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本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载...
该专利属于常州捷佳创智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创智能装备有限公司授权不得商用。

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