一种半导体芯片测试用的自动探针台制造技术

本实用新型专利技术涉及探针台技术领域，具体是一种半导体芯片测试用的自动探针台，用于解决现有导体芯片全自动探针台的方位调节精度不够高，导致对芯片检测的准确性不够高的问题。本实用新型专利技术包括底座，所述底座上安装有观测台，所述底座顶面安装有与观测台相对应且可旋转的放物台，所述底座顶面在竖直方向安装有支撑架，所述支撑架上安装有竖直微调机构，并在竖直微调机构上安装有操作台，在操作台上设有水平微调机构，且放物台为可旋转的，所以在微调机构上的探针可以更加精准的探测到放物台上导体芯片。

An automatic probe platform for semiconductor chip test

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片测试用的自动探针台
本技术涉及探针台
，更具体的是涉及一种半导体芯片测试用的自动探针台。
技术介绍
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台一般分为全自动探针台、半自动探针台和手动探针台。现有技术中用于导体芯片的全自动探针台包括一框架，框架上表面通过安装螺栓固定连接一运动耦合测试装置，运动耦合测试装置一侧通过安装螺栓固定连接多功能电源电表，框架内部设置有控制系统、控制计算机、光谱分析仪和电气柜，控制系统、控制计算机、光谱分析仪和电气柜均通过安装螺栓与框架固定连接，运动耦合测试装置包括一精密隔振光学平台和XYZ轴载料台，隔振光学平台上表面通过安装螺栓固定连接XYZ轴载料台。将芯片放置在XYZ轴载料台上，并通过XYZ轴载料台调整芯片的位置，就可以对芯片进行检测。由于芯片的芯管尺寸比较小，所以对探针台的移动精度要求比较高，然而上述全自动探针台的调节精度不够高，这导致了该全自动探本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体芯片测试用的自动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑架(8)，所述支撑架(8)上安装有竖直微调机构，所述竖直微调机构包括连接在底座(1)顶面和支撑架(8)顶面间的两个竖直滑杆(12)，两个所述竖直滑杆(12)上连接有可沿竖直滑杆(12)上下滑动的操作台(9)，所述操作台(9)上安装有下螺母(10)，所述下螺母(10)内连接有穿过支撑架(8)顶面的竖直螺旋杆，所述竖直螺旋杆通过上螺母(7)与支撑架(8)顶面连接，所述竖直螺旋杆上端连接有旋转机构；所...

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片测试用的自动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑架(8)，所述支撑架(8)上安装有竖直微调机构，所述竖直微调机构包括连接在底座(1)顶面和支撑架(8)顶面间的两个竖直滑杆(12)，两个所述竖直滑杆(12)上连接有可沿竖直滑杆(12)上下滑动的操作台(9)，所述操作台(9)上安装有下螺母(10)，所述下螺母(10)内连接有穿过支撑架(8)顶面的竖直螺旋杆，所述竖直螺旋杆通过上螺母(7)与支撑架(8)顶面连接，所述竖直螺旋杆上端连接有旋转机构；所述操作台(9)上安装有沿水平方向设置的水平微调机构，所述水平微调机构上连接有与放物台对应的探针(3)，所述竖直螺旋杆包括上段螺旋杆(61)和下段螺旋杆(62)，所述上段螺旋杆(61)和下段螺旋杆(62)的旋向相同且螺旋导程大小不相等。


2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片测试用的自动探针台，其特征在于：所述水平微调机构包括安装在操作台上的支撑板(17)，所述支撑板(17)内安装有右螺母(18)，所述右螺母(18)内安装有水平设置的水平螺旋杆，所述水平螺旋杆靠近竖直螺旋杆的一端安装有第一电机(11)，所述水平螺旋杆靠近放物台的一端连接有连接板(13)，所述探针(3)安装在连接板(13)上。

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋次为，
申请(专利权)人：成都汉芯国科集成技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51