【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英环抛光加工相关，具体为一种用于半导体用石英环的快速抛光装置。
技术介绍
1、石英环指的是一种高性能的石英制品，主要用于半导体生产过程中的高温、腐蚀和高压环境中，并且半导体石英环，具有非常多的使用优点，例如具有高纯度、高硬度、高温度稳定性、低热膨胀系数等特点，能够承受很高的温度和压力，使用较为广泛，而且半导体石英环在实际加工过程中，包含很多步骤，其中包括对石英环进行抛光加工；
2、但是，现有技术中存在在对石英环进行抛光加工过程中，对石英环的固定效果不好，石英环在抛光时易产生脱离，而且在抛光时产生的灰尘向外飞散，对环境造成污染，操作人员吸入大量灰尘对自身身体健康产生影响，不方便对灰尘进行收集和清理的问题；
3、为此我们提出了一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，用来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有技术中存在在对石英环进行抛光加工过程中，对石英环的固定效果不好，石英环在抛光时易产生脱离，而且在抛光时产生的灰尘向外飞散，对环境造成污染，操作人员吸入大量灰尘对自身身体健康产生影响，不方便对灰尘进行收集和清理的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括用于支撑的底座、设置在呈水平状态的底座以及固定安装在电动伸缩杆输出端的抛光机；
3、还包括：
4、活动套，所述活动套滑动连接在支撑柱
5、限位机构，所述限位机构设置在活动套的下端，且限位机构用于对活动套与支撑柱之间进行限位；
6、吸尘罩，所述吸尘罩与吸风装置的吸风端相连接，且吸尘罩的中部插接安装有防尘网，并且吸尘罩用于对抛光过程中产生的灰尘进行收集和清理。
7、优选的，所述底座的上端固定连接有支撑柱，且支撑柱的上端固定连接有抛光台，并且抛光台上端的后侧固定连接有固定架，而且固定架的上端滑动安装有电动伸缩杆；
8、其中，所述支撑柱左右两端的内侧壁均等间距开设有固定槽。
9、优选的，所述的固定杆的上端与固定夹块之间转动连接，且固定夹块与底座之间通过卡槽的方式相连接。
10、优选的，所述固定夹块用于对石英环进行夹持固定，且固定夹块对称设置在底座的左右两端，并且底座下端的边缘处安装有吸风装置。
11、优选的，所述限位机构包括用于限位的活动板、设置在左右两端活动板与活动板之间的弹簧、固定连接在所述活动板上端的连接杆、呈“t”字形结构的连接柱以及用于限位的固定栓。
12、优选的，所述活动板与支撑柱之间通过卡槽的方式相连接，且活动板卡合连接在支撑柱内侧壁上相应位置的固定槽中。
13、优选的，所述活动板带动连接杆与连接柱之间进行滑动，且连接柱固定连接在活动套的左右两端，并且连接杆与连接柱之间通过固定栓进行限位，而且固定栓与连接柱以及固定栓与连接杆之间均为螺纹连接。
14、优选的，所述防尘网与吸尘罩之间通过挡块进行限位，且挡块铰链连接在吸尘罩的上端，并且挡块与防尘网之间呈贴合设置。
15、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于半导体用石英环的快速抛光装置，在实际使用过程中，通过活动套和固定杆带动固定夹块对石英环进行稳定夹持，保障石英环在抛光加工过程中的稳定性，防止在加工过程中产生松脱，结合限位机构对活动套与支撑柱之间进行限位，紧固性好，通过吸风装置、吸尘罩和防尘网的设置，能够对抛光过程中产生的灰尘进行吸附收集和清理，防止灰尘向外飞散对环境造成污染，防止操作人员吸入大量灰尘影响自身身体健康；
16、1、设有活动套、固定杆和固定夹块，通过活动套与支撑柱之间进行上下滑动，能够使得固定杆带动固定夹块对抛光台上端的石英环进行稳定夹持，保持石英环在加工过程中的稳定性，防止松脱；
17、2、设有限位机构，限位机构设置在活动套的下方，并且限位机构包括活动板、弹簧、连接杆、连接柱和固定栓，通过限位机构的设置，便于对活动套与支撑柱之间进行限位；
18、3、设有吸风装置、吸尘罩和防尘网，吸风装置的吸风端与吸尘罩相连接，结合吸尘罩和防尘网的设置，便于对抛光加工过程中产生的灰尘进行吸附收集和清理，防止灰尘向外散出对环境造成污染。
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1.一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括用于支撑的底座（1）、设置在呈水平状态的底座（1）以及固定安装在电动伸缩杆（5）输出端的抛光机（6）；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述底座（1）的上端固定连接有支撑柱（2），且支撑柱（2）的上端固定连接有抛光台（3），并且抛光台（3）上端的后侧固定连接有固定架（4），而且固定架（4）的上端滑动安装有电动伸缩杆（5）；
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述的固定杆（8）的上端与固定夹块（9）之间转动连接，且固定夹块（9）与底座（1）之间通过卡槽的方式相连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述固定夹块（9）用于对石英环进行夹持固定，且固定夹块（9）对称设置在底座（1）的左右两端，并且底座（1）下端的边缘处安装有吸风装置（16）。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述限位机构（10）包括用于限位的活动板（11）、设置在
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述活动板（11）与支撑柱（2）之间通过卡槽的方式相连接，且活动板（11）卡合连接在支撑柱（2）内侧壁上相应位置的固定槽中。
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述活动板（11）带动连接杆（13）与连接柱（14）之间进行滑动，且连接柱（14）固定连接在活动套（7）的左右两端，并且连接杆（13）与连接柱（14）之间通过固定栓（15）进行限位，而且固定栓（15）与连接柱（14）以及固定栓（15）与连接杆（13）之间均为螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述防尘网（18）与吸尘罩（17）之间通过挡块（19）进行限位，且挡块（19）铰链连接在吸尘罩（17）的上端，并且挡块（19）与防尘网（18）之间呈贴合设置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括用于支撑的底座（1）、设置在呈水平状态的底座（1）以及固定安装在电动伸缩杆（5）输出端的抛光机（6）；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述底座（1）的上端固定连接有支撑柱（2），且支撑柱（2）的上端固定连接有抛光台（3），并且抛光台（3）上端的后侧固定连接有固定架（4），而且固定架（4）的上端滑动安装有电动伸缩杆（5）；
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述的固定杆（8）的上端与固定夹块（9）之间转动连接，且固定夹块（9）与底座（1）之间通过卡槽的方式相连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述固定夹块（9）用于对石英环进行夹持固定，且固定夹块（9）对称设置在底座（1）的左右两端，并且底座（1）下端的边缘处安装有吸风装置（16）。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于：所述限位机构（10）包括用于限位的活动板（11）、设...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨军，张月清，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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