【技术实现步骤摘要】
自动循环喷淋硅片切割机
本技术涉及硅片切割,尤其是一种自动循环喷淋硅片切割机。
技术介绍
众所周知的:硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进的激光切割和内圆切割,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有:效率高,产能高,精度高等优点。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片切割技术。但是由于钢线要经过多个滑轮的引导,因此增加了钢线的摩擦,从而使得钢线使用寿命较短。其次,现有的喷淋装置无法实现切削液的循环使用,因此切削液消耗量较大,切削成本较高。再次,其中钢线在对硅片进行切割时,由于摩擦会使得钢线的温度升高,因此为了降低钢线的温度一般均设置有钢线切削液喷淋装置,现有的切削液喷淋装置大多都采用喷头;由于喷头的位置固定,因此 ...
【技术保护点】
1.自动循环喷淋硅片切割机,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)上设置有加料腔,所述加料腔的顶部设置有晶拖连接头(4),所述加料腔的上方设置有竖向伸缩装置(2)以及冷却液存储箱(8),所述竖向伸缩装置(2)的伸缩轴(3)与晶拖连接头(4)连接;所述机架(1)的下部设置有两个轴线相互平行的导线辊(11),所述导线辊(11)与机架(1)转动配合;所述两个导线辊(11)之间设置有接料盒(10);所述机架(1)上设置有取料口(26),所述取料口(26)位于接料盒(10)的一端;所述接料盒下方设置有布线装置;所述导线辊(11)上方设置有喷淋装置(9);所述机架(1)的一侧设置有 ...
【技术特征摘要】
1.自动循环喷淋硅片切割机,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)上设置有加料腔,所述加料腔的顶部设置有晶拖连接头(4),所述加料腔的上方设置有竖向伸缩装置(2)以及冷却液存储箱(8),所述竖向伸缩装置(2)的伸缩轴(3)与晶拖连接头(4)连接;所述机架(1)的下部设置有两个轴线相互平行的导线辊(11),所述导线辊(11)与机架(1)转动配合;所述两个导线辊(11)之间设置有接料盒(10);所述机架(1)上设置有取料口(26),所述取料口(26)位于接料盒(10)的一端;所述接料盒下方设置有布线装置;所述导线辊(11)上方设置有喷淋装置(9);所述机架(1)的一侧设置有绕线装置;
所述接料盒(10)内设置有过滤网(35);所述机架(1)的一侧设置有水泵(34);所述接料盒(10)内腔的底部通过导管与水泵(34)连通;
所述水泵(34)与冷却液存储箱(8)连通;所述冷却液存储箱(8)通过供液泵与喷淋装置(9)连通;
所述喷淋装置(9)包括安装板(91);所述安装板(91)的一端的下表面设置有补液箱(92),另一端的下表面设置有布液板(93);所述补液箱(92)上设置有补液管(914);所述布液板(93)与补液箱(92)之间设置有横向均匀分布的喷头安装座(98);所述喷头安装座(98)上设置有第一转轴(99);所述第一转轴(99)上固定安装有喷头旋转座(911);所述第一转轴(99)一端穿过喷头安装座(98),另一端设置有驱动电机(910);所述喷头旋转座(911)上设置有喷头(912);所述喷头(912)通过软管(913)与补液箱(92)连通;所述冷却液存储箱(8)通过供液泵与补液管(914)连通;所述喷头(912)的喷淋方向指向布液板(93);
所述布液板(93)通过第二转轴(915)与安装板(91)铰接;所述第二转轴(915)的一端设置有转杆(97);所述转杆(97)的一端与第二转轴(915)固定连接,另一端为弧形端面;所述安装板(91)上方设置有倒U形安装槽(94),所述转杆(97)具有弧形端面的一端延伸到倒U形安装槽(94)内;所述转杆(97)的两侧均安装有锲块(95);所述锲块(95)位于倒U形安装槽(94)内,所述倒U形安装槽(94)顶部设置有两根锁紧螺栓(96);所述锁紧螺栓(96)一端插入到倒U形安装槽(94)内,且与锲块(95)接触;所述锲块(95)与锁紧螺栓(96)一一对应;
所述绕线装置包第二安装板(23)、括机架(1)侧面下部设置有放线装置和收线装置;所述第二安装板(23)与机架(1)的侧面平行,且竖向设置;所述放线装置包括放线辊(16)以及放线辊转动驱动装置(17),所述收线装置包括收线辊(27)以及收线辊转动驱动装置(28);
所述放线辊转动驱动装置(17)以及收线辊转动驱动装置(28)安装在机架(1)的侧面上,所述放线辊(16)以及收线辊(27)水平设置;所述放线辊(16)上方设置有放线压紧轮(18)以及收线辊(27)上方设置有收线压紧轮(29);
所述第二安装板(23)的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎,刘强,耿荣军,陈辉,石平,
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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