流体控制装置制造方法及图纸

一种流体控制装置，其中，在线（Ａ）（Ｂ）的两侧配置有带式加热器（１１），而且在该线（Ａ）（Ｂ）内在相邻的流体控制器间的多处设有容纳用于保持带式加热器的夹子（１３）的间隙，带式加热器（１１）由从其两侧夹紧的夹子（１３）保持在线（Ａ）（Ｂ）上，带有加热器的线（Ａ）（Ｂ）安装在可装卸地安装于基座部件（１）上的线支承部件（１０）上。在线支承部件（１０）上设有沿长度方向延伸的加热器插入孔（１４），在该孔（１４）中插入护套加热器（１２）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体制造装置使用的流体控制装置，更详细地说，是涉及有必要进行流体的加热的流体控制装置。在该说明书中，关于前后·上下，是以图1的右为前、左为后，以同图的上下为上下，左右是指朝向后方的方向。该前后·上下为了方便，也有前后倒转、上下成为左右而使用的情况。
技术介绍
在半导体制造装置使用的流体控制装置中，正在推进过管而将质量流量控制器或开关阀等连结的集成化，作为这种装置，人们知道的有条线由配置于上阶段的多个流体控制器和配置于下阶段的多个块状连接器部件形成，多条线呈并列状地配置于基板上，其入口及出口朝向同方向，连接器部件可自由装卸地安装于基板上，流体控制器可自由装卸地安装于连接器部件上。在这种流体控制装置中，根据其用途，有必要在1个或多个线上安装加热装置。上述现有技术的流体控制装置，存在包含加热装置的各部件的组装作业费时的问题，另外，由于对线的增设及变更没有进行充分考虑，所以在发生系统改造时，必须将所有的部件连同基板一起卸下，更换为安装有必要部件的基板，从而引起长时间的装置停止和现场施工工时数的增加。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种既具有加热装置，也容易组装，而且能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体控制装置，其中，１条线（Ａ）（Ｂ）由配置于上阶段的多个流体控制器（２）（３）（４）（５）（６）（７）（１７）（１８）（１９）和配置于下阶段的多个块状连接器部件（８）形成，多条线（Ａ）（Ｂ）呈并列状地配置于基座部件（１）上，其入口及出口朝向同方向，其特征在于，在至少在１条线（Ａ）（Ｂ）的两侧配置有带式加热器（１１），而且在该线（Ａ）（Ｂ）内在相邻的流体控制器（２）（３）（４）（５）（６）（７）（１７）（１８）（１９）间的多处设有容纳用于保持带式加热器的夹子（１３ ）的间隙，带式加热器（１１）由从其两侧将其夹紧的夹子（１３）保持在线（Ａ）（Ｂ）上，带有加热器的线（Ａ）（Ｂ）安...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：星丈治，冈部庸之，五岛宪一，小林英雄，长屋晓典，山路道雄，吉川和博，川野祐司，
申请(专利权)人：CKD株式会社，株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：JP[日本]