一种用于三甲基铟存储的钢瓶制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于三甲基铟存储的钢瓶，钢瓶包括下球部、圆柱状的直立部和上球部，钢瓶内还设有网板，网板的上侧还固定有呈锥台状的隔板，隔板的下部开口直径大于隔板的上部开口直径，直立部的内壁与隔板的外壁之间形成与进气连接管连通的、位于网板上方的第一储料仓，隔板的内侧形成与出气连接管连通的、位于网板上方的第二储料仓。本申请通过在内壁设置网板和呈锥台状的隔板，可增加载气在钢瓶内的流动路程，增加载气与储料仓内的三甲基铟固定颗粒的接触概率，使得载气在第一储料仓、第二储料仓内的通流面积逐渐减小，可使得载气与三甲基铟固体颗粒充分接触，提高三甲基铟的利用率，可避免产生沟流现象，提高三甲基铟蒸汽压的稳定性。

A steel cylinder for storage of trimethylindium

【技术实现步骤摘要】
一种用于三甲基铟存储的钢瓶
本技术涉及三甲基铟存储技术，尤其是一种用于三甲基铟存储的钢瓶。
技术介绍
MO源也就是高纯金属有机化合物，是现代化合物半导体产业的支撑源材料，是半导体照明(LED)产业链的源头材料。从全球市场来看，MO源主要的应用领域是移动设备的背光源、液晶显示器背光源、液晶大屏幕背光源、半导体激光器及航天高效太阳能电池等高端军品
、信号灯、汽车照明和半导体照明等光电子
高纯三甲基铟广泛应用于生长铟镓磷、铟镓砷氮、铟镓砷等化合物半导体薄膜材料，是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、化学束外延(CBE)过程中生长光电子材料的最重要、也是目前用量最大的原料，是LED外延片生产中的关键MO源材料。纯净的三甲基铟在室温下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，通常封装在钢瓶内，在使用时通过控制钢瓶的温度使其蒸气压到达一定值，再通过持续流动的载气将气相中的三甲基铟带入光电子材料生长系统。现有的普通钢瓶封装三甲基铟存在三甲基铟利用率低的问题，具体而言，持续流动的载气通过插底管进入钢瓶底部，由于三甲基铟晶体大小不均匀，很容易造成沟流现象，严重影响到三甲基铟蒸汽压的稳定性，导致化合物半导体薄膜材料生长过程的蒸气压不稳定，从而影响生产的化合物半导体薄膜材料的质量。如公开号为CN209045594U的中国专利文件公开的“一种三甲基铟鼓泡装置和太阳能电池制造设备”，其中载气的输入管的一端延伸至钢瓶内固态三甲基铟上方的空间，输出管的一端埋设在钢瓶内底部的固态三甲基铟中且平行于钢瓶底部在钢瓶内横向延伸，输出管横向延伸的部分的管壁上开设有多个均匀分布的孔，由此保证载气进入钢瓶内固态三甲基铟上方的空间后可以均匀地通过固态三甲基铟颗粒区，从而使整个固态三甲基铟颗粒区都能和载气充分接触，提高三甲基铟材料利用率；该文件公开的钢瓶结构虽然能够减少沟流现象，但其中的输入管、输出管布置仍不合理，在实际生产中依然会产生沟流现象影响到三甲基铟蒸汽压的稳定性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于三甲基铟存储的钢瓶，用于减少三甲基铟存储钢瓶内出现沟流现象、提高三甲基铟蒸汽压的稳定性、提高三甲基铟的利用率。为了解决上述问题，本技术提供一种用于三甲基铟存储的钢瓶，瓶体上部设有进气连接管和出气连接管，所述钢瓶包括下球部、圆柱状的直立部和上球部，所述进气连接管和所述出气连接管设置在所述上球部上；所述钢瓶内还设有网板，所述网板位于所述直立部和所述下球部的交接处，所述网板的上侧还固定有呈锥台状的隔板，所述隔板的下部开口直径大于所述隔板的上部开口直径，所述直立部的内壁与所述隔板的外壁之间形成与所述进气连接管连通的、位于所述网板上方的第一储料仓，所述隔板的内侧形成与所述出气连接管连通的、位于所述网板上方的第二储料仓。本技术提供的用于三甲基铟存储的钢瓶还具有以下技术特征：进一步地，所述隔板的上端与所述直立部的上端平齐。进一步地，所述隔板的下部开口的直径大于等于所述直立部的直径的五分之三，且所述隔板的下部开口的直径小于等于所述直立部的直径的五分之四。进一步地，所述隔板的下部开口的直径等于所述直立部的直径的四分之三。进一步地，所述隔板的上部开口的直径大于等于所述直立部的直径的五分之一，且所述隔板的上部开口的直径小于等于所述直立部的直径的五分之二。进一步地，所述隔板的上部开口的直径等于所述直立部的直径的四分之一。本技术具有如下有益效果：该钢瓶通过在内壁设置网板和呈锥台状的隔板，使得直立部的内壁与隔板的外壁之间形成与进气连接管连通的、位于网板上方的第一储料仓，隔板的内侧形成与出气连接管连通的、位于网板上方的第二储料仓，由此可增加载气在钢瓶内的流动路程，增加载气与储料仓内的三甲基铟固定颗粒的接触概率，采用呈锥台状的隔板，使得载气在第一储料仓、第二储料仓内的通流面积逐渐减小，可使得载气与三甲基铟固体颗粒充分接触，提高三甲基铟的利用率；采用呈锥台状的隔板，还使得三甲基铟固体颗粒被消耗后，第一储料仓、第二储料仓内的三甲基铟固体颗粒可在自重的作用下向下部集聚，由此可避免产生沟流现象，提高三甲基铟蒸汽压的稳定性。附图说明图1为本技术实施例的用于三甲基铟存储的钢瓶的结构示意图。具体实施方式下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。如图1所示的本技术的用于三甲基铟存储的钢瓶的一个实施例中，瓶体10上部设有进气连接管101和出气连接管102，钢瓶10包括下球部11、圆柱状的直立部12和上球部13，进气连接管101和出气连接管102设置在上球部13上；钢瓶10内还设有网板20，网板20位于直立部12和下球部13的交接处，网板20的上侧还固定有呈锥台状的隔板30，隔板30的下部开口直径大于隔板30的上部开口直径，直立部12的内壁与隔板30的外壁之间形成与进气连接管101连通的、位于网板20上方的第一储料仓，隔板30的内侧形成与出气连接管102连通的、位于网板20上方的第二储料仓。该实施例中的用于三甲基铟存储的钢瓶，通过在内壁设置网板和呈锥台状的隔板，使得直立部的内壁与隔板的外壁之间形成与进气连接管连通的、位于网板上方的第一储料仓，隔板的内侧形成与出气连接管连通的、位于网板上方的第二储料仓，由此可增加载气在钢瓶内的流动路程，增加载气与储料仓内的三甲基铟固定颗粒的接触概率，采用呈锥台状的隔板，使得载气在第一储料仓、第二储料仓内的通流面积逐渐减小，可使得载气与三甲基铟固体颗粒充分接触，提高三甲基铟的利用率；采用呈锥台状的隔板，还使得三甲基铟固体颗粒被消耗后，第一储料仓、第二储料仓内的三甲基铟固体颗粒可在自重的作用下向下部集聚，由此可避免产生沟流现象，提高三甲基铟蒸汽压的稳定性。在本申请的上述实施例中，网板20上的网孔的直径小于三甲基铟固体颗粒的直径，使得三甲基铟固体颗粒可以储存在网板20的上方，载气可以通过网板20上的网孔在网板两侧流通；另外，钢瓶上还分别设有与第一储料仓、第二储料仓连通的进料口（图中未示出），以便在第一储料仓、第二储料仓内的三甲基铟固体颗粒消耗后进行补充，进料口的具体结构可根据需要进行设计，在此不再赘述。在本申请的一个实施例中，优选地，隔板30的上端与直立部12的上端平齐，使得钢瓶内的空间划分更佳合理，载气在进入上球部后能与第一储料仓内的三甲基铟固体颗粒具有较大的接触面积。优选地，隔板30的下部开口的直径大于等于直立部12的直径的五分之三，且隔板30的下部开口的直径小于等于直立部12的直径的五分之四，由此可使得第一储料仓的上部开口与下部开口的面积差有利于载气与固体颗粒充分接触，优选地，隔板30的下部开口的直径等于直立部12的直径的四分之三。在本申请的一个实施例中，优选地，隔板30的上部开口的直径大于等于直立部12的直径的五分之一，且隔板30的上部开口的直径小于等于直立部12的直径的五分之二；优选地，隔板30本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于三甲基铟存储的钢瓶，瓶体上部设有进气连接管和出气连接管，其特征在于，所述钢瓶包括下球部、圆柱状的直立部和上球部，所述进气连接管和所述出气连接管设置在所述上球部上；所述钢瓶内还设有网板，所述网板位于所述直立部和所述下球部的交接处，所述网板的上侧还固定有呈锥台状的隔板，所述隔板的下部开口直径大于所述隔板的上部开口直径，所述直立部的内壁与所述隔板的外壁之间形成与所述进气连接管连通的、位于所述网板上方的第一储料仓，所述隔板的内侧形成与所述出气连接管连通的、位于所述网板上方的第二储料仓。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于三甲基铟存储的钢瓶，瓶体上部设有进气连接管和出气连接管，其特征在于，所述钢瓶包括下球部、圆柱状的直立部和上球部，所述进气连接管和所述出气连接管设置在所述上球部上；所述钢瓶内还设有网板，所述网板位于所述直立部和所述下球部的交接处，所述网板的上侧还固定有呈锥台状的隔板，所述隔板的下部开口直径大于所述隔板的上部开口直径，所述直立部的内壁与所述隔板的外壁之间形成与所述进气连接管连通的、位于所述网板上方的第一储料仓，所述隔板的内侧形成与所述出气连接管连通的、位于所述网板上方的第二储料仓。


2.根据权利要求1所述的用于三甲基铟存储的钢瓶，其特征在于：所述隔板的上端与所述直立部的上端平齐。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨威，王建兴，
申请(专利权)人：河南承明光电新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41