一种MEMS结构制造技术

本申请公开了一种MEMS(微机电系统)结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，所述压电复合振动层在外围区域具有分割槽；质量块，形成在所述压电复合振动层的上表面的中间区域。本申请的MEMS结构中的分割槽形成在压电复合振动层的外围区域，并且质量块形成在压电复合振动层的上表面的中间区域。因此，压电复合振动层的中间区域并未被分割槽隔离开，从而提高了MEMS结构的稳定性和产品的一致性。

A MEMS structure

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS结构
本申请涉及半导体
，具体来说，涉及一种MEMS(MicroelectroMechanicalSystems的简写，即微机电系统)结构。
技术介绍
MEMS传声器(麦克风)主要包括电容式和压电式两种。MEMS压电传声器是利用微电子机械系统技术和压电薄膜技术制备的传声器，由于采用半导体平面工艺和体硅加工等技术，所以其尺寸小、体积小、一致性好。同时相对于电容传声器还有不需要偏置电压，工作温度范围大，防尘、防水等优点，但其灵敏度比较低，制约着MEMS压电传声器的发展。而且，压电式MEMS传声器的谐振频率难以调节。针对相关技术中如何调节压电式MEMS传声器的谐振频率的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中调节MEMS结构的谐振频率的问题，本申请提出一种MEMS结构，能够有效地调节控制MEMS结构的谐振频率。本申请的技术方案是这样实现的：根据本申请的一个方面，提供了一种MEMS结构，包括衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，所述压电复合振本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：/n衬底，具有空腔；/n压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，所述压电复合振动层在外围区域具有分割槽；/n质量块，形成在所述压电复合振动层的上表面的中间区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：
衬底，具有空腔；
压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，所述压电复合振动层在外围区域具有分割槽；
质量块，形成在所述压电复合振动层的上表面的中间区域。


2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述分割槽沿第一方向从所述压电复合振动层的上表面连续延伸至所述压电复合振动层的下表面，并且所述分割槽连续地沿第二方向从所述外围区域朝向所述中间区域，所述第一方向与所述第二方向垂直。


3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层包括：
第一电极层，形成在所述衬底上方；
第一压电层，形成在所述第一电极层上方；
第二电极层，形成在所述第一压电层上方。


4.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层还包括：
振动支撑层，形成在所述衬底和所述第一电极层之间。


5.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层还包括：
第二压电层，形成在所述第二电极层上方；
第三电极层，形成在所述第二压电层上方。


6.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS结构还包括牺牲支撑层，所述牺牲支撑层形成在所述压电复合振动层下方以支撑所述压电复合振动层并且之后所述牺牲支撑层被去除。


7.根据权利要求1所述的M...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘端，
申请(专利权)人：安徽奥飞声学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34