硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载具，用于承载硅片，并与中链板相连接。本实用新型专利技术提供的传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

Silicon conveyor and furnace equipment of silicon furnace equipment

【技术实现步骤摘要】
硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备
本技术涉及太阳能电池硅片生产
，更具体而言，涉及一种硅片炉体设备的硅片传送装置和包括该硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。
技术介绍
HIT(HeterojunctionwithintrinsicThinlayer)太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干固化。传统的传送装置采用单排链条传动，传动不稳。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个方面的目的在于提供一种硅片炉体设备的硅片传送装置。本技术的另一个方面的目的在于提供一种包括上述硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。为实现上述目的，本技术的一个方面的技术方案提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置，包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。本技术上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。另外，本技术上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置还具有如下附加技术特征：上述技术方案中，所述中链板包括连接板和安装台，所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间，所述安装台与所述载具相抵接。安装台用于与载具相抵接，设置安装台可以增大中链板与载具之间的接触面积，从而实现中链板与载具之间的连接可靠性，使载具与双排链条成为一个整体，在传送硅片(电池片)时不会因为有间隙而晃动。进一步地，安装台设置在载具的中部，以进一步增强对载具支撑的平稳性。在上述任一技术方案中，所述连接板的端部沿所述载具的长度方向延伸形成所述安装台。连接板的端部沿在载具的长度方向延伸形成安装台，或者，连接板的端部沿载具的长度方向弯折形成安装台，以增大安装台沿载具长度方向上的尺寸，进而增大安装台与载具的贴合长度和贴合面积，增强安装台对载具支撑的平稳性。上述任一技术方案中，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配；所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状；或者，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。安装台上用于与载具相抵接的表面为安装台上朝向载具的表面，载具上用于与安装台相抵接的表面为载具上朝向安装台的表面。安装台上用于与载具相抵接的表面与载具上用于与安装台相抵接的表面的形状相适配，从而进一步增大安装台与载具之间的贴合面积，增强安装台对载具支撑的平稳性，提高双排链条对硅片传送的平稳性。安装台上用于与载具相抵接的表面和载具上用于与安装台相抵接的表面均呈平面状，使得两表面形状相适配，使得两表面可以完全贴合。或者，安装台上用于与载具相抵接的表面和载具上用于与安装台相抵接的表面也可以均呈曲面状，例如其中一个呈凸面，另一个呈凹面，凹面包裹凸面，使得两表面的形状相适配。上述任一技术方案中，所述中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，所述销轴穿过所述第一中链板和所述第二中链板，所述连接板包括所述第一中链板上设置的第一连接板和所述第二中链板上设置的第二连接板，所述安装台包括所述第一中链板上设置的第一安装台和所述第二中链板上设置的第二安装台，所述第一安装台和所述第二安装台相背设置。中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，第一中链板上的第一安装台和第二中链板上的第二安装台相背设置，使得第一安装台与载具之间具有较大的贴合面积，第二安装台与载具之间具有较大的贴合面积，进一步增强安装台对载具的支撑强度和支撑平稳性。上述任一技术方案中，所述载具上设有多个连接部，所述安装台上设有多个连接配合部，多个所述连接部与多个所述连接配合部一一对应并相连接，其中，多个所述连接部中至少两个所述连接部沿所述载具的长度方向依次设置。载具包括支撑板，连接部设置在支撑板上，多个连接部分别用于与安装台上的多个连接配合部一一对应并连接，增加了支撑板与安装台之间的连接点和受力点，解决了传统单个小方槽固定容易晃动的弊端，实现了对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。上述任一技术方案中，所述连接部包括所述载具上设置的安装孔，所述连接配合部包括所述安装台上设置的连接孔，紧固件穿过所述安装孔和所述连接孔，以连接所述载具和所述安装台。紧固件(例如螺钉)穿过安装孔和连接孔，实现支撑板与硅片传送装置之间的连接。通过紧固件连接的方式结构简单、成本低。多个安装孔中至少两个沿支撑板的长度方向依次设置，从而增强了支撑板与硅片传送装置之间在支撑板长度方向上的连接可靠性。上述任一技术方案中，所述中链板与所述销轴过盈配合。中链板与销轴过盈配合，增强中链板的稳定性，防止在链条运动过程中中链板沿销轴的长度方向晃动，从而能够防止载具倾斜程度过大，进而能够提高链条运动过程中载具的稳定性。上述任一技术方案中，传送装置包括：双排链轮，分别与所述双排链条相啮合；和传动轴，穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；其中，所述传动轴和所述双排链轮的数量均为多个，其中多个所述传动轴中至少一个为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。双排链轮包括相对设置的两个链轮，进一步地，该两个链轮对称设置。双排链轮中的一个链轮与双排链条中的一个链条相啮合，双排链轮中的另一个链轮与双排链条中的另一个链条相啮合，以带动双排链条平稳运动。多个传动轴中的至少一个为主动轴，其余为从动轴。主动轴为与其相连的双排链轮(主动链轮)提供转动动力，主动链轮与链条相啮合，以带动链条转动，连接在从动轴上的双排链轮(从动链轮)在主动轴的带动下自由转动不干涉，形成一个循环传动圈。每一传动轴上依次设有多个双排链轮，该传动轴上的双排链轮上分别啮合有链条，从而增加单位时间内传送载具的数量，提高对硅片的传送效率。上述任一技术方案中，所述双排链条包括：套筒，套设在所述销轴的外侧；滚柱，套设在所述销轴的外侧，并位于所述内链节的两所述内链板之间；滚轮，所述销轴向外穿出所述外链板，所述滚轮套设在所述销轴位于所述外链板外的部分上。本技术第二个方面的技术方案提供一种炉体设备，包括：加热装置，限定出工艺腔；和如第一个方面的技术方案中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，所述硅片传送装置至少部分设置在所述工艺腔中。本技术第二个方面的技术方案所述的炉体设备，因包括第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：/n双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；/n载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：
双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；
载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。


2.根据权利要求1所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，
所述中链板包括连接板和安装台，所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间，所述安装台与所述载具相抵接。


3.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，
所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配；
所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状；或者，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。


4.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，
所述中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，所述销轴穿过所述第一中链板和所述第二中链板，所述连接板包括所述第一中链板上设置的第一连接板和所述第二中链板上设置的第二连接板，所述安装台包括所述第一中链板上设置的第一安装台和所述第二中链板上设置的第二安装台，所述第一安装台和所述第二安装台相背设置。


5.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，
所述载具上设有多个连接部，所述安装台上设有多个连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗搏飞，吴勇茂，冼志军，
申请(专利权)人：常州捷佳创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32