商值的负值；
利用常数指数函数对所述商值的复值进行计算，获得所述第一氮化物样本和所述第二氮化物样本之间的相似度。


8.一种样本密度分布的相似...

【专利技术属性】
技术研发人员：法提·奥尔梅兹，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42