一种分体式石英环涂蜡粘接装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及石英环加工设备技术领域，且公开了一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座，所述底座内部开设有收液腔，所述底座的顶部固定安装有固定板，固定板的内部开设有外圈导液槽，所述固定板的内部开设有位于外圈导液槽内侧且底部与外圈导液槽相连通的内圈导液槽，所述外圈导液槽的底部固定安装有开设在固定板上的流通孔，流通孔的底部与收液腔的顶部连通，所述固定板顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板外部的导柱。该分体式石英环涂蜡粘接装置，整体结构简单，避免传统涂蜡连接方式中使用铅笔对石英产品造成污染，降低了产品报废率，同时固体石蜡涂抹均匀，整体提高产品的生产质量，方便使用。

A kind of split quartz ring wax coating bonding device

【技术实现步骤摘要】
一种分体式石英环涂蜡粘接装置
本技术涉及石英环加工设备
，具体为一种分体式石英环涂蜡粘接装置。
技术介绍
石英环类产品作为重要的半导体辅材，大多应用于电子光刻机和刻蚀机之中，芯片的发展离不开石英产品，由于产品应用的特殊性，因此对石英制品的要求也十分的严格，首先是产品不能有杂质污染，产品的尺寸要求也很高，故而在机加工前的准备工作尤其重要。石英环类产品主要是放置在石英板材之上进行编程加工，需要对石英环类产品进行涂蜡镀膜工作，传统的涂蜡连接方式主要是沿石英环产品原材料的内外径在石英板材上用铅笔画线，然后在线框内用固体石蜡涂抹，此种方法由于使用铅笔会对石英产品造成污染，因而产品在加工后期报废率极高，十分影响制品的良率，故而提出一种分体式石英环涂蜡粘接装置以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种分体式石英环涂蜡粘接装置，具备报废率低等优点，解决了传统的涂蜡连接方式由于使用铅笔会对石英产品造成污染，因而产品在加工后期报废率极高，十分影响制品的良率的问题。(二)技术方案为实现上述报废率低目的，本技术提供如下技术方案：一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座，所述底座内部开设有收液腔，所述底座的顶部固定安装有固定板，固定板的内部开设有外圈导液槽，所述固定板的内部开设有位于外圈导液槽内侧且底部与外圈导液槽相连通的内圈导液槽，所述外圈导液槽的底部固定安装有开设在固定板上的流通孔，流通孔的底部与收液腔的顶部连通，所述固定板顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板外部的导柱，导柱的顶部固定安装有与固定板活动连接的石英环外套盘，所述导柱相对的一侧均啮合有位于固定板内腔的导齿，导齿远离导柱的一侧啮合有一端依次贯穿固定板和石英环外套盘并延伸至石英环外套盘内部的固定杆，固定杆的外侧滑动连接有与固定板内腔固定连接的固定环，所述底座顶部的左右两侧均固定安装有连接杆，连接杆外侧的顶部活动安装有一端与石英环外套盘卡接的固定块。所述固定板的顶部且位于石英环外套盘的内侧活动安装有石英环本体，所述固定板的顶部卡接有中心定位柱，中心定位柱的顶部固定安装有底面与固定板顶面活动连接的石英环内阻盘，石英环内阻盘外侧壁与石英环本体的内侧壁相贴合，所述石英环外套盘的顶部固定安装有外限位环，所述石英环内阻盘的顶部固定安装有内限位环，所述内限位环的内侧且位于石英环内阻盘的顶部固定安装有拉杆，所述石英环外套盘顶部的左右两侧均固定安装有外杆，外杆的内部活动连接有一端贯穿并延伸至外杆外部的活动杆，活动杆的外侧固定安装有连接块，连接块相对的一侧之间固定安装有顶盘，顶盘的底部转动连接有转盘，转盘的顶部固定安装有一端贯穿并延伸至顶盘顶部的转杆，所述转盘底部的左右均固定安装有固定套，固定套的内部卡接有石蜡块。优选的，所述收液腔的顶面与底座的顶面在同一平面上，所述底座呈U形，所述底座的正面活动安装有挡板。优选的，所述外圈导液槽和内圈导液槽分别位于石英环本体的外围和内围。优选的，所述固定板顶部的四角均开设有与导柱相适配的导柱孔，所述导柱孔的一侧固定安装有开设在固定板内部的活动槽。优选的，所述固定板顶部的中心处开设有与中心定位柱相适配的中心定位孔，所述固定板的前后左右四面均开设有起盘口。优选的，所述石英环外套盘底部的四角均开设有与固定杆相适配的固定槽，所述石英环外套盘的内部开设有安装孔，所述安装孔的容积与石英环本体和石英环内阻盘两者体积之和相适配。优选的，所述固定块的内部开设有与连接杆体积相适配的长条滑孔，所述石英环外套盘的左右两侧均开设有与固定块相适配的卡槽。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种分体式石英环涂蜡粘接装置，具备以下有益效果：1、该分体式石英环涂蜡粘接装置，通过导柱卡紧在固定板上开设的导柱孔内，导柱与导齿啮合，导齿与固定杆啮合，使得导柱延伸至导柱孔内的同时固定杆反向延伸至石英环外套盘的底部，通过导柱和固定杆实现固定板与石英环外套盘组合的稳固性，通过推动固定块使之与石英环外套盘的两侧卡接，从而实现固定板与石英环外套盘组合的固定，通过中心定位柱卡紧在固定板上开设的中心定位孔内，实现固定板与石英环内阻盘的固定，反之，通过拉动拉杆使得石英环内阻盘与固定板分离，移动固定块使之与石英环外套盘分离，然后延起盘口将固定板和石英环外套盘分离，整体实现对涂蜡粘接装置的分体式安装和拆卸，石英环外套盘和石英环内阻盘之间形成圆形槽，将活动杆插进外杆内，使得石蜡块延伸至圆形槽的内部，然后转动转杆使得转盘转动，进而实现石蜡块在圆形槽内的匀速转动，实现固定石蜡涂抹均匀的目的，然后将活动杆与外杆分离，将顶盘、转盘、转杆、固定套和石蜡块结构取下，随后将石英环本体放置在圆形槽的内部进行下一工序，整体结构简单，避免传统涂蜡连接方式中使用铅笔对石英产品造成污染，降低了产品报废率，同时固体石蜡涂抹均匀，整体提高产品的生产质量，方便使用。2、该分体式石英环涂蜡粘接装置，通过设置外圈导液槽和内圈导液槽来防止圆形槽内涂抹的石蜡块加热融化后流出，通过设置的外圈导液槽和内圈导液槽将部分流出的液体石蜡收集并通过流通孔流入到底座内部的收液腔内，整体结构简单，有效防止液化后的石蜡流出圆形槽，使用方便。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1中A处放大图；图3为本技术连接杆和固定块的连接结构俯视图；图4为本技术固定板、石英环外套盘和石英环内阻盘的爆炸结构示意图；图5为本技术石英环外套盘、石英环本体和石英环内阻盘的连接结构俯视图。图中：1底座、2收液腔、3固定板、4导柱、5石英环外套盘、6导齿、7固定杆、8固定环、9连接杆、10固定块、11石英环本体、12中心定位柱、13石英环内阻盘、14外限位环、15内限位环、16拉杆、17外圈导液槽、18内圈导液槽、19流通孔、20外杆、21活动杆、22连接块、23顶盘、24转盘、25转杆、26固定套、27石蜡块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座1，底座1内部开设有收液腔2，收液腔2的顶面与底座1的顶面在同一平面上，底座1呈U形，底座1的正面活动安装有挡板，通过打开挡板，方便将底座1内部积留的石蜡液体取出，或者对收液腔2进行清洗工作，底座1的顶部固定安装有固定板3，固定板3的前后左右四面均开设有起盘口，固定板3的内部开设有外圈导液槽17，固定板3的内部开设有位于外圈导液槽17内侧且底部与外圈导液槽17相连通的内圈导液槽18，外圈导液槽17和内圈导液槽18分别位于石英环本体11的外围和内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内部开设有收液腔(2)，所述底座(1)的顶部固定安装有固定板(3)，固定板(3)的内部开设有外圈导液槽(17)，所述固定板(3)的内部开设有位于外圈导液槽(17)内侧且底部与外圈导液槽(17)相连通的内圈导液槽(18)，所述外圈导液槽(17)的底部固定安装有开设在固定板(3)上的流通孔(19)，流通孔(19)的底部与收液腔(2)的顶部连通，所述固定板(3)顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板(3)外部的导柱(4)，导柱(4)的顶部固定安装有与固定板(3)活动连接的石英环外套盘(5)，所述导柱(4)相对的一侧均啮合有位于固定板(3)内腔的导齿(6)，导齿(6)远离导柱(4)的一侧啮合有一端依次贯穿固定板(3)和石英环外套盘(5)并延伸至石英环外套盘(5)内部的固定杆(7)，固定杆(7)的外侧滑动连接有与固定板(3)内腔固定连接的固定环(8)，所述底座(1)顶部的左右两侧均固定安装有连接杆(9)，连接杆(9)外侧的顶部活动安装有一端与石英环外套盘(5)卡接的固定块(10)；/n所述固定板(3)的顶部且位于石英环外套盘(5)的内侧活动安装有石英环本体(11)，所述固定板(3)的顶部卡接有中心定位柱(12)，中心定位柱(12)的顶部固定安装有底面与固定板(3)顶面活动连接的石英环内阻盘(13)，石英环内阻盘(13)外侧壁与石英环本体(11)的内侧壁相贴合，所述石英环外套盘(5)的顶部固定安装有外限位环(14)，所述石英环内阻盘(13)的顶部固定安装有内限位环(15)，所述内限位环(15)的内侧且位于石英环内阻盘(13)的顶部固定安装有拉杆(16)，所述石英环外套盘(5)顶部的左右两侧均固定安装有外杆(20)，外杆(20)的内部活动连接有一端贯穿并延伸至外杆(20)外部的活动杆(21)，活动杆(21)的外侧固定安装有连接块(22)，连接块(22)相对的一侧之间固定安装有顶盘(23)，顶盘(23)的底部转动连接有转盘(24)，转盘(24)的顶部固定安装有一端贯穿并延伸至顶盘(23)顶部的转杆(25)，所述转盘(24)底部的左右均固定安装有固定套(26)，固定套(26)的内部卡接有石蜡块(27)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种分体式石英环涂蜡粘接装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内部开设有收液腔(2)，所述底座(1)的顶部固定安装有固定板(3)，固定板(3)的内部开设有外圈导液槽(17)，所述固定板(3)的内部开设有位于外圈导液槽(17)内侧且底部与外圈导液槽(17)相连通的内圈导液槽(18)，所述外圈导液槽(17)的底部固定安装有开设在固定板(3)上的流通孔(19)，流通孔(19)的底部与收液腔(2)的顶部连通，所述固定板(3)顶部四角的内侧均活动安装有一端贯穿并延伸至固定板(3)外部的导柱(4)，导柱(4)的顶部固定安装有与固定板(3)活动连接的石英环外套盘(5)，所述导柱(4)相对的一侧均啮合有位于固定板(3)内腔的导齿(6)，导齿(6)远离导柱(4)的一侧啮合有一端依次贯穿固定板(3)和石英环外套盘(5)并延伸至石英环外套盘(5)内部的固定杆(7)，固定杆(7)的外侧滑动连接有与固定板(3)内腔固定连接的固定环(8)，所述底座(1)顶部的左右两侧均固定安装有连接杆(9)，连接杆(9)外侧的顶部活动安装有一端与石英环外套盘(5)卡接的固定块(10)；
所述固定板(3)的顶部且位于石英环外套盘(5)的内侧活动安装有石英环本体(11)，所述固定板(3)的顶部卡接有中心定位柱(12)，中心定位柱(12)的顶部固定安装有底面与固定板(3)顶面活动连接的石英环内阻盘(13)，石英环内阻盘(13)外侧壁与石英环本体(11)的内侧壁相贴合，所述石英环外套盘(5)的顶部固定安装有外限位环(14)，所述石英环内阻盘(13)的顶部固定安装有内限位环(15)，所述内限位环(15)的内侧且位于石英环内阻盘(13)的顶部固定安装有拉杆(16)，所述石英环外套盘(5)顶部的左右两侧均固定安装有外杆(20)，外杆(20)的内部活动连接有一端贯穿并延伸至外杆(20)外部的活动杆(21)，活动杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘奇伟，杨军，蔡文军，朱军，王鹏，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32